子分类：
- H01H2059/0018： ..为避免电荷俘获的特殊设备,例如驱动电极之间的绝缘层通过电荷俘获被永久极化,导致驱动或释放电压被改变
- H01H2059/0027： ..可移动电极在打开位置接地,用于改善隔离
- H01H2059/0036： ..用于高速开关的高谐振频率可移动衔铁
- H01H2059/0045： ..具有S形可动电极,定位和连接在两个驱动固定电极之间,例如当施加驱动电压时可动电极横向移动
- H01H2059/0054： ..滚动触点或动作构件
- H01H2059/0063： ..具有步进驱动的,例如在驱动期间,在不同的时间或不同的弹簧常数下,将驱动电压施加到不同的电极组
- H01H2059/0072： ..带有塞子或凸起用于保持一个间隙,减小接触面积或防止在吸引位置的可动和固定电极之间的静摩擦
- H01H2059/0081： ..在固定和移动电极之间具有锥形气隙
| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 21 | 射频微机电系统(MEMS)的电容式开关 | CN201280071504.1 | 2012-05-27 | CN104170048A | 2014-11-26 | B·W·皮尔兰斯; C·B·穆迪; F·J·莫里斯 |
| 一种射频微机电系统电容式开关，该电容式开关使得其电极中的一个电极中的孔与电介质立柱对准，从而在不影响开关的电容比的情况下减少俘获电荷。当开关致动时，电极接触围绕多个孔的立柱的一个或更多个接触面，使得每个孔至少与该孔所对准的所述立柱的中心部分重叠。通过选择孔的尺寸，使得顶电极在射频频率下形成大致连续的导电片，孔与立柱的对准在不降低开关的电容的情况下减少俘获电荷的数量。在不同的实施例中，立柱的直径可以小于孔的直径，使得完全重叠，在这种情况下，俘获电荷在很大程度上被消除。 | ||||||
| 22 | MEMS开关 | CN201110386333.9 | 2011-11-29 | CN102543592B | 2014-11-26 | 马特吉·戈森斯; 希尔柯·瑟伊; 皮特·斯蒂内肯; 克劳斯·莱曼 |
| 本发明提出了一种MEMS开关，其中，在衬底上方设置至少第一、第二和第三信号线，每条信号线端接于连接区。下部致动电极结构位于衬底上方。可移动接触电极悬置于连接区上方，以实现或断开三个连接区中至少两个连接区之间的电接触，上部致动电极结构设置在下部致动电极上方。对三条或更多条信号线的使用使得能够实现对称的致动力和/或使得能够利用单个可移动电极实现多种开关功能。 | ||||||
| 23 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201110174027.9 | 2011-06-24 | CN102295264B | 2014-08-20 | 迪恩.当; 泰.多恩; 杰弗里.C.马林; 安东尼.K.斯塔姆珀 |
| 本发明公开一种平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法。一种形成至少一个微机电系统(MEMS)的方法包括在衬底上形成多个分离导线。该方法还包括在该分离导线上形成牺牲腔体层。该方法还包括在该牺牲腔体层的上表面形成沟槽。该方法还包括用电介质材料填充沟槽。该方法还包括在该牺牲腔体层和该电介质材料上沉积金属以形成具有从其底表面延伸的至少一个电介质缓冲器的梁。 | ||||||
| 24 | 基于MEMS微开关阵列的限流使能的电路中断设备 | CN200780053437.X | 2007-06-20 | CN101681749B | 2014-08-20 | W·J·普雷默拉尼; K·苏布拉马尼安; K·A·奥布赖恩; J·N·帕克; B·C·孔菲尔 |
| 本发明包括一种基于微机电系统(MEMS)微开关阵列的限流使能的电路中断设备。该设备包括过流保护部件，其中过流保护部件包括开关电路，其中开关电路包括多个微机电系统开关装置。该设备还包括断路器或开关部件，其中断路器或开关部件与过流保护部件可操作地联系。 | ||||||
| 25 | 微机电开关及其相关方法 | CN201280059325.6 | 2012-10-25 | CN103959418A | 2014-07-30 | M.F.艾米 |
| 开关包括安置于基板上的梁电极。梁包括耦合至梁电极的至少一个锚部分、沿第一方向从至少一个锚部分延伸的第一梁部分以及沿与第一方向相反的第二方向从至少一个锚部分延伸的第二梁部分。第一控制电极安置于基板上，面向第一梁部分。第一接触电极安置于基板上，面向第一梁部分。第二控制电极安置于基板上，面向第二梁部分。第一控制电极和第二控制电极耦合以形成栅极。第二接触电极安置于基板上，面向第二梁部分。 | ||||||
| 26 | 具有可动部的电气设备及其制造方法 | CN201180073766.7 | 2011-09-30 | CN103858199A | 2014-06-11 | 井上广章; 宓晓宇 |
| 形成具有翘曲被抑制的可动部的电气设备。在形成在衬底上的第一种子层上并与第一空间区域相邻的位置，通过镀敷形成至少一个第二金属材料的台座部和相向电极，利用第一牺牲层填埋第一空间区域，利用相同的抗蚀图案，通过连续镀敷，形成从第一牺牲层上延伸至台座部的表面的一部分的金属材料的第二牺牲层以及在第二牺牲层上的具有与第二金属材料相同的组分、热膨胀系数的第三金属材料的下部结构体，露出未形成有第二牺牲层的台座部表面，在台座部、下部结构体上，通过镀敷形成与第二金属材料、第三金属材料具有相同的组分、热膨胀系数的第四金属材料的上部结构体，去除第一牺牲层、第二牺牲层，制成具有可动部的电气设备。 | ||||||
| 27 | 制造MEMS器件的方法以及为此使用的衬底 | CN201110043033.0 | 2011-02-21 | CN102190285B | 2014-06-04 | 井上广章; 中谷忠司; 上田知史 |
| 本发明公开一种制造MEMS器件的方法以及为此使用的衬底。一种用于制造MEMS器件的方法，包括：制备具有第一衬底和第二衬底的衬底，其中在第一衬底中形成腔体，第二衬底被结合到第一衬底的、其上形成腔体的那一侧，并且包括在与腔体相对应的位置对可移动部分进行划界的狭缝，第二衬底包括面向第一衬底的第一表面并且设置有选择性地在与移动部分相对应的位置中形成在第一表面上的热氧化膜；在第二表面上形成第一电极层，该第二表面与其上形成用于可移动部分的热氧化膜第一表面相反；在第一电极层和第二衬底上形成牺牲层；在牺牲层上形成第二电极层；以及在形成第二电极层之后移除牺牲层和热氧化膜。 | ||||||
| 28 | MEMS开关及其制作方法 | CN201010608168.2 | 2010-12-27 | CN102543591B | 2014-03-19 | 毛剑宏; 唐德明 |
| 本发明提供了一种MEMS开关及其制作方法，所述MEMS开关包括：半导体衬底；位于半导体衬底上的开关腔体，所述开关腔体包括底部介质层以及顶部介质层；位于所述底部介质层的第一组开关触点；位于所述顶部介质层的第二组开关触点；还包括机械臂，所述机械臂包括固定于开关腔体底部介质层上的固定端以及悬浮的自由端，所述自由端上形成有掷刀；所述掷刀与第一组开关触点以及第二组开关触点的位置相对应；在开关腔体内施加驱动电场时，所述机械臂受到驱动电场作用而弯曲，使得掷刀接触第一组开关触点或第二组开关触点。本发明所述MEMS开关具有结构简单，反应灵敏，易于制造的特点。 | ||||||
| 29 | 上拉式电极和华夫饼型微结构 | CN201180049778.6 | 2011-09-19 | CN103155069A | 2013-06-12 | 理查德·L·奈普; 罗伯图斯·彼得勒斯·范坎彭; 阿纳特兹·乌纳穆; 罗伯托·加迪 |
| 本发明一般涉及MEMS装置及用于所述MEMS装置的制造的方法。MEMS装置的悬臂可具有华夫饼型微结构。华夫饼型微结构利用支撑梁以对微结构赋予刚性同时允许所述支撑梁弯曲。华夫饼型微结构允许刚性结构结合挠性支撑件的设计。另外，复式弹簧可用以产生非常刚性的弹簧以改进MEMS装置的热切换性能。为了允许MEMS装置利用较高射频电压，可将上拉式电极定位于悬臂之上以帮助将悬臂自接触电极拉开。 | ||||||
| 30 | 基于微机电系统的开关 | CN200780053364.4 | 2007-06-20 | CN101743606B | 2013-05-08 | W·J·普雷默拉尼; K·苏布拉马尼安; C·F·凯梅尔; K·A·奥布赖恩; J·N·帕克 |
| 公开了一种电流控制装置。该电流控制装置包括与电流路径整体地布置的控制电路，以及设置在电流路径中的至少一个微机电系统(MEMS)开关(20)。该电流控制装置还包括与所述至少一个MEMS开关并联的混合式无电弧限制技术(HALT)电路，帮助所述至少一个MEMS开关的无电弧断开，以及与所述至少一个MEMS开关并联的脉冲辅助接通(PATO)电路(52)，帮助所述至少一个MEMS开关的无电弧闭合。 | ||||||
| 31 | 机电开关装置及其操作方法 | CN201180025382.8 | 2011-06-08 | CN102906846A | 2013-01-30 | M·德蓬; C·哈格雷特纳; C·波兹蒂斯; A·塞巴斯蒂安 |
| 本发明涉及一种机电开关装置（100、200），其包括第一开关部分（111、112、211、212）、第二开关部分（121、122、220）和致动器装置（130、230）。所述致动器装置（130、230）被配置为提供致动力，由此使所述第一和第二开关部分（111、112、121、122、211、212、220）相对于彼此被致动，以从断开状态改变为连接状态。所述致动器装置（130、230）还被配置为至少当所述第一和第二开关部分（111、112、121、122、211、212、220）处于连接状态时，提供具有调制的致动力。本发明还涉及一种操作机电开关装置（100、200）的方法。 | ||||||
| 32 | 配电系统 | CN201210263056.7 | 2012-07-27 | CN102904168A | 2013-01-30 | M.F.艾米; A.V.高达; 蒋健君 |
| 本发明涉及一种配电系统。提供了一种设备，诸如配电系统。该设备可包括第一导体和第二导体。多个导电路径可在第一导体和第二导体之间沿着连接跨度形成并联的电连接，其中导电路径中的各个具有分别相似的公称电阻。第一导体和第二导体可具有沿着所述连接跨度在相反的方向上减少的各自的截面积。 | ||||||
| 33 | 用于静电激励微机电装置的选通电压控制系统和方法 | CN200810002899.5 | 2008-01-11 | CN101231920B | 2012-12-26 | J·I·赖特; K·苏布拉马尼安; W·J·普雷默拉尼; J·N·帕克; C·凯梅尔; L·雀; K·V·S·R·基肖尔; A·D·萨特; X·王; E·K·霍韦尔 |
| 本发明公开了一种用于静电激励微机电装置的选通电压控制系统和方法。该选通电压控制系统可包括：电耦合到该装置的栅极端子(16)的驱动电路(10)；以及电耦合到驱动电路的控制器(12)，其中该选通电压控制序列可包括第一间隔(T1)，用于把选通电压斜升到一个电压水平，以便产生足以使得激励器加速通过激励器所横穿的间隙的一部分从而达到相应的激励状态的静电力；以及该选通电压控制序列还可包括第二间隔(T2)，用于把选通电压斜降到足以减小作用于可移动激励器的静电力的水平。这允许减小激励器接合开关触点以便建立第一激励状态的力的大小，或者在达到第二激励状态时避免激励器的过冲位置。 | ||||||
| 34 | 微可动器件及微可动器件的制造方法 | CN201010250691.2 | 2010-08-10 | CN101993030B | 2012-10-10 | 山崎宏明 |
| 本发明涉及微可动器件及微可动器件的制造方法。在抑制信号线与驱动线之间的寄生电容增大的同时，使驱动可动部的驱动电压降低。在信号线(13)上配置驱动电极(16a)，在接地线(14)上配置驱动电极(16b)，将辅助驱动电极(17a)与驱动电极(16a)并列配置，将辅助驱动电极(17b)与驱动电极(16b)并列配置，在驱动电极(16a、16b)及辅助驱动电极(17a、17b)上配置可动电极(19)。 | ||||||
| 35 | 基于微机电系统的无电弧开关 | CN200710127330.7 | 2007-07-02 | CN101192477B | 2012-10-10 | J·I·赖特; K·苏布拉马尼安; W·J·普雷默拉尼; J·N·帕克 |
| 基于微机电系统的无电弧开关。本发明提出了一种系统。该系统包括微机电系统开关(20)。此外，系统包括平衡的二极管电桥(28)，它被配置成抑制在微机电系统开关的触点之间形成电弧。一个脉冲电路(52)被耦合到平衡的二极管电桥，以响应于故障条件而形成脉冲信号。能量吸收电路(200)与脉冲电路被耦合成并联电路，并适合于吸收由故障条件造成的电能，而不影响由脉冲电路形成脉冲信号。 | ||||||
| 36 | 静电致动器 | CN201210068873.7 | 2012-03-15 | CN102674231A | 2012-09-19 | 益永孝幸; 山崎宏明 |
| 提供一种静电致动器，该静电致动器具备基板、电极部、膜体部和施力部。上述电极部设在上述基板上。上述膜体部与上述电极部对置设置，具有导电性。上述施力部具有与上述基板连接的连接部和设在上述连接部与上述膜体部之间的弹性部，支承上述膜体部。上述电极部和上述膜体部能够对应于施加在上述电极部上的电压而成为接触的状态和分离的状态。上述弹性部在连接于上述连接部的一端与连接于上述膜体部的多个其他端之间具有分支部。 | ||||||
| 37 | 使用精细液态金属熔滴的形状变化的RFMEMS开关 | CN201080051447.1 | 2010-11-10 | CN102640249A | 2012-08-15 | 金俊源; 孙晟儫; 严淳永; 朴优成; 白承凡 |
| 本发明提供了使用精细液态金属熔滴的RF MEMS开关，该RF MEMS开关能够被快速地操作且对冲击和运动是稳固的。根据本发明的一个实施方式，使用精细液态金属熔滴的RF MEMS开关包括：第一层构件，其包括信号传输线；第二层构件，其布置在第一层构件上，形成室以便通过处理信号传输线而引起精细液态金属熔滴的形状变化，并且在室的一侧上形成通孔，以便使信号传输线与形状在室中被改变的精细液态金属熔滴接触或不接触；操作构件，其布置在第二层构件上，且定位在室的开口侧上，以便通过室的开口侧将形状变化的能力提供给精细液态金属熔滴；以及第三层构件，其调整操作构件的位置，并且与第一层构件和第二层构件耦合。 | ||||||
| 38 | 可配置的多栅开关电路系统 | CN201080046300.3 | 2010-10-15 | CN102576629A | 2012-07-11 | D·刘易斯 |
| 提供带有可配置的多栅开关电路系统的集成电路。开关电路系统可包括开关控制电路系统和多栅开关阵列。每个多栅开关可具有第一和第二端子、第一和第二栅极以及金属桥。金属桥连接到第一端子。金属桥可在栅极之上延伸且在断开状态时可悬浮在第二端子上。金属桥可具有尖端，在导通状态时，其向下弯曲以和第二端子物理接触。开关控制电路系统可提供行和列控制信号以加载所需要的开关状态到开关阵列中。开关阵列可被分割成形成多路复用器的开关组。多路复用器可用于如可编程逻辑器件电路的可编程电路中。 | ||||||
| 39 | MEMS静态存储器及MEMS可编程器件 | CN201010618215.1 | 2010-12-31 | CN102543173A | 2012-07-04 | 张镭; 江伟辉; 许程凯; 唐德明 |
| 一种MEMS静态存储器及MEMS可编程器件，MEMS静态存储器的存储单元包括三个MEMS开关器件，所述MEMS开关器件包括第一端、第二端、第三端和控制端，所述控制端用于控制所述第三端与第一端和第二端中的一个电性导通，其中，第一MEMS开关器件的第一端和第二端分别输入逻辑低电平和逻辑高电平；第二MEMS开关器件的第一端为高阻，第二端连接所述第一MEMS开关器件的控制端，控制端连接写字线，第三端连接写位线；第三MEMS开关器件的第一端为高阻，第三端连接读位线，控制端连接读字线，第二端连接所述第一MEMS开关器件的第三端。本发明MEMS静态存储单元的输出信号完全来自逻辑高、低电平，改善了信号完整性。 | ||||||
| 40 | 具有柔性膜和改进型电致动装置的MEMS结构 | CN201080012592.9 | 2010-03-18 | CN102362330A | 2012-02-22 | K·塞古尼; N·罗尔菲林 |
| 一种MEMS结构包括：柔性膜(6)，具有限定纵向(X)的主纵轴(5a)；至少一个支柱(3、3’)，位于柔性膜(6)下面；电降低致动装置(7)，适用于使柔性膜(6)向下弯曲到向下强制状态；电升高致动装置(8)，适用于使柔性膜(6)向上弯曲到向上强制状态。电降低致动装置(7)或者电升高致动装置(8)包括在膜(6)的一部分下面延伸并且适用于在纵向(X)在所述至少一个支柱(3)的两侧上同时对膜(6)施加拉力的致动区(7c或8c)。 | ||||||
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