| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 射频微机电系统(MEMS)的电容式开关 | CN201280071504.1 | 2012-05-27 | CN104170048A | 2014-11-26 | B·W·皮尔兰斯; C·B·穆迪; F·J·莫里斯 |
| 一种射频微机电系统电容式开关，该电容式开关使得其电极中的一个电极中的孔与电介质立柱对准，从而在不影响开关的电容比的情况下减少俘获电荷。当开关致动时，电极接触围绕多个孔的立柱的一个或更多个接触面，使得每个孔至少与该孔所对准的所述立柱的中心部分重叠。通过选择孔的尺寸，使得顶电极在射频频率下形成大致连续的导电片，孔与立柱的对准在不降低开关的电容的情况下减少俘获电荷的数量。在不同的实施例中，立柱的直径可以小于孔的直径，使得完全重叠，在这种情况下，俘获电荷在很大程度上被消除。 | ||||||
| 2 | MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端 | CN200810087276.2 | 2008-03-26 | CN101276707B | 2011-10-05 | 川久保隆; 长野利彦; 西垣亨彦 |
| 本发明提供一种MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端。具体地说，提供一种工作电压低、接触压力大且分离力大的MEMS器件成为可能。一种MEMS器件，包括：衬底；设置在所述衬底上的支撑单元；设置在所述衬底上的固定电极；致动器，其包括第一电极、形成于所述第一电极上的第一压电膜以及形成于所述第一压电膜上的第二电极，利用所述支撑单元将所述致动器的一端固定到所述衬底上，所述致动器在连接所述支撑单元和所述固定电极的方向上延伸，所述第一电极被设置成面对所述固定电极；以及止动器单元，其设置在连接所述支撑单元和所述固定电极的直线上，并且设置在所述衬底上，以面对所述第一电极。 | ||||||
| 3 | 微机电系统开关的制作方法和微机电器件及其制作方法 | CN200580011761.6 | 2005-02-17 | CN100575242C | 2009-12-30 | 周嘉兴 |
| 一种用来使机电器件准平面化、并在所述机电器件上形成耐用金属接触点的方法、以及使用所述方法制作的器件。所述方法的两个主要方面包括：在衬底上形成平面化的介电/导电层，以及在微机电开关的电枢上形成电极，其中电极如此形成使得其与电枢的结构层互锁以便确保经过多次开关使用后仍可与电枢保持接触。本发明也涉及用于制作具有公共接地平面的微机电开关的系统和方法。制作微机电开关的方法包括：在衬底上制作公共接地平面层的图案；在公共接地平面层上形成介电层；沉积DC电极区，通过介电层与公共接地平面层接触；以及在DC电极区上沉积导电层，使得导电层区接触DC电极区，从而使得公共接地平面层为导电层区提供公共接地。 | ||||||
| 4 | MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端 | CN200810087276.2 | 2008-03-26 | CN101276707A | 2008-10-01 | 川久保隆; 长野利彦; 西垣亨彦 |
| 本发明提供一种MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端。具体地说，提供一种工作电压低、接触压力大且分离力大的MEMS器件成为可能。一种MEMS器件，包括：衬底；设置在所述衬底上的支撑单元；设置在所述衬底上的固定电极；致动器，其包括第一电极、形成于所述第一电极上的第一压电膜以及形成于所述第一压电膜上的第二电极，利用所述支撑单元将所述致动器的一端固定到所述衬底上，所述致动器在连接所述支撑单元和所述固定电极的方向上延伸，所述第一电极被设置成面对所述固定电极；以及止动器单元，其设置在连接所述支撑单元和所述固定电极的直线上，并且设置在所述衬底上，以面对所述第一电极。 | ||||||
| 5 | 可变电容元件 | CN200480001355.7 | 2004-07-07 | CN1310374C | 2007-04-11 | 吉田康一; 小口貴弘; 小中義宏 |
| 为了在温度变化时通过持续弯曲可移动部分来稳定地改变电容，从而提高可靠性。利用支撑部分(4)、支柱(7)等在基片上设置可移动部分(6)以便于移动。在可移动部分(6)的面向导体的表面(6A)上设置绝缘薄膜(8)和可移动电极(9)。驱动电极(13)可用于将可移动部分(6)等移到信号切断位置和信号通过位置之间，从而将通过传输线(3)传送的高频信号切断或允许其通过。在此情况下，绝缘薄膜(8)利用其压力将可移动部分(6)和可移动电极(9)以凸起的形式往向传输线(3)的方向弯曲并持续地保持这一弯曲方向。这能防止可移动电极(9)和传输线(3)之间的电容随由温度上升或下降所引起的可移动部分(6)等的弯曲方向的变化而变化，并使其能执行稳定的切换操作。 | ||||||
| 6 | 可弯折接触开关 | CN200580010340.1 | 2005-03-02 | CN1938807A | 2007-03-28 | T·-K·A·仇; H·巴 |
| 本发明的实施例描述了接触开关，该接触开关可以包括底电极结构和顶电极结构，底电极结构包括底驱动电极，顶电极结构包括顶驱动电极和一个或多个当开关在弯折状态时能保持顶电极和底电极之间的预先确定的间隙的止动件。 | ||||||
| 7 | 射频微机电系统(MEMS)的电容式开关 | CN201280071504.1 | 2012-05-27 | CN104170048B | 2017-05-03 | B·W·皮尔兰斯; C·B·穆迪; F·J·莫里斯 |
| 一种射频微机电系统电容式开关，该电容式开关使得其电极中的一个电极中的孔与电介质立柱对准，从而在不影响开关的电容比的情况下减少俘获电荷。当开关致动时，电极接触围绕多个孔的立柱的一个或更多个接触面，使得每个孔至少与该孔所对准的所述立柱的中心部分重叠。通过选择孔的尺寸，使得顶电极在射频频率下形成大致连续的导电片，孔与立柱的对准在不降低开关的电容的情况下减少俘获电荷的数量。在不同的实施例中，立柱的直径可以小于孔的直径，使得完全重叠，在这种情况下，俘获电荷在很大程度上被消除。 | ||||||
| 8 | MEMS结构体、电子设备以及移动体 | CN201510204540.6 | 2015-04-27 | CN105016290A | 2015-11-04 | 稻叶正吾; 蝦名昭彦; 衣川拓也 |
| 本发明提供MEMS结构体、电子设备以及移动体，能够提高设计自由度且能够降低可动电极相对于固定电极的粘连。本发明的MEMS结构体(1)具有：基板(2)；下部电极(51)，其配置在基板(2)的上方；上部电极(53)，其具有与下部电极(51)分离地相对配置的可动部(531)；以及凸部(541)，其从可动部(531)的与下部电极(51)相对的一侧的面突出，由与可动部(531)不同的材料构成。 | ||||||
| 9 | RFMEMS交叉点式开关及包括RFMEMS交叉点式开关的交叉点式开关矩阵 | CN201280016575.1 | 2012-03-20 | CN103518248A | 2014-01-15 | 克里斯托夫·帕瓦若 |
| 一种RF MEMS交叉点式开关（1），包括第一传输线（10）和与第一传输线交叉的第二传输线（11）以及开关元件（12）；第一传输线（10）包括两个隔开的传输线部分（100、101），并且开关元件将所述两个隔开的传输线部分（100、101）永久电连接；第二传输线（11）在两个隔开的传输线部分（100、101）之间与第一传输线（10）交叉；该RF MEMS交叉点式开关（1）进一步包括用于至少在第一位置与第二位置之间致动开关元件（12）的致动装置（121），在第一位置中开关元件（12）将第一传输线（10）的所述两个隔开的传输线部分（100、101）电连接并且将第一传输线（10）与第二传输线（11）电断开，在第二位置中开关元件（12）将第一传输线（10）的所述两个隔开的传输线部分（100、101）电连接并且还将两个传输线（10、11）电连接在一起。 | ||||||
| 10 | 静电驱动器及其调节方法以及使用该静电驱动器的设备 | CN02150233.1 | 2002-11-05 | CN1258795C | 2006-06-07 | 秋叶朗; 宇野圭辅; 城岛正男; 积知范; 佐野浩二 |
| 通过抑制静电驱动器的接通电压和断开电压等工作电压特性的变动，防止向静电驱动器施加额定电压时，静电驱动器不接通，或断开驱动电压时，静电驱动器不断开的现象。相对置地设置固定电极30和可动电极38，在固定电极30的表面形成绝缘膜31。绝缘膜31以氮化膜(SiN)37为主要材料构成，在氮化膜37的正反两面形成氧化膜(SiO2)39、48。在绝缘膜31的上表面与可动电极38对置的区域设置有多个突起32。绝缘膜31的带电量主要由氧化膜48的膜厚决定，使用氮化膜47是为确保耐压特性等所需的必要膜厚。 | ||||||
| 11 | 静电驱动器及使用该驱动器的静电微动继电器等其他设备 | CN02150233.1 | 2002-11-05 | CN1417826A | 2003-05-14 | 秋叶朗; 宇野圭辅; 城岛正男; 积知范; 佐野浩二 |
| 通过抑制静电驱动器的接通电压和断开电压等工作电压特性的变动，防止向静电驱动器施加额定电压时，静电驱动器不接通，或断开驱动电压时，静电驱动器不断开的现象。相对置地设置固定电极30和可动电极38，在固定电极30的表面形成绝缘膜31。绝缘膜31以氮化膜(SiN)37为主要材料构成，在氮化膜37的正反两面形成氧化膜(SiO2)39、48。在绝缘膜31的上表面与可动电极38对置的区域设置有多个突起32。绝缘膜31的带电量主要由氧化膜48的膜厚决定，使用氮化膜47是为确保耐压特性等所需的必要膜厚。 | ||||||
| 12 | 具有导电机械停止器的MEMS微开关 | CN200810188424.X | 2008-12-22 | CN101533740B | 2013-11-13 | X·王; K·苏布拉马尼安; C·F·凯梅尔; M·F·艾米; K·V·S·R·基肖尔; G·S·克莱顿; O·C·布姆豪尔; P·萨克尔 |
| 本发明涉及一种具有导电机械停止器的MEMS微开关。MEMS开关30、50、60、70、80包含衬底32、耦接到该衬底32的活动致动器53、63、83，衬底接触35、85，衬底电极36、56、86，和电耦接到该活动致动器33、63、83并被构造为防止该活动致动器33、63、83与衬底电极36、56、86接触，但允许该活动致动器33、63、83与衬底接触35、85形成接触的导电停止器39、59、69、79。 | ||||||
| 13 | 电容性射频微机电系统器件及其制造方法 | CN200680024145.9 | 2006-04-21 | CN101213631B | 2012-03-28 | 彼得·杰拉德·斯蒂内肯 |
| 本发明提出了一种包括垂直集成的去耦电容器(14)的电容性RF-MEMS。因此所述去耦电容器(14)不会占据额外的面积。另外，根据本发明的RF-MEMS需要更少的互连，这也节省了空间，并且减小了RF路径中的串联电感/阻抗。 | ||||||
| 14 | 可弯折接触开关 | CN200580010340.1 | 2005-03-02 | CN1938807B | 2011-07-06 | T·-K·A·仇; H·巴 |
| 本发明的实施例描述了接触开关，该接触开关可以包括底电极结构和顶电极结构，底电极结构包括底驱动电极，顶电极结构包括顶驱动电极和一个或多个当开关在弯折状态时能保持顶电极和底电极之间的预先确定的间隙的止动件。 | ||||||
| 15 | 具有导电机械停止器的MEMS微开关 | CN200810188424.X | 2008-12-22 | CN101533740A | 2009-09-16 | X·王; K·苏布拉马尼安; C·F·凯梅尔; M·F·艾米; K·V·S·R·基肖尔; G·S·克莱顿; O·C·布姆豪尔; P·萨克尔 |
| 本发明涉及一种具有导电机械停止器的MEMS微开关。MEMS开关30、50、60、70、80包含衬底32、耦接到该衬底32的活动致动器53、63、83，衬底接触35、85，衬底电极36、56、86，和电耦接到该活动致动器33、63、83并被构造为防止该活动致动器33、63、83与衬底电极36、56、86接触，但允许该活动致动器33、63、83与衬底接触35、85形成接触的导电停止器39、59、69、79。 | ||||||
| 16 | 具有集成的去耦电容器的电容性RF－MEMS器件 | CN200680024145.9 | 2006-04-21 | CN101213631A | 2008-07-02 | 彼得·杰拉德·斯蒂内肯 |
| 本发明提出了一种包括垂直集成的去耦电容器(14)的电容性RF－MEMS。因此所述去耦电容器(14)不会占据额外的面积。另外，根据本发明的RF－MEMS需要更少的互连，这也节省了空间，并且减小了RF路径中的串联电感/阻抗。 | ||||||
| 17 | 微机电系统开关的制作方法和微机电器件及其制作方法 | CN200580011761.6 | 2005-02-17 | CN101018734A | 2007-08-15 | 周嘉兴 |
| 一种用来使机电器件准平面化、并在所述机电器件上形成耐用金属接触点的方法、以及使用所述方法制作的器件。所述方法的两个主要方面包括：在衬底上形成平面化的介电/导电层，以及在微机电开关的电枢上形成电极，其中电极如此形成使得其与电枢的结构层互锁以便确保经过多次开关使用后仍可与电枢保持接触。本发明也涉及用于制作具有公共接地平面的微机电开关的系统和方法。制作微机电开关的方法包括：在衬底上制作公共接地平面层的图案；在公共接地平面层上形成介电层；沉积DC电极区，通过介电层与公共接地平面层接触；以及在DC电极区上沉积导电层，使得导电层区接触DC电极区，从而使得公共接地平面层为导电层区提供公共接地。 | ||||||
| 18 | 基于微机电系统装置的薄膜致动器及其方法 | CN200480032949.4 | 2004-09-09 | CN1910109A | 2007-02-07 | 乔基姆·奥伯哈默; 戈兰·施泰姆 |
| 本发明公开了一种微机电系统(MEMS)装置，其适合于从DC应用(如切换电信号线)到RF应用(如可调电容器和开关)的应用范围。在本发明的一个实施例中，该装置包括以固定距离彼此隔开的底部基板和顶部基板。设置在基板之间的是柔性S形薄膜，该薄膜具有一电极或可导电的电极层，其一端与顶部基板连接，另一端与底部基板接触。一导电触点单元与薄膜致动器的底面连接，用于在开关处于闭合位置时使信号短路。当将电压施加到薄膜和底部基板上的电极层之间时，薄膜因静电力而以起伏的波状运动偏斜，使得触点单元移动到与信号线接触。当将电压施加到薄膜致动器和顶部基板上的电极层之间时可以主动地打开该装置，从而使触点单元向上移动而不与信号线接触。该MEMS切换装置可以应用于开关矩阵板，以自动地切换电话线或应用于可调电容器型式的RF应用。 | ||||||
| 19 | 可变电容元件 | CN200480001355.7 | 2004-07-07 | CN1706066A | 2005-12-07 | 吉田康一; 小口貴弘; 小中羲宏 |
| 为了在温度变化时通过持续弯曲可移动部分来稳定地改变电容，从而提高可靠性。利用支撑部分4、支柱7等在基片上设置可移动部分6以便于移动。在可移动部分6的面向导体的表面6A上设置绝缘薄膜8和可移动电极9。驱动电极13可用于将可移动部分6等移到信号切断位置和信号通过位置之间，从而将通过传输线3传送的高频信号切断或允许其通过。在此情况下，绝缘薄膜8利用其压力将可移动部分6和可移动电极9以凸起的形式往向传输线3的方向弯曲并持续地保持这一弯曲方向。这能防止可移动电极9和传输线3之间的电容随由温度上升或下降所引起的可移动部分6等的弯曲方向的变化而变化，并使其能执行稳定的切换操作。 | ||||||
| 20 | 角隅灌溉系统 | CN00100810.2 | 2000-02-12 | CN1161015C | 2004-08-11 | 杰里·D·格迪斯; 鲁迪·R·昂鲁 |
| 一种灌溉系统包括一个中心旋转支撑结构，一可转动地连接于该支撑结构上的主水梁，一可转动地连接于该主梁外端上的并支撑在一个可操纵驱动塔架上的延伸梁。设有一角隅跨臂传感器，用来检测延伸梁相对于主梁的角度。在延伸梁上沿其长度设有多个第一喷水器，其喷嘴尺寸由延伸梁的内端向外端增大。在延伸梁上沿其长度设有多个第二喷水器，其喷嘴尺寸由延伸梁的外端向内端增大。组合地使用两行喷水器可以在角隅部位施灌合适的水量。 | ||||||
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