| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 射频微机电系统(MEMS)的电容式开关 | CN201280071504.1 | 2012-05-27 | CN104170048A | 2014-11-26 | B·W·皮尔兰斯; C·B·穆迪; F·J·莫里斯 |
| 一种射频微机电系统电容式开关，该电容式开关使得其电极中的一个电极中的孔与电介质立柱对准，从而在不影响开关的电容比的情况下减少俘获电荷。当开关致动时，电极接触围绕多个孔的立柱的一个或更多个接触面，使得每个孔至少与该孔所对准的所述立柱的中心部分重叠。通过选择孔的尺寸，使得顶电极在射频频率下形成大致连续的导电片，孔与立柱的对准在不降低开关的电容的情况下减少俘获电荷的数量。在不同的实施例中，立柱的直径可以小于孔的直径，使得完全重叠，在这种情况下，俘获电荷在很大程度上被消除。 | ||||||
| 2 | 包含用于驱动静电型致动器的电路的半导体集成电路、MEMS及静电型致动器的驱动方法 | CN200710105311.4 | 2007-02-09 | CN100530643C | 2009-08-19 | 池桥民雄; 山崎宏明 |
| 半导体集成电路具有静电型致动器、检测电路、存储电路及偏置电路。上述静电型致动器具有上部电极、下部电极及在上述上部电极和上述下部电极间配置的上述绝缘膜。上述检测电路检测上述静电型致动器的上述绝缘膜中所积蓄的上述电荷量。上述存储电路存储由上述检测电路检测的上述电荷量的检测结果。上述偏置电路根据上述存储电路存储的上述检测结果，使用于驱动上述静电型致动器的驱动电压变化。 | ||||||
| 3 | 可弯折接触开关 | CN200580010340.1 | 2005-03-02 | CN1938807A | 2007-03-28 | T·-K·A·仇; H·巴 |
| 本发明的实施例描述了接触开关，该接触开关可以包括底电极结构和顶电极结构，底电极结构包括底驱动电极，顶电极结构包括顶驱动电极和一个或多个当开关在弯折状态时能保持顶电极和底电极之间的预先确定的间隙的止动件。 | ||||||
| 4 | 微型单片可变电气器件以及含有这类器件的装置 | CN94108716.6 | 1994-07-27 | CN1115067A | 1996-01-17 | 布拉德利·M·凯耐克 |
| 一微型、可变电气器件，诸如一电容器(40a)，包含一基本的DMD SLM(40′)，DMD SLM包括一衬底(43)和一构件(145)，构件与衬底相隔开，为可以移动，衬底安装在适当的设施(42，44)上。一控制信号(102)加至可动构件(145)以在它与衬底(43)或一相关的控制电极(46a)之间产生一电场。此电场使构件(145)向着或背着衬底(43)或一相关的输出电极(46b)移动，以有选择地调节它们之间的间隔。电场由衬底(43)相关联的寻址电路(45)产生。 | ||||||
| 5 | 具有格栅作为中间电极的RFMEMS开关 | CN201080019992.2 | 2010-05-07 | CN102422373B | 2014-09-17 | 皮特·杰拉德·斯普内肯; 希尔柯·瑟伊; 罗尔多夫·赫图斯特; 特温·范利庞 |
| 本发明提供了一种电容性MEMS器件，包括：第一电极，处于平面中；以及第二电极，悬挂于第一电极的上方并且能够相对于第一电极移动。第一电极用作致动电极。在第一电极和第二电极之间存在间隙。第三电极位于第一电极和第二电极之间，间隙在第三电极和第二电极中间。第三电极中具有一个或多个孔，所述一个或多个孔优选被排列为有序阵列或不规则阵列。本发明的一方面集成了导电格栅(例如金属格栅)作为中间(或第三)电极。本发明的一个优点在于能够减小现有技术中的至少一个问题。该优点使得能够对开关的拉入电压和释放电压进行独立控制。 | ||||||
| 6 | 具有格栅作为中间电极的RFMEMS开关 | CN201080019992.2 | 2010-05-07 | CN102422373A | 2012-04-18 | 皮特·杰拉德·斯普内肯; 希尔柯·瑟伊; 罗尔多夫·赫图斯特; 特温·范利庞 |
| 本发明提供了一种电容性MEMS器件，包括：第一电极，处于平面中；以及第二电极，悬挂于第一电极的上方并且能够相对于第一电极移动。第一电极用作致动电极。在第一电极和第二电极之间存在间隙。第三电极位于第一电极和第二电极之间，间隙在第三电极和第二电极中间。第三电极中具有一个或多个孔，所述一个或多个孔优选被排列为有序阵列或不规则阵列。本发明的一方面集成了导电格栅(例如金属格栅)作为中间(或第三)电极。本发明的一个优点在于能够减小现有技术中的至少一个问题。该优点使得能够对开关的拉入电压和释放电压进行独立控制。 | ||||||
| 7 | 可弯折接触开关 | CN200580010340.1 | 2005-03-02 | CN1938807B | 2011-07-06 | T·-K·A·仇; H·巴 |
| 本发明的实施例描述了接触开关，该接触开关可以包括底电极结构和顶电极结构，底电极结构包括底驱动电极，顶电极结构包括顶驱动电极和一个或多个当开关在弯折状态时能保持顶电极和底电极之间的预先确定的间隙的止动件。 | ||||||
| 8 | 采用MEMS技术制作的半导体器件 | CN200610074716.1 | 2006-04-11 | CN1848342A | 2006-10-18 | 池桥民雄 |
| 一种半导体器件，它包括弹性部件、第一和第二电极、压电致动器、以及静电致动器。弹性部件的一个末端通过固定器被固定在衬底上，以便在弹性部件与衬底之间形成间隙。第一和第二电极分别被安置成面对弹性部件的另一末端和衬底。此压电致动器使弹性部件的另一末端形变，以便使之靠近衬底。静电致动器包括位于弹性部件中的第三电极和位于衬底上面对第三电极的第四电极，并使弹性部件的另一末端形变，以便使之靠近衬底。借助于驱动压电致动器和静电致动器，来改变第一电极与第二电极之间的距离。 | ||||||
| 9 | 射频微机电系统(MEMS)的电容式开关 | CN201280071504.1 | 2012-05-27 | CN104170048B | 2017-05-03 | B·W·皮尔兰斯; C·B·穆迪; F·J·莫里斯 |
| 一种射频微机电系统电容式开关，该电容式开关使得其电极中的一个电极中的孔与电介质立柱对准，从而在不影响开关的电容比的情况下减少俘获电荷。当开关致动时，电极接触围绕多个孔的立柱的一个或更多个接触面，使得每个孔至少与该孔所对准的所述立柱的中心部分重叠。通过选择孔的尺寸，使得顶电极在射频频率下形成大致连续的导电片，孔与立柱的对准在不降低开关的电容的情况下减少俘获电荷的数量。在不同的实施例中，立柱的直径可以小于孔的直径，使得完全重叠，在这种情况下，俘获电荷在很大程度上被消除。 | ||||||
| 10 | 适宜使用RF组件的硅衬底，此类硅衬底形成的RF组件 | CN201410777866.3 | 2014-12-16 | CN104715975A | 2015-06-17 | P·M·拉姆伯金; P·L·菲兹格拉德; B·P·斯坦森; R·C·格金; S·A·莱恩彻; W·A·莱恩 |
| 本公开涉及适宜使用RF组件的硅衬底，此类硅衬底形成的RF组件。提供硅衬底可通过使用由Czochralski处理形成的硅层并具有沉积在硅层上的载流子寿命时间杀灭层而更便宜地便于形成RF组件。 | ||||||
| 11 | 避免基于微机电系统的开关中触点粘着的系统和方法 | CN200810173971.0 | 2008-10-31 | CN101425409B | 2013-11-27 | K·A·奥布里恩; K·苏布拉马尼安; N·C·R·赫奇斯; M·S·伊德尔基克; O·J·谢伦茨 |
| 提供了一种系统，其包含微机电系统开关电路(12)，例如可以由多个微机电开关(S1...Sn)构成.在系统操作过程中所述多个微机电开关可以通常工作在闭合开关状态。控制器(14)耦合到所述机电开关电路(12)。所述控制器(14)可以用于激活所述微机电开关中的至少一个为暂时断开开关状态，同时其余的微机电开关保持闭合开关状态以传导负载电流并且避免中断系统操作。所述开关的暂时断开开关状态的使用可以避免开关触点彼此粘着的倾向。 | ||||||
| 12 | 避免基于微机电系统的开关中触点粘着的系统和方法 | CN200810173971.0 | 2008-10-31 | CN101425409A | 2009-05-06 | K·A·奥布里恩; K·苏布拉马尼安; N·C·R·赫奇斯; M·S·伊德尔基克; O·J·谢伦茨 |
| 提供了一种系统，其包含微机电系统开关电路(12)，例如可以由多个微机电开关(S1...Sn)构成。在系统操作过程中所述多个微机电开关可以通常工作在闭合开关状态。控制器(14)耦合到所述机电开关电路(12)。所述控制器(14)可以用于激活所述微机电开关中的至少一个为暂时断开开关状态，同时其余的微机电开关保持闭合开关状态以传导负载电流并且避免中断系统操作。所述开关的暂时断开开关状态的使用可以避免开关触点彼此粘着的倾向。 | ||||||
| 13 | 包含用于驱动静电型致动器的电路的半导体集成电路、MEMS及静电型致动器的驱动方法 | CN200710105311.4 | 2007-02-09 | CN101043030A | 2007-09-26 | 池桥民雄; 山崎宏明 |
| 半导体集成电路具有静电型致动器、检测电路、存储电路及偏置电路。上述静电型致动器具有上部电极、下部电极及在上述上部电极和上述下部电极间配置的上述绝缘膜。上述检测电路检测上述静电型致动器的上述绝缘膜中所积蓄的上述电荷量。上述存储电路存储由上述检测电路检测的上述电荷量的检测结果。上述偏置电路根据上述存储电路存储的上述检测结果，使用于驱动上述静电型致动器的驱动电压变化。 | ||||||
| 14 | 静电驱动器及其调节方法以及使用该静电驱动器的设备 | CN02150233.1 | 2002-11-05 | CN1258795C | 2006-06-07 | 秋叶朗; 宇野圭辅; 城岛正男; 积知范; 佐野浩二 |
| 通过抑制静电驱动器的接通电压和断开电压等工作电压特性的变动，防止向静电驱动器施加额定电压时，静电驱动器不接通，或断开驱动电压时，静电驱动器不断开的现象。相对置地设置固定电极30和可动电极38，在固定电极30的表面形成绝缘膜31。绝缘膜31以氮化膜(SiN)37为主要材料构成，在氮化膜37的正反两面形成氧化膜(SiO2)39、48。在绝缘膜31的上表面与可动电极38对置的区域设置有多个突起32。绝缘膜31的带电量主要由氧化膜48的膜厚决定，使用氮化膜47是为确保耐压特性等所需的必要膜厚。 | ||||||
| 15 | 静电驱动器及使用该驱动器的静电微动继电器等其他设备 | CN02150233.1 | 2002-11-05 | CN1417826A | 2003-05-14 | 秋叶朗; 宇野圭辅; 城岛正男; 积知范; 佐野浩二 |
| 通过抑制静电驱动器的接通电压和断开电压等工作电压特性的变动，防止向静电驱动器施加额定电压时，静电驱动器不接通，或断开驱动电压时，静电驱动器不断开的现象。相对置地设置固定电极30和可动电极38，在固定电极30的表面形成绝缘膜31。绝缘膜31以氮化膜(SiN)37为主要材料构成，在氮化膜37的正反两面形成氧化膜(SiO2)39、48。在绝缘膜31的上表面与可动电极38对置的区域设置有多个突起32。绝缘膜31的带电量主要由氧化膜48的膜厚决定，使用氮化膜47是为确保耐压特性等所需的必要膜厚。 | ||||||
| 16 | MEMSスイッチ | JP2015089553 | 2015-04-24 | JP6245562B2 | 2017-12-13 | パドレイグ エル. フィッツジェラルド; ウォン ジョ−エイ; レイモンド シー. ゴギン; バーナード ピー. ステンソン; ポール ラムキン; マーク シルマー |
| 17 | Mems | JP2010186599 | 2010-08-23 | JP5330335B2 | 2013-10-30 | 民雄 池橋; 宏明 山崎 |
| A semiconductor integrated circuit comprises an electrostatic actuator, an estimation circuit, a storage circuit and a bias circuit. The electrostatic actuator has a top electrode, a bottom electrode, and an insulating film disposed between the top electrode and the bottom electrode. The estimation circuit estimates the amount of a charge accumulated in the insulating film of the electrostatic actuator. The storage circuit stores a result of the estimation of the charge amount by the estimation circuit. The bias circuit changes, on the basis of the estimation result stored in the storage circuit, a drive voltage to drive the electrostatic actuator. | ||||||
| 18 | Collapsible contact switch | JP2007503925 | 2005-03-02 | JP4369974B2 | 2009-11-25 | チョウ、ツン−クァン、アレン; バー、ハナン |
| 19 | System and method for avoiding contact adsorption in micro-electromechanical system based switch | JP2008276338 | 2008-10-28 | JP2009110960A | 2009-05-21 | O'BRIEN KATHLEEN ANN; SUBRAMANIAN KANAKASABAPATHI; HEDGES NICOLE CHRISTINE REEVES; IDELCHIK MICHAEL SOLOMON; SCHELENZ OWEN JANNIS |
| <P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system including micro-electromechanical system switching circuit (12) capable of being made of a plurality of micro-electromechanical switches (S<SB>1</SB>...S<SB>n</SB>). <P>SOLUTION: The plurality of micro-electromechanical switches may generally operate in a closed switching condition during system operation. A controller (14) is coupled with the electromechanical switching circuit (12). The controller (14) may be configured to actuate at least one of the micro-electromechanical switches to a temporary open switching condition while a remainder of the micro-electromechanical switches retains the closed switching condition to conduct a load current and avoid interrupting system operation. The temporary open switching condition of the switch is effective to avoid a tendency of switch contacts to stick to one another. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT | ||||||
| 20 | Adjusting method of an electrostatic actuator | JP2001340293 | 2001-11-06 | JP4045090B2 | 2008-02-13 | 浩二 佐野; 正男 城島; 圭輔 宇野; 朗 秋葉; 知範 積 |
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