子分类：
- H01H2059/0018： ..为避免电荷俘获的特殊设备,例如驱动电极之间的绝缘层通过电荷俘获被永久极化,导致驱动或释放电压被改变
- H01H2059/0027： ..可移动电极在打开位置接地,用于改善隔离
- H01H2059/0036： ..用于高速开关的高谐振频率可移动衔铁
- H01H2059/0045： ..具有S形可动电极,定位和连接在两个驱动固定电极之间,例如当施加驱动电压时可动电极横向移动
- H01H2059/0054： ..滚动触点或动作构件
- H01H2059/0063： ..具有步进驱动的,例如在驱动期间,在不同的时间或不同的弹簧常数下,将驱动电压施加到不同的电极组
- H01H2059/0072： ..带有塞子或凸起用于保持一个间隙,减小接触面积或防止在吸引位置的可动和固定电极之间的静摩擦
- H01H2059/0081： ..在固定和移动电极之间具有锥形气隙
| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | MEMS寿命增加 | CN201380030543.1 | 2013-06-13 | CN104395979B | 2017-11-10 | 乔公国; 维克拉姆·乔希; 理查德·L·奈普 |
| 本发明通常涉及通过减少MEMS装置中切换元件的移动次数来增加MEMS装置的寿命的方法。如果两个周期需要相同的电容，则切换元件可以保持相同状态，而不是在周期之间回到接地状态。例如，如果在第一和第二周期中，MEMS装置的切换元件都处于高电容状态，则切换元件可以在第一和第二周期之间保持在原处，而不是移动到接地状态。即使在连续周期中电容的极性不同，切换元件也可以保持在原处，并且极性可以切换。因为切换元件在周期之间保持在原处，所以切换元件虽然具有同样有限的移动次数，但应具有较长的寿命。 | ||||||
| 2 | 用于导引RF信号的微机电开关 | CN201510025750.9 | 2015-01-19 | CN104810210B | 2016-09-28 | J·E·罗格斯 |
| 本申请案针对于用于导引RF信号的微机电开关。开关包含具有伸长长度的梭动件，所述梭动件在其相对端处被弹性地支撑且经配置以响应于所施加电压而沿着运动轴移动。梭动开关部分包含从所述梭动件的相对侧横向延伸的多个梭动接触指形件。所述梭动件的共用端子侧处的共用触点包含分别与所述梭动接触指形件指状交叉的多个接触指形件。第一及第二端子触点邻近所述梭动件的切换端子侧，且包含分别与梭动接触指形件指状交叉的第一端子接触指形件及第二端子接触指形件。所述梭动开关部分经配置以将所述共用触点选择性连接到所述第一端子触点或所述第二端子触点。 | ||||||
| 3 | 基于硅衬底的紧凑型MEMS电容式射频开关及制备方法 | CN201610150763.3 | 2016-03-16 | CN105788971A | 2016-07-20 | 张丛春; 李娟; 王岩磊; 赵小林 |
| 本发明提供一种基于硅衬底的紧凑型MEMS电容式射频开关及制备方法，开关由覆盖绝缘介质的硅衬底、一段叉指式共面波导传输线、可动极板组成，叉指式共面波导传输线、可动极板都设在硅衬底上，可动极板在固定极板上方，同时固定极板也是叉指式共面波导传输线的信号线；信号线与外接射频电路连接，通过在可动极板和固定极板间加一偏置电压，控制射频开关通断，从而控制外接射频信号通断；方法是在硅衬底上涂覆或沉积绝缘介质以隔离硅衬底与叉指式共面波导传输线，得到低插入损耗和高隔离度。本发明在硅衬底上覆盖介质层，有效减少硅衬底导致的损耗，以叉指式共面波导传输线作为传输路径，有效减小开关整体尺寸，方便调整传输线的结构参数。 | ||||||
| 4 | 一种无源无线微机械开关 | CN201610034581.X | 2016-01-19 | CN105655204A | 2016-06-08 | 王立峰; 黄庆安; 汪东澍; 金月 |
| 本发明提供了一种无源无线微机械开关，包括接收线圈、微机械开关、整流电路、信号输入端、信号输出端；其中，微机械开关包括可动电极、触点、偏置电极和输出电极；整流电路包括电阻、电容和整流二极管；接收线圈的两端分别连接整流电路的输入端，整流电路的输出端分别连接可动电极的输入端和偏置电极的输入端，可动电极的输出端连接信号输入端，输出电极的输出端连接信号输出端。通过采用无线的方式来控制开关，安装方便，省去布线的麻烦，更加智能化，同时不含电源或电池，增加了使用寿命。 | ||||||
| 5 | 微机电系统（MEMS）以及相关的致动器凸块、制造方法和设计结构 | CN201280026455.X | 2012-03-14 | CN103917481B | 2016-03-23 | C.V.杰恩斯; A.K.斯坦珀 |
| 提供微机电系统（MEMS）结构、制造方法和设计结构。形成MEMS结构的方法包括在基板上形成固定致动器电极（115）和接触点。该方法还包括在固定致动器电极和接触点之上形成MEMS梁（100）。该方法还包括形成与固定致动器电极的部分对齐的致动器电极阵列（105’），其大小和尺度设置为防止MEMS梁在重复循环后下陷在固定致动器电极上。致动器电极阵列形成为与MEMS梁的下侧和固定致动器电极的表面至少之一直接接触。 | ||||||
| 6 | 微机电系统结构 | CN201180025557.5 | 2011-06-15 | CN102906011B | 2016-02-10 | A.斯坦珀; C.V.扬斯 |
| 一种形成至少一个微机电系统（MEMS）腔体的方法包括在下布线层之上形成第一牺牲腔体层。该方法还包括形成一层。该方法还包括在第一牺牲层之上形成第二牺牲腔体层并且该第二牺牲腔体层与该层接触。该方法还包括在第二牺牲腔体层上形成顶盖。该方法还包括在顶盖中形成至少一个排放孔，暴露第二牺牲腔体层的一部分。该方法还包括在排放或剥离第一牺牲腔体层之前，排放或剥离第二牺牲腔体层，使第二牺牲腔体层的顶表面不再接触顶盖的底表面，从而分别形成第一腔体和第二腔体。 | ||||||
| 7 | 具有基于微机电系统的切换的可编程逻辑控制器 | CN200810176200.7 | 2008-11-14 | CN101436048B | 2016-01-13 | C·小里弗斯; B·C·库姆菲尔; W·J·普雷梅里亚尼; K·苏布拉马尼安 |
| 本发明涉及一种具有基于微机电系统的切换的可编程逻辑控制器。公开一种可编程逻辑控制器。该可编程逻辑控制器包括连接到I/O模块(24)的至少一个微机电系统(MEMS)开关(36)。MEMS开关(36)连接到外部设备(54)来对外部设备(54)接收和发送信号。该可编程逻辑控制器还可以包括MEMS开关和用于测量跨MEMS开关的电压的电压感测传感器(90)。MEMS开关(36)被布置为发送或接收逻辑信号。 | ||||||
| 8 | 控制MEMSDVC控制波形以增加寿命的方法和技术 | CN201480028457.1 | 2014-05-16 | CN105228945A | 2016-01-06 | 乔公国; 詹姆斯·道格拉斯·霍夫曼; 理查德·L·奈普; 维克拉姆·乔希; 罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩 |
| 本发明总体上涉及在使得MEMES器件在接触表面上的冲击最小化的同时操作MEMS DVC的方法。通过在MEMS器件的拉近移动时减小驱动电压，减小MEMS器件朝接触表面的加速，由此减小冲击速度，发生更少的MEMS DVC器件的损坏。 | ||||||
| 9 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201180025546.7 | 2011-06-08 | CN102906009B | 2016-01-06 | D.丹格; T.多安; G.A.邓巴; 何忠祥; R.T.赫林; C.V.扬斯; J.C.马林; W.J.墨菲; A.K.斯坦珀; J.G.通布利; E.J.怀特 |
| 本发明提供了平面腔体微机电系统（MEMS）结构、制造和设计结构的方法。该方法包括：采用反向镶嵌工艺形成至少一个微机电系统（MEMS）腔体（60a，60b），该至少一个微机电系统腔体具有平面表面。 | ||||||
| 10 | 电子器件及其制造方法、电子器件的驱动方法 | CN201180069268.5 | 2011-06-02 | CN103430272B | 2015-12-02 | 岛内岳明; 豊田治; 上田知史 |
| 本申请的提供一种提高电子器件的可靠性的电子器件及其制造方法、电子器件的驱动方法。所述电子器件（20）包括：基材（21）；导电膜（31），具备固定在基材（21）上的第一端部（33）和第二端部（34），在第一端部（33）和第二端部（34）之间相对于基材（21）能够横向移动；第一驱动电极（25），设置于基材（21）上的与导电膜（31）的第一主表面（31a）相向的位置，并被施加第一驱动电压（V1）；第二驱动电极（26），设置于基材（21）上的与导电膜（31）的第二主表面（31b）相向的位置，并被施加第二驱动电压（V2）；端子（28），设置于基材（21）上的能够与导电膜（31）的第二主表面（31b）接触的位置。 | ||||||
| 11 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201180025549.0 | 2011-06-08 | CN102906871B | 2015-11-25 | G.A.邓巴; 何忠祥; J.C.马林; W.J.墨菲; A.K.斯坦珀 |
| 一种形成至少一个微机电系统（MEMS）的方法包括：在衬底上形成下布线层。该方法还包括：自下布线层形成多个分离布线（14）。该方法还包括：在多个分离布线之上形成电极梁（38）。电极梁和多个分离布线的形成的至少之一形成有最小化后续硅沉积（50）中的小丘和三相点的布局。 | ||||||
| 12 | 静电致动器 | CN201210068873.7 | 2012-03-15 | CN102674231B | 2015-10-21 | 益永孝幸; 山崎宏明 |
| 提供一种静电致动器，该静电致动器具备基板、电极部、膜体部和施力部。上述电极部设在上述基板上。上述膜体部与上述电极部对置设置，具有导电性。上述施力部具有与上述基板连接的连接部和设在上述连接部与上述膜体部之间的弹性部，支承上述膜体部。上述电极部和上述膜体部能够对应于施加在上述电极部上的电压而成为接触的状态和分离的状态。上述弹性部在连接于上述连接部的一端与连接于上述膜体部的多个其他端之间具有分支部。 | ||||||
| 13 | RFMEMS开关硅梁结构 | CN201510138222.4 | 2015-03-27 | CN104779121A | 2015-07-15 | 杨俊民 |
| RF MEMS开关硅梁结构，包括上电极、锚点，其特征在于：所述上电极和锚点采用对角Z形梁连接。本发明通过选取合理结构的硅梁结构，有效降低其谐振频率和阈值电压，开关响应时间短、易集成。 | ||||||
| 14 | 可配置的多栅开关电路系统 | CN201080046300.3 | 2010-10-15 | CN102576629B | 2015-06-10 | D·刘易斯 |
| 提供带有可配置的多栅开关电路系统的集成电路。开关电路系统可包括开关控制电路系统和多栅开关阵列。每个多栅开关可具有第一和第二端子、第一和第二栅极以及金属桥。金属桥连接到第一端子。金属桥可在栅极之上延伸且在断开状态时可悬浮在第二端子上。金属桥可具有尖端，在导通状态时，其向下弯曲以和第二端子物理接触。开关控制电路系统可提供行和列控制信号以加载所需要的开关状态到开关阵列中。开关阵列可被分割成形成多路复用器的开关组。多路复用器可用于如可编程逻辑器件电路的可编程电路中。 | ||||||
| 15 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201110173720.4 | 2011-06-24 | CN102295263B | 2015-06-10 | 乔治.A.邓巴三世; 杰弗里.C.马林; 威廉.J.莫菲; 安东尼.K.斯塔姆珀 |
| 本发明公开一种平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法。一种形成至少一个微机电系统(MEMS)的方法包括形成下牺牲材料，用于形成下腔体。该方法还包括形成将下腔体连接到上腔体的腔体通孔。该腔体通孔形成有圆形或倒角边缘的俯视外形。该方法还包括在腔体通孔内及其上方形成上牺牲材料，其具有基于该腔体通孔的外形的生成表面。该上腔体形成有顶盖，该顶盖具有不妨碍MEMS梁的结构，包括：在上牺牲材料的生成表面上沉积顶盖材料；以及排出该上牺牲材料以形成上腔体，从而该顶盖材料形成与该上牺牲材料的生成表面保形的顶盖。 | ||||||
| 16 | MEMS寿命增加 | CN201380030543.1 | 2013-06-13 | CN104395979A | 2015-03-04 | 乔公国; 维克拉姆·乔希; 理查德·L·奈普 |
| 本发明通常涉及通过减少MEMS装置中切换元件的移动次数来增加MEMS装置的寿命的方法。如果两个周期需要相同的电容，则切换元件可以保持相同状态，而不是在周期之间回到接地状态。例如，如果在第一和第二周期中，MEMS装置的切换元件都处于高电容状态，则切换元件可以在第一和第二周期之间保持在原处，而不是移动到接地状态。即使在连续周期中电容的极性不同，切换元件也可以保持在原处，并且极性可以切换。因为切换元件在周期之间保持在原处，所以切换元件虽然具有同样有限的移动次数，但应具有较长的寿命。 | ||||||
| 17 | 集成式机电致动器 | CN201180016557.9 | 2011-03-29 | CN102822931B | 2015-02-25 | M·德蓬 |
| 本发明提供了一种集成式机电致动器和一种用于制造此类集成式机电致动器的方法。所述集成式机电致动器包括致动器电极之间的静电致动器间隙和接触电极之间的电接触间隙。在所述致动器电极与所述接触电极之间提供具有倾斜角的倾斜。此电接触间隙的厚度等于在制造过程中通过蚀刻被除去的牺牲层的厚度。 | ||||||
| 18 | 具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关 | CN200810188423.5 | 2008-12-22 | CN101465243B | 2015-02-04 | C·F·凯梅尔; X·王; M·F·艾米; K·苏布拉马尼安 |
| 本发明涉及具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关。根据本发明的一个方面，提供了一种MEMS开关(10，30，40)。MEMS开关(10，30，40)包括：衬底(12)，电耦接在一起的第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)，与衬底(12)机械耦接并且支撑第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)中的至少一个的固定器(18)，以及被配置来使得第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)致动的栅极驱动器(6)。 | ||||||
| 19 | 微机电系统（MEMS）结构及设计结构 | CN201410270234.8 | 2014-06-17 | CN104241034A | 2014-12-24 | W·A·约翰逊; J·E·拉里; A·K·斯坦珀; K·M·沃森; 余佩玲 |
| 在本文中公开了微机电系统(MEMS)结构、制造和使用方法、以及设计结构。该方法包括向微机电系统(MEMS)结构的致动器应用第一电压极性，以将MEMS结构置于用于第一操作条件的预定状态。该方法还包括在后续操作条件期间向MEMS结构的致动器应用与第一电压极性相反的第二电压极性。 | ||||||
| 20 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201110174587.4 | 2011-06-24 | CN102295265B | 2014-12-17 | 安东尼.K.斯坦珀; 约翰.G.通布利 |
| 本发明公开一种平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法。一种形成至少一个微机电系统(MEMS)的方法包括图案化布线层以形成至少一个固定板，以及在该布线层上形成牺牲材料。该方法还包括在至少一个固定板上和下方衬底的暴露部分上形成一个或多个膜的绝缘层以防止形成该布线层和牺牲材料之间的反应产物。该方法还包括在至少一个固定板上形成可移动的至少一个MEMS梁。该方法还包括排出或剥去该牺牲材料以形成至少第一腔体。 | ||||||
QQ群二维码
意见反馈
意见反馈