子分类：
- H01H2059/0018： ..为避免电荷俘获的特殊设备,例如驱动电极之间的绝缘层通过电荷俘获被永久极化,导致驱动或释放电压被改变
- H01H2059/0027： ..可移动电极在打开位置接地,用于改善隔离
- H01H2059/0036： ..用于高速开关的高谐振频率可移动衔铁
- H01H2059/0045： ..具有S形可动电极,定位和连接在两个驱动固定电极之间,例如当施加驱动电压时可动电极横向移动
- H01H2059/0054： ..滚动触点或动作构件
- H01H2059/0063： ..具有步进驱动的,例如在驱动期间,在不同的时间或不同的弹簧常数下,将驱动电压施加到不同的电极组
- H01H2059/0072： ..带有塞子或凸起用于保持一个间隙,减小接触面积或防止在吸引位置的可动和固定电极之间的静摩擦
- H01H2059/0081： ..在固定和移动电极之间具有锥形气隙
| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 61 | 机电元件及使用该机电元件的电气设备 | CN200880002243.1 | 2008-11-12 | CN101606213A | 2009-12-16 | 内藤康幸 |
| 本发明提供一种机电元件及使用该机电元件的电气设备。向机电元件输入高电力的信号时，产生由静电力使可动电极无意地被自动驱动的现象。本发明防止这样的现象，实现可靠性高的机电元件。本发明的机电元件是形成在基板上的机电元件，具有通过可动电极与间隙形成的信号电极与驱动电极。通过在可动电极与驱动电极之间施加引力，能够使可动电极接触信号电极。通过可动电极与驱动电极在高频信号的输入端子侧经由绝缘层进行对置，形成大的静电电容。其结果，由于在输入高电力信号的情况下也会降低可动电极与驱动电极之间的电位差，因此能够实现高可靠性的机电元件。 | ||||||
| 62 | 具有受控的电极关断状态位置的MEMS器件 | CN200780045825.3 | 2007-12-10 | CN101558006A | 2009-10-14 | 彼得·G·斯滕肯 |
| 本发明涉及MEMS器件，其包括：第一电极和第二电极，第二电极借助于悬挂结构而悬起并距第一电极一定距离。MEMS器件还包括至少一个变形电极。当通过变形电极施加静电变形力时，第二电极和悬挂结构之一或这二者能够塑性变形。这样，可消除在制造不同的器件或操作单个器件期间出现的第二电极的关断状态位置的改变。 | ||||||
| 63 | 智能配线架的线路切换的方法及装置 | CN200510053679.1 | 2005-03-10 | CN100551090C | 2009-10-14 | 黄世魁 |
| 本发明涉及一种智能配线架的线路切换的方法及装置。本发明的目的是解决MEMS(微电子机械系统)矩阵热切换过程中可能出现的损坏触点的问题，进而解决智能配线架中的线路切换过程中可能出现的相应问题。本发明具体采用的实现方式为：当MEMS矩阵需要进行开关单元切换操作时，首先切断接入MEMS矩阵的电流，当切换操作完成时，再将接入MEMS矩阵的电流接通，从而避免所述“粘合”现象的出现。因此，本发明为AMDF(智能配线架)中MEMS矩阵继电器的切换过程提供了相应的保护，有效避免了MEMS矩阵进行开关单元切换操作时“粘合”现象的出现，从而提高了AMDF的可靠性。 | ||||||
| 64 | 高频电子元件 | CN200910126558.3 | 2009-03-12 | CN101533937A | 2009-09-16 | 日浦滋; 山崎宏明; 池桥民雄 |
| 本发明所要解决的技术问题是提供一种可实现具有高Q值的可变电容部且可减少电路损耗的高频电子元件。其解决方案是作为高频电子元件的高频MEMS(1)具有：硅基板(2)；在硅基板(2)上彼此交叉地形成的高频信号线(5)和接地线(4)；以及电介质膜(8)，其在高频信号线(5)和接地线(4)的梁(8)交叉的部分，形成在高频信号线(5)和接地线(4)的至少一方上，且构成可变电容部(13)，该可变电容部(13)为，高频信号线(5)和接地线(4)能够沿接触分离方向相对移位地被支撑。 | ||||||
| 65 | 包含用于驱动静电型致动器的电路的半导体集成电路、MEMS及静电型致动器的驱动方法 | CN200710105311.4 | 2007-02-09 | CN100530643C | 2009-08-19 | 池桥民雄; 山崎宏明 |
| 半导体集成电路具有静电型致动器、检测电路、存储电路及偏置电路。上述静电型致动器具有上部电极、下部电极及在上述上部电极和上述下部电极间配置的上述绝缘膜。上述检测电路检测上述静电型致动器的上述绝缘膜中所积蓄的上述电荷量。上述存储电路存储由上述检测电路检测的上述电荷量的检测结果。上述偏置电路根据上述存储电路存储的上述检测结果，使用于驱动上述静电型致动器的驱动电压变化。 | ||||||
| 66 | 具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关 | CN200810188423.5 | 2008-12-22 | CN101465243A | 2009-06-24 | C·F·凯梅尔; X·王; M·F·艾米; K·苏布拉马尼安 |
| 本发明涉及具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关。根据本发明的一个方面，提供了一种MEMS开关(10，30，40)。MEMS开关(10，30，40)包括：衬底(12)，电耦接在一起的第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)，与衬底(12)机械耦接并且支撑第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)中的至少一个的固定器(18)，以及被配置来使得第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)致动的栅极驱动器(6)。 | ||||||
| 67 | 具有改进的关态电压控制的MEMS开关 | CN200810185380.5 | 2008-12-22 | CN101465242A | 2009-06-24 | W·J·普雷默拉尼; C·F·凯梅尔; K·苏布拉马尼安; 王雪峰; M·F·艾米 |
| 本发明涉及具有改进的关态电压控制的MEMS开关。提供了一种MEMS开关(20，30，40)，其包括衬底(28)、耦合到该衬底(28)并且具有第一侧部和第二侧部的可动执行器(22，32，132)、第一固定电极(24)和第二固定电极(27，37，47)，该第一固定电极(24)耦合到该衬底(28)并且定位在该可动执行器(22，32，132)的第一侧部上以产生第一驱动力来将该可动执行器(22，32，132)拉向导电状态，该第二固定电极(27，37，47)耦合到该衬底(28)并且定位在该可动执行器(22，32，132)的第二侧部上以产生第二驱动力来将该可动执行器(22，32，132)拉向非导通状态。 | ||||||
| 68 | 微型开关元件 | CN200510108574.1 | 2005-10-12 | CN100492575C | 2009-05-27 | 中谷忠司; 阮俊英; 岛内岳明; 今井雅彦; 上田知史 |
| 一种微型开关元件，包括基础基板、连接到该基础基板的固定部、及包括固定到该固定部的固定端的活动部。该活动部由该固定部通过具有一对闭合端的狭槽围绕。该活动部包括第一表面和第二表面。该第一表面朝向该基础基板，并且该第二表面与该第一表面相对。该微型开关元件还包括活动接触部，其设置于该活动部的第二表面上；以及一对固定接触电极，每个固定接触电极包括朝向该活动接触部的接触表面。该固定接触电极连接到该固定部上。 | ||||||
| 69 | 有源矩阵装置、光电显示装置及电子设备 | CN200810175544.6 | 2008-11-07 | CN101430471A | 2009-05-13 | 南百濑勇 |
| 本发明提供了具有优良的可靠性、且可以提高开口率的有源矩阵装置、光电显示装置及电子设备。本发明的有源矩阵装置(10)包括：多个像素电极(8)，设置在基板(50)的一个表面上；多个开关元件(1)，对应各个像素电极设置，该开关元件(1)包括与像素电极(8)连接的固定电极(3)、与固定电极(3)对置设置且可向固定电极(3)侧变位的可动电极(5)、及隔着静电间隙与可动电极(5)对置设置的驱动电极(2)；第一配线(11)，与各可动电极(5)连接；以及第二配线(12)，与各个驱动电极(2)连接，其中，各个开关元件(1)至少在可动电极(5)和驱动电极(2)之间填充有液晶。 | ||||||
| 70 | 微型机电系统开关的制造方法 | CN200480008832.2 | 2004-02-19 | CN100483593C | 2009-04-29 | H·巴 |
| 一种微型机电系统开关可以形成有确定于衬底上的突起，其与设置于衬底上方的可偏转构件接触。例如，可偏转构件可以是悬臂或可偏转梁。在一个实施例中，可以使用场氧化技术在衬底中形成突起。 | ||||||
| 71 | 具有液体金属接触件的微机电微继电器 | CN01807804.4 | 2001-02-01 | CN100483592C | 2009-04-29 | 罗伯特·D·斯特里特; 李·A·麦克米伦; 罗德里克·G·贝里斯泰特 |
| 一种MEM继电器(110′)，包括激励器、设置在激励器上的短路棒(52)、接触件基片和设置在接触件基片上的多个液体金属接触件(126，128)，使得当MEM继电器处于闭合状态时、多个液体金属接触件电连接。此外，MEM继电器包括设置在所述接触件基片上的加热器(129，129′)，其中所述加热器与多个液体金属接触件热连通。接触件基片可另外包括设置在接触件基片上的多个可湿润金属接触件(125，127)，其中多个可湿润金属接触件的每个靠近多个液体金属接触件(126，128)的每个，并且每个可湿润金属接触件与多个液体金属接触件的每个电连接。 | ||||||
| 72 | 静电微开关及其制造方法、以及具有静电微开关的装置 | CN200610057057.0 | 2006-03-17 | CN100459010C | 2009-02-04 | 佐野浩二; 木村勇; 城岛正男 |
| 静电微开关及其制造方法、以及具有静电微开关的装置。本发明的课题是提供可以维持高频特性、同时防止驱动电压上升或动作速度下降的静电微开关。作为解决手段，本发明的静电微开关通过设置在固定基板(10)上的固定电极(12)和弹性支撑在固定基板(10)上的可动基板(20)中的可动电极(23)之间的静电引力，使可动基板(20)变位，由此进行设置在固定基板(10)上的信号线(14)和设置在可动基板(20)上的可动触点(28)之间的通断。可动基板(20)由包含多种电阻率的半导体构成，在可动电极(23)中，与固定电极(12)相对的部分为低电阻率。此外，在可动基板(20)中与信号线(14)相对的部分为高电阻率。 | ||||||
| 73 | MEMS开关触点系统 | CN200680045217.8 | 2006-10-03 | CN101322205A | 2008-12-10 | 马克·席尔默; 约翰·狄克逊 |
| 一种MEMS开关，其具有：1)第一触点、和2)可相对于第一触点移动的第二触点。至少一个所述触点是导电的并具有基于铂系的材料。 | ||||||
| 74 | MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端 | CN200810087276.2 | 2008-03-26 | CN101276707A | 2008-10-01 | 川久保隆; 长野利彦; 西垣亨彦 |
| 本发明提供一种MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端。具体地说，提供一种工作电压低、接触压力大且分离力大的MEMS器件成为可能。一种MEMS器件，包括：衬底；设置在所述衬底上的支撑单元；设置在所述衬底上的固定电极；致动器，其包括第一电极、形成于所述第一电极上的第一压电膜以及形成于所述第一压电膜上的第二电极，利用所述支撑单元将所述致动器的一端固定到所述衬底上，所述致动器在连接所述支撑单元和所述固定电极的方向上延伸，所述第一电极被设置成面对所述固定电极；以及止动器单元，其设置在连接所述支撑单元和所述固定电极的直线上，并且设置在所述衬底上，以面对所述第一电极。 | ||||||
| 75 | 小型继电器和相应的用途 | CN200380107172.9 | 2003-11-18 | CN100410165C | 2008-08-13 | 乔塞普·蒙坦亚·希尔韦斯特尔 |
| 本发明涉及小型继电器，包括：设置成与第二区面对面的第一区；第一电容器板(3)；设置在第二区并小于或等于第一板的第二电容器板(9)；所述两个区之间的过渡空间(25)；设置在上述过渡空间(25)的导电单元(7)，它在机械上独立于相邻的壁并可以自由运动通过所述过渡空间(25)作为两个电容器板之间电压的函数；和属于电路的接触点(15，17)。按照本发明，在与接触点(15，17)对接时，上述导电单元(7)闭合该电路。例如，本发明的继电器可用作加速度计，气囊加速度计，倾斜仪，科里奥利力检测器，作为声学装置的微音器，和作为压力，流量，温度，气体，磁场传感器等。 | ||||||
| 76 | 与固态开关电路并联的机电开关电路 | CN200710196923.9 | 2007-12-06 | CN101227185A | 2008-07-23 | J·I·怀特; K·苏布拉马尼安; W·J·普雷默拉尼; J·N·帕克; E·K·霍韦尔 |
| 本发明提供了一种开关系统。该开关系统包括诸如微机电系统开关电路(202)的机电开关电路。该系统还包括与该机电开关电路耦合成并联电路的固态开关电路(204)，以及耦合至该机电开关电路和该固态开关电路的控制器(208)。该控制器可配置成响应于适于所述开关电路中相应开关电路的操作能力的负载电流状况而执行在该机电开关电路和该固态开关电路之间的负载电流的选择性切换。 | ||||||
| 77 | 微开关器件及其制造方法 | CN200810001293.X | 2008-01-17 | CN101226856A | 2008-07-23 | 阮俊英; 中谷忠司; 上田知史; 米泽游; 三岛直之 |
| 一种微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：固定部；可移动部；第一电极，具有第一触点和第二触点；第二电极，具有与第一触点相接触的第三触点；以及第三电极，具有与第二触点相对的第四触点。在制造微开关器件的过程中，在衬底上形成第一电极，再在衬底上形成牺牲层以覆盖第一电极。然后，在牺牲层中对应于第一电极的位置形成第一凹部和较浅的第二凹部。形成第二电极，第二电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第一凹部。形成第三电极，第三电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第二凹部。然后去除牺牲层。 | ||||||
| 78 | 减少MEMS器件中的空气阻尼 | CN200580036791.2 | 2005-10-24 | CN101049045A | 2007-10-03 | 彼得·G·斯蒂尼肯; 约瑟夫·托马斯·马蒂纳斯·范贝克; 特奥·里克斯 |
| 一种微机电器件，含有基板(10)、可移动装置，可移动装置能够在电极静电力的作用下向基板移动，可移动装置和基板的相对表面的形状使得当其在闭合位置时，通过相对的表面限定一个或多个排气通道(VC)，配置使得相对表面之间的流体可以流过相对的表面，从而进入或离开位于相对表面之间的区域。该通道可以使可移动装置的移动流体阻尼受控。增加进入或离开相对表面之间区域的流量，可以减少该阻尼，并且因此增加了器件打开和闭合的速度。该通道可以与电极的孔相连。 | ||||||
| 79 | 高频电路装置 | CN200580031871.9 | 2005-09-15 | CN101023553A | 2007-08-22 | 中村阳登; 安冈正纯; 三瓶広和; 茂吕义明 |
| 本发明提供一种可对高频信号的信号路径进行切换的微型开关，其具备：电路基板；一对第1贯穿型配线，其在电路基板上互相离开而配置着且以电气方式分别连接着电路基板的表面和里面；一对信号线，其在电路基板的表面上在一对第1贯穿型配线连结用的直线上具有间隙以及互相面对而配置着，且以电气方式分别连接着一对第1贯穿型配线；以及可动部，其在构造上可对电路基板的表面交替地相接触或相离开，且其在与表面相接触时可以电气方式而与一对信号线相连接。 | ||||||
| 80 | 微机电系统方法 | CN03811935.8 | 2003-03-17 | CN1326200C | 2007-07-11 | 马奈斯·埃利亚西恩; 凯恩·莲; 刘俊华; 罗伯特·B·伦普考斯基 |
| 使用标准的印刷线路板和高密度互连技术与实践，形成了具有悬臂梁的中尺度MEMS装置。该梁包括至少是一些聚合物材料以构成其长度，在一些实施例中还包含导体材料作为其承受载荷部件。在各种实施例中，该梁被固定在靠近其一端的位置，或远离其一端的位置。 | ||||||
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