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微机电系统(MEMS)可变电容器装置及相关方法 | 2020-05-11 | 569 |
部件承载件及板件 | 2020-05-11 | 207 |
微机电系统惯性测量单元自动校准系统及其校准验证方法 | 2020-05-11 | 529 |
力热耦合微机电系统、原位力学平台及制造方法 | 2020-05-08 | 618 |
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一种高动态输入的MEMS陀螺带宽扩展闭环控制方法 | 2020-05-08 | 593 |
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