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微机电系统
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标题 发布/更新时间 阅读量
弹性体微机电系统 2023-07-19 929
Paper handling system having embedded control structures 2023-07-15 60
Method and apparatus for providing a seamless electrical/optical multi-layer micro-opto-electro-mechanical system assembly 2023-07-11 705
Fluid flow control devices 2023-07-13 558
Thermal sensors arrays useful for motion tracking by thermal gradient detection 2023-07-20 639
Method for fabrication of high vertical aspect ratio thin film structures 2023-07-17 387
Multilayer high vertical aspect ratio thin film structures 2023-07-21 313
Dry etch process control using electrically biased stop junctions 2023-07-24 45
Tuneable microelectromechanical system resonator 2023-07-12 939
Elastomeric micro electro mechanical systems 2023-07-22 268
Method of fabrication glass diaphragm on silicon macrostructure 2023-07-25 439
Distributed, unattended wastewater monitoring system 2023-07-28 809
Dry-etching method for semiconductor substrate 2023-07-18 948
Dry etch process control using electrically biased stop junctions 2023-07-23 122
Thermal sensor arrays useful for motion tracking by thermal gradient detection 2023-07-27 966
ELASTOMERIC MICRO ELECTROMECHANICAL SYSTEMS 2023-07-16 75
POLYMER-BASED MICROMACHINING TECHNOLOGY FOR MICROFLUIDIC DEVICES 2023-07-14 946
HIGH VERTICAL ASPECT RATIO THIN FILM STRUCTURES 2023-07-29 879
MULTILAYER HIGH VERTICAL ASPECT RATIO THIN FILM STRUCTURES 2023-07-26 501
以干涉儀為基礎的紅外線感知器 2023-07-30 551
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