子分类：
- H01H2059/0018： ..为避免电荷俘获的特殊设备,例如驱动电极之间的绝缘层通过电荷俘获被永久极化,导致驱动或释放电压被改变
- H01H2059/0027： ..可移动电极在打开位置接地,用于改善隔离
- H01H2059/0036： ..用于高速开关的高谐振频率可移动衔铁
- H01H2059/0045： ..具有S形可动电极,定位和连接在两个驱动固定电极之间,例如当施加驱动电压时可动电极横向移动
- H01H2059/0054： ..滚动触点或动作构件
- H01H2059/0063： ..具有步进驱动的,例如在驱动期间,在不同的时间或不同的弹簧常数下,将驱动电压施加到不同的电极组
- H01H2059/0072： ..带有塞子或凸起用于保持一个间隙,减小接触面积或防止在吸引位置的可动和固定电极之间的静摩擦
- H01H2059/0081： ..在固定和移动电极之间具有锥形气隙
| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 181 | 触点开关器和具有触点开关器的装置 | CN200310119891.4 | 2003-12-05 | CN100353475C | 2007-12-05 | 积知范; 宇野裕; 增田贵弘 |
| 本发明提供一种触点开关器和具有触点开关器的装置，可以以简单的结构变化来降低触点部分的膜厚偏差，降低触点间的间隙量的偏差，实现触点闭合时的动作的稳定化，同时提高高频特性而降低信号的传递损失。该触点开关器是在固定基板(1)上配置多个固定触点(4a、5a)和信号线(4、5)。在与固定基板(1)对向的可动基板(10)上，设置与固定触点(4a、5a)闭合、分离的可动触点(18)。使固定触点(4a、5a)的膜厚比信号线(4、5)的膜厚小，在固定触点(4a、5a)和可动触点(18)闭合时，将可动触点(18)插入到由固定触点(4a、5a)构成的凹部中，将信号线(4、5)直线导通。 | ||||||
| 182 | 微机电系统开关的制作方法和微机电器件及其制作方法 | CN200580011761.6 | 2005-02-17 | CN101018734A | 2007-08-15 | 周嘉兴 |
| 一种用来使机电器件准平面化、并在所述机电器件上形成耐用金属接触点的方法、以及使用所述方法制作的器件。所述方法的两个主要方面包括：在衬底上形成平面化的介电/导电层，以及在微机电开关的电枢上形成电极，其中电极如此形成使得其与电枢的结构层互锁以便确保经过多次开关使用后仍可与电枢保持接触。本发明也涉及用于制作具有公共接地平面的微机电开关的系统和方法。制作微机电开关的方法包括：在衬底上制作公共接地平面层的图案；在公共接地平面层上形成介电层；沉积DC电极区，通过介电层与公共接地平面层接触；以及在DC电极区上沉积导电层，使得导电层区接触DC电极区，从而使得公共接地平面层为导电层区提供公共接地。 | ||||||
| 183 | 开关 | CN200610146780.6 | 2006-11-24 | CN1979714A | 2007-06-13 | 米泽游; 三岛直之; 中谷忠司; 阮俊英; 上田知史 |
| 本发明公开了一种开关。该开关包括：多个扭转弹簧，每个扭转弹簧的一端都固定在基板上；梁部分，所述多个扭转弹簧的另一端都固定于其上，其通过静电致动器进行摆动；以及开关接触部分，其中设置在所述梁部分处的第一触点和固定于所述基板上的第二触点处于连接或断开状态。 | ||||||
| 184 | 测量开关特性的装置和增大开关样品尺寸的装置 | CN200610163588.8 | 2006-10-20 | CN1971300A | 2007-05-30 | 查尔斯·J·蒙特罗斯; 王平川; 罗伯特·D·爱德华兹; 罗伯特·A·格罗夫斯; 理查德·P·沃兰特; 哈里克里亚·德利吉亚尼; 托马斯·J·弗莱希曼 |
| 本发明提供多个用于在MEMS开关器件上进行可靠性和质量测试的测试结构。采用用于触点和间隙特性测量的测试结构，其使得迂回布局模拟上下致动电极的排。使用级联开关链测试以大样品尺寸监测工艺缺陷。使用环形振荡器测量开关速度和开关寿命。设置电阻器梯形测试结构以使得每个电阻器与要被测试的开关串联，和使得每个开关电阻器对电并联。利用与现有工艺的开关串联工作的MEMS开关而建立串联/并联测试结构。使用移位寄存器以监测MEMS开关的开放和闭合状态。使用移位寄存器测量吸合电压、脱离电压、漏电流和开关寿命。 | ||||||
| 185 | 具有可变形弹性体导电元件的微机电开关 | CN02829426.2 | 2002-06-14 | CN1316531C | 2007-05-16 | H·德利吉安尼; D·R·格林伯格; C·V·亚恩斯; J·L·伦德; K·L·森格尔; R·P·沃朗 |
| 一种具有可变形弹性体元件(1)的微机电开关(MEMS)，该微机电开关以少量的移位表现出导电性方面的大的变化。可变形弹性体元件(1)被通过横向施加的静电力移动，从而产生了小的横向位移。所述横向位移又将金属触点(7)推向两个导电通路(5，6)，从而允许电信号通过。在两个相对侧给弹性体(1)提供了嵌入的金属元件(9，10)，诸如注入的金属棒、金属薄片、金属微粒或者导电膏。驱动电极(18，8)与弹性体的导电侧并行放置。在弹性体的导电侧和相应的驱动电极(18，8)之间施加的电压产生静电吸引力，所述静电吸引力压缩弹性体(1)，从而产生闭合MEMS的横向位移。基于弹性体的MEMS通过延长可变形开关元件的疲劳寿命而延长了开关的寿命。 | ||||||
| 186 | 带有模拟连接矩阵的集成电路 | CN200580011797.4 | 2005-04-14 | CN1942995A | 2007-04-04 | 希尔维斯特·卓塞普·蒙坦亚 |
| 带有模拟连接矩阵的集成电路。该集成电路包括一个模拟连接矩阵，该模拟连接矩阵具有多个模拟i/o触点(2)。该模拟i/o触点(2)具有经由微型继电器的彼此之间相对的多个电互连(4)，其中每个微型继电器包括所述过渡空间(25)中安排的导电单元(7)，所述导电单元(7)适合于依据电磁控制信号在第一位置和第二位置之间运动，并且所述导电单元(7)依据它是在所述第一位置还是在所述第二位置断开或闭合电路。 | ||||||
| 187 | 三级液态金属开关 | CN200610078230.5 | 2006-05-16 | CN1941242A | 2007-04-04 | 蒂莫西·贝凌; 史蒂文·A·罗西瑙 |
| 一种使用EWOD的三级液态金属开关，包括：共用EWOD开关(1310)，其具有输入端口(1302)、共享EWOD开关第一输出端(1336)和共享EWOD开关第二输出端(1338)；第一EWOD开关(1340)，其具有第一EWOD开关输入端(1343)、第一输出端口(1304)和第一EWOD开关输出端(1368)；第二EWOD开关(1370)，其具有第二EWOD开关输入端(1373)、第二输出端口(1306)和第二EWOD开关输出端(1398)。其中，所述共享EWOD开关第一输出端(1336)可操作地连接至所述第一EWOD开关输入端(1343)，所述共享EWOD开关第二输出端(1338)可操作地连接至所述第二EWOD开关输入端(1373)。 | ||||||
| 188 | 基于微机电系统装置的薄膜致动器及其方法 | CN200480032949.4 | 2004-09-09 | CN1910109A | 2007-02-07 | 乔基姆·奥伯哈默; 戈兰·施泰姆 |
| 本发明公开了一种微机电系统(MEMS)装置，其适合于从DC应用(如切换电信号线)到RF应用(如可调电容器和开关)的应用范围。在本发明的一个实施例中，该装置包括以固定距离彼此隔开的底部基板和顶部基板。设置在基板之间的是柔性S形薄膜，该薄膜具有一电极或可导电的电极层，其一端与顶部基板连接，另一端与底部基板接触。一导电触点单元与薄膜致动器的底面连接，用于在开关处于闭合位置时使信号短路。当将电压施加到薄膜和底部基板上的电极层之间时，薄膜因静电力而以起伏的波状运动偏斜，使得触点单元移动到与信号线接触。当将电压施加到薄膜致动器和顶部基板上的电极层之间时可以主动地打开该装置，从而使触点单元向上移动而不与信号线接触。该MEMS切换装置可以应用于开关矩阵板，以自动地切换电话线或应用于可调电容器型式的RF应用。 | ||||||
| 189 | 半导体器件及其制造方法 | CN200610094135.4 | 2006-06-27 | CN1893137A | 2007-01-10 | 大黑达也 |
| 一种半导体器件，包括：半导体衬底；提供在半导体衬底上方以便向上地移动的致动器；由致动器移动的第一电极层；和提供在第一电极层上方并包括第二电极层的盖部分。 | ||||||
| 190 | 微型器件 | CN03800683.9 | 2003-01-16 | CN1288068C | 2006-12-06 | 中西淑人; 清水克人; 矢吹博幸 |
| 谐振器(4，5)能够相对于基底(1)水平和垂直地振荡。谐振器(4)主要由固定地与基底(1)接触的支撑部件、包括与谐振器(5)接触的接触表面和与电极(7)接触的接触表面的可动部件、以及耦合支撑部件与可动部件的衔接部件构成。电极(6)置于谐振器(5)和谐振器(4)相间隔开的方向上。电极(7)置于谐振器(4)和谐振器(5)相间隔开的方向上。电极(9)被置于这样的位置，使谐振器(5)产生静电力，其方向与在谐振器(4)和(5)之间以及在谐振器(5)和电极(6)之间作用的吸引力的方向均不同。 | ||||||
| 191 | 静电微开关及其制造方法、以及具有静电微开关的装置 | CN200610057057.0 | 2006-03-17 | CN1848343A | 2006-10-18 | 佐野浩二; 木村勇; 城岛正男 |
| 静电微开关及其制造方法、以及具有静电微开关的装置。本发明的课题是提供可以维持高频特性、同时防止驱动电压上升或动作速度下降的静电微开关。作为解决手段，本发明的静电微开关通过设置在固定基板(10)上的固定电极(12)和弹性支撑在固定基板(10)上的可动基板(20)中的可动电极(23)之间的静电引力，使可动基板(20)变位，由此进行设置在固定基板(10)上的信号线(14)和设置在可动基板(20)上的可动触点(28)之间的通断。可动基板(20)由包含多种电阻率的半导体构成，在可动电极(23)中，与固定电极(12)相对的部分为低电阻率。此外，在可动基板(20)中与信号线(14)相对的部分为高电阻率。 | ||||||
| 192 | 采用MEMS技术制作的半导体器件 | CN200610074716.1 | 2006-04-11 | CN1848342A | 2006-10-18 | 池桥民雄 |
| 一种半导体器件，它包括弹性部件、第一和第二电极、压电致动器、以及静电致动器。弹性部件的一个末端通过固定器被固定在衬底上，以便在弹性部件与衬底之间形成间隙。第一和第二电极分别被安置成面对弹性部件的另一末端和衬底。此压电致动器使弹性部件的另一末端形变，以便使之靠近衬底。静电致动器包括位于弹性部件中的第三电极和位于衬底上面对第三电极的第四电极，并使弹性部件的另一末端形变，以便使之靠近衬底。借助于驱动压电致动器和静电致动器，来改变第一电极与第二电极之间的距离。 | ||||||
| 193 | 微电子机械系统开关 | CN200480024749.4 | 2004-08-27 | CN1842886A | 2006-10-04 | R·J·T·班彦; D·J·坎布斯; K·M·布伦森 |
| 一种微电子机械系统(MEMS)开关包括固定触点(24)和电枢(30)上的可动触点(35)。该开关具有与固定触点以及可动触点均相关用于提供静电开关操作的电极(22，34)，以及具有相关的电极(36，40)用于通过施加电压使电枢弯曲并提供初始压电开关操作以及后面的静电切换和夹紧的压电材料。电枢具有弯曲形状，当处于开关打开状态并且外加电压为零时，该电枢弯曲远离固定触点。这使得处于OFF状态时开关间隙较大，比如3pm，该间隙通过适于静电开关闭合的压电操作而减小。通过改变在电枢厚度上的应变提供一种弯曲状态，并且该弯曲状态在开关制造过程中产生。 | ||||||
| 194 | 静电驱动可锁止致动器系统 | CN200480024593.X | 2004-08-25 | CN1842885A | 2006-10-04 | 原田宏; 冈直正; 铃木裕二; 福岛博司; 野毛宏; 荻原淳; 河野清彦 |
| 一种静电驱动可锁止致动器系统具有致动器和一对在致动器相对端的侧受动器。致动器弹性地支撑到衬底并当电吸引到侧受动器之一时可沿着两个操作位之间的线性轴移动。提供锁止机构以机械锁止致动器在任一操作位位置上。侧受动器可沿着正常位置和接近致动器的移动位置之间的线性轴朝向或远离致动器移动。两个侧受动器也弹性地支撑到衬底以通过静电吸引到那里移向致动器并通过回弹力远离致动器。相应于侧受动器之一被吸引到致动器，移动的侧受动器通过机械连杆联锁到锁止机构以致解开致动器，并允许致动器从一种操作位向另一种操作位移动以再次锁止在那里。 | ||||||
| 195 | 微型开关元件 | CN200510108574.1 | 2005-10-12 | CN1815657A | 2006-08-09 | 中谷忠司; 阮俊英; 岛内岳明; 今井雅彦; 上田知史 |
| 一种微型开关元件，包括基础基板、连接到该基础基板的固定部、及包括固定到该固定部的固定端的活动部。该活动部由该固定部通过具有一对闭合端的狭槽围绕。该活动部包括第一表面和第二表面。该第一表面朝向该基础基板，并且该第二表面与该第一表面相对。该微型开关元件还包括活动接触部，其设置于该活动部的第二表面上；以及一对固定接触电极，每个固定接触电极包括朝向该活动接触部的接触表面。该固定接触电极连接到该固定部上。 | ||||||
| 196 | 微机电感应开关 | CN200380109984.7 | 2003-10-28 | CN1757080A | 2006-04-05 | 理查德·P.·沃朗特; 约翰·E.·弗洛克; 罗伯特·A.·格洛维斯 |
| 介绍了一种能够感应耦合和解耦电信号的微机电(MEM)开关。感应MEM开关由在可移动平台(15)上的第一组线圈(20、30)和在固定平台或基板上的第二组线圈(40、50)构成，在可移动平台上的线圈在固定基板中的线圈的上面或下面。通过相对于在固定基板上的线圈旋转或横向移动可移动平台的线圈实现耦合和解耦。分别在可移动和固定基板上的各种不同的排列或线圈允许多极和多掷开关结构。所述MEM开关消除了开关触点的静摩擦、拉弧和熔接问题。可以使用标准CMOS技术制造本发明的MEMS开关。 | ||||||
| 197 | 有平衡悬臂板的整体的MEMS装置 | CN200510107117.0 | 2005-09-28 | CN1756061A | 2006-04-05 | D·S·格雷沃尔; D·M·马罗姆 |
| 一种微机电系统装置由单个多层晶片制成，这减轻了与使用以前技术的两片设计相关的对准问题。在一个实施例中，微机电系统装置有一固定部件和一旋转连接固定部件的可移动部件。该固定部件有电极和与电极电绝缘的第一传导结构。该可移动部件有旋转板和位于板上并与板电连接的第二传导结构。第二传导结构的质量和位置的选择可以补偿板相对于旋转轴的不稳定性。此外，在静止位置，第一和第二传导结构围绕电极形成基本连续的、适于为电极提供电屏蔽的栅栏。可移动部件适于相对于固定部件旋转以响应施加于第二传导结构和电极之间的电压，这样可移动部件就无法在旋转过程中与电极进行物理接触，这减轻了许多使用以前技术的装置固有的突然损坏问题。 | ||||||
| 198 | 小型继电器和相应的用途 | CN200380107172.9 | 2003-11-18 | CN1729136A | 2006-02-01 | 乔塞普·蒙坦亚·希尔韦斯特尔 |
| 本发明涉及小型继电器，包括：设置成与第二区面对面的第一区；第一电容器板(3)；设置在第二区并小于或等于第一板的第二电容器板(9)；所述两个区之间的过渡空间(25)；设置在上述过渡空间(25)的导电单元(7)，它在机械上独立于相邻的壁并可以自由运动通过所述过渡空间(25)作为两个电容器板之间电压的函数；和属于电路的接触点(15，17)。按照本发明，在与接触点(15，17)对接时，上述导电单元(7)闭合该电路。例如，本发明的继电器可用作加速度计，气囊加速度计，倾斜仪，科里奥利力检测器，作为声学装置的微音器，和作为压力，流量，温度，气体，磁场传感器等。 | ||||||
| 199 | 利用并联的MEMS开关和固态开关的开关体系结构 | CN200380106206.2 | 2003-12-03 | CN1726571A | 2006-01-25 | E·齐珀; Q·马 |
| 在转换方案中，将机械MEMS开关与固态开关并联。这种并联的MEMS开关/固态开关配置利用了固态开关的快速开关速度并且利用了MEMS开关的改善的插入损耗和隔离特性。固态开关仅需在与较慢的MEMS开关相关联的斜坡上升/下降周期期间受激励，所以可节省功率。另一优点是利用与MEMS开关并联的固态开关改善了转换操作时系统的瞬时频谱。 | ||||||
| 200 | 电光显示器的底板 | CN200380106153.4 | 2003-12-16 | CN1726428A | 2006-01-25 | K·L·丹尼斯; G·M·杜塔勒; R·W·泽纳; M·A·金; C·H·霍尼曼; J·王 |
| 一种用于电光显示器的底板，所述底板包括像素电极(104)和向像素电极(104)提供电压的电压供应线(C)，和位于电压供应线(C)和像素电极(104)之间的微机械开关(106，112)，所述微机械开关(106，112)具有打开状态和关闭状态，在打开状态中，电压供应线(C)与像素电极(104)之间没有电连接，在关闭状态中，电压供应线(C)与像素电极(104)电连接。 | ||||||
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