子分类：
- H01H2059/0018： ..为避免电荷俘获的特殊设备,例如驱动电极之间的绝缘层通过电荷俘获被永久极化,导致驱动或释放电压被改变
- H01H2059/0027： ..可移动电极在打开位置接地,用于改善隔离
- H01H2059/0036： ..用于高速开关的高谐振频率可移动衔铁
- H01H2059/0045： ..具有S形可动电极,定位和连接在两个驱动固定电极之间,例如当施加驱动电压时可动电极横向移动
- H01H2059/0054： ..滚动触点或动作构件
- H01H2059/0063： ..具有步进驱动的,例如在驱动期间,在不同的时间或不同的弹簧常数下,将驱动电压施加到不同的电极组
- H01H2059/0072： ..带有塞子或凸起用于保持一个间隙,减小接触面积或防止在吸引位置的可动和固定电极之间的静摩擦
- H01H2059/0081： ..在固定和移动电极之间具有锥形气隙
| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 241 | 用于导引RF信号的微机电开关 | CN201510025750.9 | 2015-01-19 | CN104810210A | 2015-07-29 | J·E·罗格斯 |
| 本申请案针对于用于导引RF信号的微机电开关。开关包含具有伸长长度的梭动件，所述梭动件在其相对端处被弹性地支撑且经配置以响应于所施加电压而沿着运动轴移动。梭动开关部分包含从所述梭动件的相对侧横向延伸的多个梭动接触指形件。所述梭动件的共用端子侧处的共用触点包含分别与所述梭动接触指形件指状交叉的多个接触指形件。第一及第二端子触点邻近所述梭动件的切换端子侧，且包含分别与梭动接触指形件指状交叉的第一端子接触指形件及第二端子接触指形件。所述梭动开关部分经配置以将所述共用触点选择性连接到所述第一端子触点或所述第二端子触点。 | ||||||
| 242 | 一种RFMEMS开关硅梁结构 | CN201510138701.6 | 2015-03-27 | CN104779122A | 2015-07-15 | 杨俊民 |
| 一种RF MEMS开关硅梁结构，包括上电极、锚点，其特征在于：所述上电极和锚点采用两对对称Z形梁连接。本发明通过选取合理结构的硅梁结构，有效降低其谐振频率和阈值电压，开关响应时间短、易集成。 | ||||||
| 243 | 静电致动的微机械开关器件 | CN201110152589.3 | 2011-06-08 | CN102290289B | 2015-06-24 | J·弗梅尔; T·盖斯纳; C·考夫曼; S·雷迪赫; M·诺瓦克; S·库尔特; A·贝特兹; 池田浩一; 秋叶朗 |
| 本发明涉及一种静电致动的微机械开关器件，该器件具有在基片的本体中形成的可移动元件，用于通过这些可移动元件在该基片的平面内的水平移动来导通和断开至少一个欧姆接触；该开关器件包括：具有梳形电极的驱动器，其中这些电极包括固定驱动电极和可移动电极；可移动推杆，其与可移动电极机械地连接并且延伸穿过这些电极；可移动的接触元件，其与推杆的一侧机械地连接；至少一个复位弹簧，其与推杆机械地连接；信号线和接地线，其中信号线包括被空隙中断的两个部分。 | ||||||
| 244 | 适宜使用RF组件的硅衬底，此类硅衬底形成的RF组件 | CN201410777866.3 | 2014-12-16 | CN104715975A | 2015-06-17 | P·M·拉姆伯金; P·L·菲兹格拉德; B·P·斯坦森; R·C·格金; S·A·莱恩彻; W·A·莱恩 |
| 本公开涉及适宜使用RF组件的硅衬底，此类硅衬底形成的RF组件。提供硅衬底可通过使用由Czochralski处理形成的硅层并具有沉积在硅层上的载流子寿命时间杀灭层而更便宜地便于形成RF组件。 | ||||||
| 245 | 可开关电容器 | CN201280074863.2 | 2012-11-29 | CN104488049A | 2015-04-01 | F·J·莫里斯; C·B·穆迪; A·马尔泽斯基 |
| 一种可开关电容器，具有：电介质；一对电极，所述电极中的第一电极在其上具有所述电介质，并且当所述可开关电容器处于非致动状态时，所述电极中的第二挠性电极被悬置在所述电介质上方；和，顶板，其设置在所述电介质和所述第二挠性电极之间并且被连接到参考电势。当所述可开关电容器被静电驱动到致动状态时，所述电极中的所述第二电极接触所述顶板，并且，当所述可开关电容器返回到所述非致动状态时，在所述顶板上的电荷被放电到所述参考电势。 | ||||||
| 246 | 具有改良RF热切换性能及可靠性的微机械数字电容器 | CN201080047652.0 | 2010-10-01 | CN102640410B | 2014-12-31 | 理查德·L·奈普; 罗伯图斯·P·范坎彭; 阿纳特兹·乌纳穆诺 |
| 本发明一般涉及能够热切换的RF MEMS装置。RF MEMS装置通过利用一或多个弹簧机构能够热切换。在某些实施例中，可以使用在MEMS装置的悬臂的位移中的特定点转为啮合的两组或两组以上弹簧。弹簧允许显著增加给定拉入下落电压的释放电压。 | ||||||
| 247 | 静电致动器 | CN201010573402.2 | 2010-11-29 | CN102185517B | 2014-11-05 | 益永孝幸; 山崎宏明 |
| 实施方式的静电致动器具备：设置在基板(100)上的电极部(2)；与电极部(2)相对而设置的导电性的膜体部(3)；设置于导电性的膜体部(3)的第1周边部(3a)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；以及设置在与第1周边部(3a)相对的第2周边部(3b)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；构成为通过对电极部(2)设定预定值的电压从而电极部(2)与导电性的膜体部(3)接触或者脱离的实施方式的静电致动器，在第1周边部(3a)以及第2周边部(3b)的各个，在多个加载部(4)的各个之间，其刚性相互不同。 | ||||||
| 248 | 具有柔性膜和改进型电致动装置的MEMS结构 | CN201080012592.9 | 2010-03-18 | CN102362330B | 2014-09-03 | K·塞古尼; N·罗尔菲林 |
| 一种MEMS结构包括：柔性膜(6)，具有限定纵向(X)的主纵轴(5a)；至少一个支柱(3、3’)，位于柔性膜(6)下面；电降低致动装置(7)，适用于使柔性膜(6)向下弯曲到向下强制状态；电升高致动装置(8)，适用于使柔性膜(6)向上弯曲到向上强制状态。电降低致动装置(7)或者电升高致动装置(8)包括在膜(6)的一部分下面延伸并且适用于在纵向(X)在所述至少一个支柱(3)的两侧上同时对膜(6)施加拉力的致动区(7c或8c)。 | ||||||
| 249 | 基于微机电系统的开关 | CN200780053353.6 | 2007-06-20 | CN101681743B | 2014-08-20 | R·J·卡加诺; W·J·普雷默拉尼; M·E·瓦尔德斯; K·苏布拉马尼安; B·C·库姆菲尔; C·S·皮岑; J·N·帕克 |
| 公开了一种电流控制装置。该电流控制装置包括控制电路系统和与控制电路系统集成地布置的电流通路。该电流通路包括一组传导界面和布置在该组传导界面之间的微机电系统(MEMS)开关。该组传导界面具有限定保险丝终端几何结构的几何结构，并包括布置在电流通路的一端的第一界面和布置在电流通路的相对端的第二界面。MEMS开关响应于控制电路系统，以便于中断通过电流通路的电流。 | ||||||
| 250 | 用于配电的基于微机电系统的选择性协调的保护系统和方法 | CN200780100266.1 | 2007-06-20 | CN101779261B | 2014-08-13 | B·C·孔菲尔; W·J·普雷默拉尼; R·J·卡加诺; K·苏布拉马尼安; C·S·皮岑 |
| 一种实现基于微机电系统的开关装置的配电系统。示例实施例包括配电系统中的方法，该方法包括确定在配电系统的分支(211-213)中是否存在故障情况，该分支具有多个微机电系统(MEMS)开关，重新闭合多个MEMS开关(215-217)中的、分支中最远上游的MEMS开关且确定故障情况是否仍存在。示例实施例包括配电系统，该配电系统包括用于接收功率源的输入端口，电耦合到输入端口的主配电总线，位于输入端口和主配电总线之间且耦合到输入端口和主配电总线的服务断开MEMS开关，以及电耦合到主配电总线的多个配电分支。 | ||||||
| 251 | 微机电系统（MEMS）以及相关的致动器凸块、制造方法和设计结构 | CN201280026455.X | 2012-03-14 | CN103917481A | 2014-07-09 | C.V.杰恩斯; A.K.斯坦珀 |
| 提供微机电系统（MEMS）结构、制造方法和设计结构。形成MEMS结构的方法包括在基板上形成固定致动器电极（115）和接触点。该方法还包括在固定致动器电极和接触点之上形成MEMS梁（100）。该方法还包括形成与固定致动器电极的部分对齐的致动器电极阵列（105’），其大小和尺度设置为防止MEMS梁在重复循环后下陷在固定致动器电极上。致动器电极阵列形成为与MEMS梁的下侧和固定致动器电极的表面至少之一直接接触。 | ||||||
| 252 | 开关装置 | CN201010500702.8 | 2010-09-21 | CN102034648B | 2014-06-25 | C·F·凯梅尔; M·F·艾米; S·班萨尔; R·R·科尔德曼; K·V·S·R·基肖尔; E·S·雷迪; A·萨哈; K·苏布拉马尼安; P·萨克尔; A·D·科温 |
| 本发明涉及开关结构和方法，具体而言，提供了一种装置，例如开关结构(100)，其包括触头(102)和构造成可在第一位置和第二位置之间变形的导电元件(104)，在第一位置上，导电元件与触头分开，而在第二位置上，导电元件接触触头。导电元件基本可由构造成抑制取决于时间的变形的金属材料形成。例如，金属材料可构造成在经受金属材料的屈服强度的至少约25％的应力和低于或等于金属材料的熔化温度的约一半的温度时展现小于10-13s-1的最大的稳态塑性应变率。触头和导电元件可为微机电装置或纳机电装置的一部分。还提供了相关联的方法。 | ||||||
| 253 | MEMS开关 | CN201010543801.4 | 2010-11-09 | CN102054628B | 2014-06-18 | 皮特·斯蒂内肯; 希尔柯·瑟伊 |
| 一种MEMS开关，包括：衬底；所述衬底上的第一和第二信号线，所述第一和信号线各自在连接区域处终止；所述衬底上的下致动电极；可移动接触电极，悬置于所述第一和第二信号线的连接区域上。上致动电极设置在所述下致动电极上方。所述第一和第二信号线的连接区域与所述衬底相距第一高度，其中从所述连接区域延伸的信号线部分与所述衬底相距较低的高度，并且所述下致动电极设置在所述较低高度的信号线部分上方，使得掩埋所述较低高度的信号线部分。可用于致动电极的面积变得更大，并且减小了不需要的力和干扰。 | ||||||
| 254 | 电容式开关、信号收发装置及制造方法 | CN201380000402.5 | 2013-03-20 | CN103547335A | 2014-01-29 | 杨雄; 曹伯承; 王磊 |
| 本发明实施例提供一种电容式开关、信号收发装置及制造方法。该电容式开关包括：第一导电悬臂、第二导电悬臂、衬底以及设置在衬底上的共面波导，该共面波导包括用于传输电信号的第一导体和设置在第一导体两侧的作为地线的第二导体和第三导体，第一导体上设有绝缘介质层，绝缘介质层上设有导电层；第一导电悬臂通过第一固定端与第二导体连接，第二导电悬臂通过第二固定端与第三导体连接，当所述电容式开关通直流信号时，所述第一导电悬臂的第一悬空端与所述导电层接触，所述第二导电悬臂的第二悬空端与所述导电层接触。本实施例提供的电容式开关，通过采用悬臂的分离结构释放电容式开关中金属膜桥产生的应力，确保信号的传输质量。 | ||||||
| 255 | 基于微机电系统的开关器件 | CN200810175980.3 | 2008-10-31 | CN101436490B | 2014-01-29 | B·C·库姆菲尔; W·J·普雷梅里亚尼; K·苏布拉马尼安; K·V·S·R·基肖尔; J·帕克; O·谢伦茨 |
| 公开了一种基于微机电系统(MEMS)的开关器件即电流控制器件(10)。该电流控制器件(10)包括与电流通路和设置在电流通路中的至少一个MEMS开关对(21)整体地布置的控制电路(72)。该电流控制器件(10)还包括与该至少一个MEMS开关对(21)并联连接的混合无弧限制技术(HALT)电路(14)，该电路有助于该至少一个MEMS开关对(21)的断开。 | ||||||
| 256 | RFMEMS交叉点式开关及包括RFMEMS交叉点式开关的交叉点式开关矩阵 | CN201280016575.1 | 2012-03-20 | CN103518248A | 2014-01-15 | 克里斯托夫·帕瓦若 |
| 一种RF MEMS交叉点式开关（1），包括第一传输线（10）和与第一传输线交叉的第二传输线（11）以及开关元件（12）；第一传输线（10）包括两个隔开的传输线部分（100、101），并且开关元件将所述两个隔开的传输线部分（100、101）永久电连接；第二传输线（11）在两个隔开的传输线部分（100、101）之间与第一传输线（10）交叉；该RF MEMS交叉点式开关（1）进一步包括用于至少在第一位置与第二位置之间致动开关元件（12）的致动装置（121），在第一位置中开关元件（12）将第一传输线（10）的所述两个隔开的传输线部分（100、101）电连接并且将第一传输线（10）与第二传输线（11）电断开，在第二位置中开关元件（12）将第一传输线（10）的所述两个隔开的传输线部分（100、101）电连接并且还将两个传输线（10、11）电连接在一起。 | ||||||
| 257 | 开关结构和相关联的电路 | CN201010615732.3 | 2010-12-16 | CN102103945B | 2014-01-01 | A·V·高达; K·A·奥布里恩; J·N·帕克; W·J·普里默拉尼; O·J·S·谢伦茨; K·苏布拉马尼安 |
| 本发明涉及开关结构和相关联的电路，具体而言，提供了一种装置，例如开关模块(100)。该装置可包括构造成在特性时间上在断开构造和完全闭合构造(与最小特性电阻相关联)之间运动的机电开关结构(102)。整流电路(120)可与机电开关结构并联连接，并且可包括构造成抑制机电开关结构的触头之间的电弧形成的平衡二极管电桥(122)，以及脉冲电路(142)，该脉冲电路(142)包括构造成形成脉冲信号(与机电开关结构的切换事件有关)以用于促使脉冲电流流过平衡二极管电桥的脉冲电容器(146)。机电开关结构和平衡二极管电桥可设置成使得与整流电路相关联的总电感小于或等于特性时间和最小特性电阻的乘积。 | ||||||
| 258 | 具有电动机故障检测的基于MEMS的电动机起动器 | CN200780053374.8 | 2007-06-20 | CN101711446B | 2013-12-25 | B·C·孔菲尔; W·J·普雷默拉尼; R·J·卡加诺; K·苏布拉马尼安; D·J·勒斯利 |
| 公开了一种电动机起动器。该电动机起动器包括与至少一个电流路径整体地布置的控制电路，以及该控制电路中包括的处理器。该电动机起动器还包括驻留在所述处理器上的至少一个处理器算法，该至少一个处理器算法包含指令来监测所述至少一个电流路径上的电流的特性，以及提供关于该至少一个电流路径的情况的数据。该电动机起动器还包括设置在该至少一个电流路径上的微机电系统(MEMS)开关，该MEMS开关响应于控制电路来帮助控制流过该至少一个电流路径的电流。 | ||||||
| 259 | 避免基于微机电系统的开关中触点粘着的系统和方法 | CN200810173971.0 | 2008-10-31 | CN101425409B | 2013-11-27 | K·A·奥布里恩; K·苏布拉马尼安; N·C·R·赫奇斯; M·S·伊德尔基克; O·J·谢伦茨 |
| 提供了一种系统，其包含微机电系统开关电路(12)，例如可以由多个微机电开关(S1...Sn)构成.在系统操作过程中所述多个微机电开关可以通常工作在闭合开关状态。控制器(14)耦合到所述机电开关电路(12)。所述控制器(14)可以用于激活所述微机电开关中的至少一个为暂时断开开关状态，同时其余的微机电开关保持闭合开关状态以传导负载电流并且避免中断系统操作。所述开关的暂时断开开关状态的使用可以避免开关触点彼此粘着的倾向。 | ||||||
| 260 | 使用微机电系统开关的静电放电保护 | CN200980000233.9 | 2009-07-13 | CN101790789B | 2013-10-16 | J·卡瓦; S·辛哈; M-C·蔡; Z·W·唐; 苏晴 |
| 描述了一种接口电路的实施例。这种接口电路包括输入焊盘、控制节点和晶体管，该晶体管具有三个端子。第一端子被电气地耦合到输入端而第二端子被电气地耦合到控制节点。此外，接口电路包括微机电系统(MEMS)开关，其被电气地耦合到输入焊盘和控制节点，其中该MEMS开关与晶体管并联。在没有电压被施加到MEMS开关的控制端时，MEMS开关关闭，由此电气地耦合输入焊盘和控制节点。此外，当电压被施加到MEMS开关的控制端时，MEMS开关被打开，由此将输入焊盘与控制节点电气地解耦合。 | ||||||
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