| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 41 | 静电射频微电机械系统开关 | CN03154570.X | 2003-08-19 | CN1314063C | 2007-05-02 | 宋寅相; 金永一; 李文喆; 沈东河; 弘荣泽; 朴仙姬; 南光佑 |
| 一种微型开关，包括：形成在基底上的电介质层，该电介质层具有移动区；导电层，形成在移动区的预定部分上；电介质薄膜，形成在导电层上；第一和第二电导体，在电介质薄膜的上方的预定距离形成；一个或两个下电极，形成在移动区上；以及一个或两个上电极，在下电极上方的预定距离形成，当在上电极和下电极之间产生静电力时，两个上电极导致导电层和电介质薄膜向上移动，并且使第一和第二电导体电容联接，以便使电流在第一和第二电导体之间流动。这种微型开关的通断率和隔离度高，结构简单，并且可以以非常简单的加工过程制造。 | ||||||
| 42 | 电子器件 | CN200480038318.3 | 2004-12-20 | CN1898814A | 2007-01-17 | M·K·克利; T·G·S·M·里克斯; P·洛克; R·G·莫措克 |
| 微电机械系统(MEMS)元件(101)包括存在于衬底(30)的表面上的第一电极(31)和可移动元件(40)，其至少部分地覆盖第一电极(31)并包括压电激励器，在第一和第二位置之间通过施加激励电压该可移动元件(40)可向着和从衬底(30)移动，在该第一位置中，它借助间隙与衬底(30)分开。这里压电激励器包括在相对表面上分别设有第二和第三电极(21、22)的压电层(25)，所述第二电极(21)面向衬底(30)，并且所述第三电极(22)形成MEMS元件(101)的输入电极，因此通过MEMS元件(101)之间的电流路径包括该压电层(25)和可调的间隙。 | ||||||
| 43 | 基于流体的开关 | CN200480009208.4 | 2004-01-30 | CN1768406A | 2006-05-03 | 马文·格伦·黄 |
| 本发明公开了一种基于流体的开关。在一个实施例中，开关(400)包括：搭配在一起的第一(100)衬底和第二(402)衬底，这两个衬底在其间限定了多个空腔中的至少一部分，第一衬底限定了在多个空腔中的第一空腔(406)内限定的多个缺口(102、104、106)；多个电接触(112、114、116)，每个电接触被沉积在多个缺口中的一个缺口内；开关流体(418)，其被容纳在第一空腔内，并且响应于施加到开关流体的力而断开和闭合多个电接触中的至少一对电接触；以及致动流体(410)，其被容纳在多个空腔中的一个或多个空腔内，并向开关流体施加力。 | ||||||
| 44 | 压电执行元件 | CN98803468.9 | 1998-10-21 | CN1166013C | 2004-09-08 | 鲁道夫·海因茨; 克劳斯-彼得·施莫尔; 弗里德里希·伯金 |
| 一种压电执行元件(1)，与现有技术相比，在该执行元件中出现开裂的倾向明显减小，弥补裂缝的可能性被改善。根据本发明的压电执行元件，具有多个由压电材料制成的盘(2)、一个带有两个接头(12a，12b)的控制电压源(11)、每组至少有两个外电极的两个外电极组(3，5；4，6)和多个内电极(7，8，9，10)，这些盘(2)的极化方向垂直于盘面并且在其极化方向而彼此堆叠起来，这些内电极分别安置在压电盘(2)之间，在此，第一组外电极(3，5)与控制电压源(11)的第一接头(12a)电连接，第二组外电极(4，6)与控制电压源(11)的第二接头(12b)电连接，而内电极(7，8，9，10)如此交替地与外电极(3，4，5，6)接通，使得一个内电极(7，9)总是与控制电压源(11)的第一接头(12a)电连接，而在堆垛方向相随它们的内电极(8，10)总是与控制电压源(11)的另外的接头(12b)电连接，这里，内电极(7-10)以循环顺序与外电极(3-6)接通。 | ||||||
| 45 | 改进的遥控断路器 | CN01137126.9 | 2001-10-23 | CN1350314A | 2002-05-22 | M·皮特罗; C·萨尔瓦托雷; G·毛罗; M·达维德 |
| 一种改进的遥控断路器包括至少一个遥控的压电电机部件,它能在遥控断路器的闭合操作过程中连接电触头。 | ||||||
| 46 | 锁销机构和装有该锁销机构的开关装置 | CN95194729.X | 1995-06-30 | CN1055176C | 2000-08-02 | S·鲍威尔 |
| 一种锁销机构，该锁销机构包括：一个具有一固定支承部件的支承部件，固定支承部件包括相对的侧面；一个施加第一弹力的第一弹簧；该第一弹簧被设置在固定支承部件的一个侧面和可滑动支承部件之间，还包括一个施加比所述第一弹力更低的第二弹力的第二弹簧，该第二弹簧被设置在固定支承部件的另一个侧面和第二可滑动支承部件之间，从而弹力被直接地作用于在相反方向上的所述第一可滑动支承部件和第二可滑动支承部件上。一个按钮能够给所述第一可滑动支承部件施加一个与所述第一弹力的作用相反的外力，使所述第一可滑动支承部件从相对于固定支承部件的第一位置移动一个第二位置。一个锁销机构用于当所述第一滑动支承部件位于它的所述第二位置和第二可滑动支承部件位于它的所述第一位置时可脱扣地把第一可滑动支承部件与第二可滑动支承部件连接。当所述部件没有受到所述按钮的作用时，所述第一可滑动支承部件返回到它的所述第一位置并且所述第二可滑动以承部件不得不与所述第一可滑动支承部件一起移动到一个第二位置，在所述第一弹力的方向上在两个可滑动支承部件上的合力是所述第一弹力与所述第二弹力之间的差值。 | ||||||
| 47 | 剩余电流装置的操作 | CN95194692.7 | 1995-06-30 | CN1161102A | 1997-10-01 | S·包威尔 |
| 本发明涉及一种按钮剩余电流装置，其中利用一单个按钮在所述装置上进行设置和试验操作。特别是在该按钮向下行程的第一部分上一个试验脱扣装置被起动，如果它正在正确地起作用，它将使该装置脱扣。如果该按钮进一步被按下，并且被释放，假设脱扣状态没有被检测，那么该装置进入到允许电流通过的一个状态。一旦该装置允许电流通过，引起该装置脱扣的任何故障将导致电源立即断开，而不考虑按钮的状态。 | ||||||
| 48 | 电磁继电器 | CN201280038179.9 | 2012-06-20 | CN104025239B | 2017-02-15 | 米夏埃尔·瑙曼; 赖纳·宾迪希; 阿尔方斯·克尔纳贝格尔; 汉斯-于尔根·施赖纳; 彼得·施廷格尔; 彼得·梅克勒; 马库斯·比尔纳 |
| 本发明涉及电磁继电器，特别是涉及机动车辆继电器，电磁继电器(1)包括磁轭(2)、继电器线圈(7)、铰接衔铁(4)，铰接衔铁能绕旋转轴(3)枢转，并且在铰接衔铁(4)上，相对于至少一个固定触点(6a)保持作为工作或转接触点的移动触点(5)，并且电磁继电器包括压电促动器(9)，由于促动所述压电促动器，当继电器线圈(7)断电时，压电促动器保持工作或转接触点(5、6a、6b)闭合。 | ||||||
| 49 | 微机电系统结构 | CN201180025557.5 | 2011-06-15 | CN102906011B | 2016-02-10 | A.斯坦珀; C.V.扬斯 |
| 一种形成至少一个微机电系统（MEMS）腔体的方法包括在下布线层之上形成第一牺牲腔体层。该方法还包括形成一层。该方法还包括在第一牺牲层之上形成第二牺牲腔体层并且该第二牺牲腔体层与该层接触。该方法还包括在第二牺牲腔体层上形成顶盖。该方法还包括在顶盖中形成至少一个排放孔，暴露第二牺牲腔体层的一部分。该方法还包括在排放或剥离第一牺牲腔体层之前，排放或剥离第二牺牲腔体层，使第二牺牲腔体层的顶表面不再接触顶盖的底表面，从而分别形成第一腔体和第二腔体。 | ||||||
| 50 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201180025546.7 | 2011-06-08 | CN102906009B | 2016-01-06 | D.丹格; T.多安; G.A.邓巴; 何忠祥; R.T.赫林; C.V.扬斯; J.C.马林; W.J.墨菲; A.K.斯坦珀; J.G.通布利; E.J.怀特 |
| 本发明提供了平面腔体微机电系统（MEMS）结构、制造和设计结构的方法。该方法包括：采用反向镶嵌工艺形成至少一个微机电系统（MEMS）腔体（60a，60b），该至少一个微机电系统腔体具有平面表面。 | ||||||
| 51 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201180025549.0 | 2011-06-08 | CN102906871B | 2015-11-25 | G.A.邓巴; 何忠祥; J.C.马林; W.J.墨菲; A.K.斯坦珀 |
| 一种形成至少一个微机电系统（MEMS）的方法包括：在衬底上形成下布线层。该方法还包括：自下布线层形成多个分离布线（14）。该方法还包括：在多个分离布线之上形成电极梁（38）。电极梁和多个分离布线的形成的至少之一形成有最小化后续硅沉积（50）中的小丘和三相点的布局。 | ||||||
| 52 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201110173720.4 | 2011-06-24 | CN102295263B | 2015-06-10 | 乔治.A.邓巴三世; 杰弗里.C.马林; 威廉.J.莫菲; 安东尼.K.斯塔姆珀 |
| 本发明公开一种平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法。一种形成至少一个微机电系统(MEMS)的方法包括形成下牺牲材料，用于形成下腔体。该方法还包括形成将下腔体连接到上腔体的腔体通孔。该腔体通孔形成有圆形或倒角边缘的俯视外形。该方法还包括在腔体通孔内及其上方形成上牺牲材料，其具有基于该腔体通孔的外形的生成表面。该上腔体形成有顶盖，该顶盖具有不妨碍MEMS梁的结构，包括：在上牺牲材料的生成表面上沉积顶盖材料；以及排出该上牺牲材料以形成上腔体，从而该顶盖材料形成与该上牺牲材料的生成表面保形的顶盖。 | ||||||
| 53 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201110174587.4 | 2011-06-24 | CN102295265B | 2014-12-17 | 安东尼.K.斯坦珀; 约翰.G.通布利 |
| 本发明公开一种平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法。一种形成至少一个微机电系统(MEMS)的方法包括图案化布线层以形成至少一个固定板，以及在该布线层上形成牺牲材料。该方法还包括在至少一个固定板上和下方衬底的暴露部分上形成一个或多个膜的绝缘层以防止形成该布线层和牺牲材料之间的反应产物。该方法还包括在至少一个固定板上形成可移动的至少一个MEMS梁。该方法还包括排出或剥去该牺牲材料以形成至少第一腔体。 | ||||||
| 54 | 压电致动器器件和其制造方法 | CN201380007536.X | 2013-01-29 | CN104094429A | 2014-10-08 | 平冈聪一郎; 小牧一树; 中园晋辅; 黑塚章; 堀江寿彰 |
| 压电致动器器件具备：振动部、和构成为使振动部振动的驱动部。振动部具有：振动的下部振动层、和与下部振动层的上表面结合且与下部振动层一起振动的上部振动层。驱动部具有：设于下部振动层的下表面的上部电极层、设于上部电极层的下表面的压电体层、和设于压电体层的下表面的下部电极层。振动部的下部振动层的主成分为有机材料。振动部的上部振动层的主成分为无机材料。下部振动层的纵弹性系数小于上部振动层的纵弹性系数。该压电致动器器件能不使尺寸和消耗电力增大地使抗干扰振动性和振动部的挠曲量较大。 | ||||||
| 55 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201110174027.9 | 2011-06-24 | CN102295264B | 2014-08-20 | 迪恩.当; 泰.多恩; 杰弗里.C.马林; 安东尼.K.斯塔姆珀 |
| 本发明公开一种平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法。一种形成至少一个微机电系统(MEMS)的方法包括在衬底上形成多个分离导线。该方法还包括在该分离导线上形成牺牲腔体层。该方法还包括在该牺牲腔体层的上表面形成沟槽。该方法还包括用电介质材料填充沟槽。该方法还包括在该牺牲腔体层和该电介质材料上沉积金属以形成具有从其底表面延伸的至少一个电介质缓冲器的梁。 | ||||||
| 56 | 操作输入装置 | CN201210514595.3 | 2012-12-04 | CN103186282A | 2013-07-03 | 高阳一郎; 小山亮二; 足立和英 |
| 本发明涉及操作输入装置，能够在不损害触摸板的操作感的情况下利用触觉。该操作输入装置具备：触摸板（10），其具有在正面形成了操作面（11a）的操作板（11），检测与操作面（11a）接触或者接近的被检测物来接受与该检测位置对应的输入；孔部（12），其贯通设置于操作板（11）；突出部件（20），其被插入孔部（12）；驱动机构，其相对于操作板（11）被设置在背面侧，能够使突出部件（20）沿与操作面（11a）交叉的方向，在突出部件（20）的顶端部的高度比操作面（11a）高的第一状态和顶端部的高度在操作面（11a）以下的第二状态之间进行进退动作。 | ||||||
| 57 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201110174587.4 | 2011-06-24 | CN102295265A | 2011-12-28 | 安东尼.K.斯坦珀; 约翰.G.通布利 |
| 本发明公开一种平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法。一种形成至少一个微机电系统(MEMS)的方法包括图案化布线层以形成至少一个固定板，以及在该布线层上形成牺牲材料。该方法还包括在至少一个固定板上和下方衬底的暴露部分上形成一个或多个膜的绝缘层以防止形成该布线层和牺牲材料之间的反应产物。该方法还包括在至少一个固定板上形成可移动的至少一个MEMS梁。该方法还包括排出或剥去该牺牲材料以形成至少第一腔体。 | ||||||
| 58 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201110173720.4 | 2011-06-24 | CN102295263A | 2011-12-28 | 乔治.A.邓巴三世; 杰弗里.C.马林; 威廉.J.莫菲; 安东尼.K.斯塔姆珀 |
| 本发明公开一种平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法。一种形成至少一个微机电系统(MEMS)的方法包括形成下牺牲材料，用于形成下腔体。该方法还包括形成将下腔体连接到上腔体的腔体通孔。该腔体通孔形成有圆形或倒角边缘的俯视外形。该方法还包括在腔体通孔内及其上方形成上牺牲材料，其具有基于该腔体通孔的外形的生成表面。该上腔体形成有顶盖，该顶盖具有不妨碍MEMS梁的结构，包括：在上牺牲材料的生成表面上沉积顶盖材料；以及排出该上牺牲材料以形成上腔体，从而该顶盖材料形成与该上牺牲材料的生成表面保形的顶盖。 | ||||||
| 59 | 电开关元件 | CN200780012711.9 | 2007-03-05 | CN101421810B | 2011-06-15 | 海因茨-迈克尔·埃尔利希 |
| 一种电开关元件(1)，特别是继电器，具有致动器(5)，开关触点(2)，以及开关机构(7)。所述开关机构将致动器的驱动移动(6)转换成开关触点的开关移动(4)，使得开关触点与接合触点(3)接触或不接触。为了在只产生小升程的驱动移动的致动器情况下生成具有大升程的开关移动，所述开关机构具有通过所述致动器互相连接的至少两个转动杆(8)以及至少一个触点保持器(10)。所述触点保持器在其纵方向(15)上连接所述两个转动杆，并构造成可横截其纵向方向偏转。 | ||||||
| 60 | 压电晶体管及其制造方法 | CN200910173404.X | 2009-09-10 | CN101673753A | 2010-03-17 | 郑恩洙 |
| 本发明公开了一种压电晶体管，其包括诸如半导体衬底之类的衬底。衬底可包括空腔，并且该空腔可被向下蚀刻。压电晶体管可包括以悬臂形式形成在半导体衬底上方的压电材料，并且其可向上和/或向下弹性应变。压电晶体管可包括通过压电效应来电连接至压电材料的金属材料，并且金属布线可对压电材料供应电压。本发明还公开了所述压电晶体管的制造方法。 | ||||||
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