| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 81 | 开关 | CN97117400.8 | 1997-08-08 | CN1181606A | 1998-05-13 | 约享·费勒; 丹尼尔·约瑟夫·珍得瑞塔; 塞斯特·丙尼烯; 哈特姆特·亚诺哈 |
| 一种开关,特别是继电器形式的开关,它具有至少二个开关元件,该二元件至少有一个可利用至少一驱动器部分相对于另一开关元件作运动以将该开关闭路及开路。其特点在于,所述的开关元件2、3与该驱动器部分7连接,该驱动器部分为一固体能量转换器,且该一开关元件2、3是经至少一移动器26与该驱动器部分连接。 | ||||||
| 82 | 电控脱扣装置 | CN95194729.X | 1995-06-30 | CN1156517A | 1997-08-06 | S·鲍威尔 |
| 一种锁销机构，该锁销机构包括：一个具有一固定支承部件的支承部件，固定支承部件包括相对的侧面；一个施加第一弹力的第一弹簧；该第一弹簧被设置在固定支承部件的一个侧面和可滑动支承部件之间，还包括一个施加比所述第一弹力更低的第二弹力的第二弹簧，该第二弹簧被设置在固定支承部件的另一个侧面和第二可滑动支承部件之间，从而弹力被直接地作用于在相反方向上的所述第一可滑动支承部件和第二可滑动支承部件上。一个按钮能够给所述第一可滑动支承部件施加一个与所述第一弹力的作用相反的外力，使所述第一可滑动支承部件从相对于固定支承部件的第一位置移动一个第二位置。一个锁销机构用于当所述第一滑动支承部件位于它的所述第二位置和第二可滑动支承部件位于它的所述第一位置时可脱扣地把第一可滑动支承部件与第二可滑动支承部件连接。当所述部件没有受到所述按钮的作用时，所述第一可滑动支承部件返回到它的所述第一位置并且所述第二可滑动支承部件不得不与所述第一可滑动支承部件一起移动到一个第二位置，在所述第一弹力的方向上在两个可滑动支承部件上的合力是所述第一弹力与所述第二弹力之间的差值。 | ||||||
| 83 | 单片预应力陶瓷器件及其制法 | CN94191712.6 | 1994-02-17 | CN1120874A | 1996-04-17 | G·H·赫林 |
| 披露单片、内部不对称应力偏置、电激励陶瓷器件及其制法。本发明方法的第一步是制做有两个相对的第一和第二表面的陶瓷元件。继而，仅让第一表面通过在还原气氛中热处理而得以化学还原。于是，产生凹面形、内部不对称应力偏置陶瓷元件并在第一表面上生成一导电、化学还原层，该层作为器件的一个电极。可以在第二表面上沉积另一电极以完成此器件。在本发明的另一具体方案中，可以把两片穹顶形陶瓷元件放在一起构成一完整的蛤壳构造或手风琴式构造。在进一步的具体方案中，上述蛤壳或手风琴式构造可以彼此上下码放。在又一个具体方案中，一对具有相反温度特性的穹顶形陶瓷器件可以一上一下地放置构成一只非热化陶瓷器件。 | ||||||
| 84 | 具有混合驱动的微型机械继电器 | CN94191220.5 | 1994-02-14 | CN1118199A | 1996-03-06 | H·-J·吉瓦特; L·基斯韦特; J·辛卡特; H·施拉克 |
| 微型机械继电器有一个由衔铁基体(52)腐蚀出来的舌簧状衔铁(53)，此衔铁(53)与衔铁基体弹性连接，它与一个在它下面的基座(51)的基座电极(58)构成了一种静电驱动。此外，在衔铁(53)上设有压电层(60)，它起弯曲变换器的作用，并构成一种附加的驱动。当在衔铁(53)的电极、基座(51)的电极和压电层(60)的电极上施加一个电压时，衔铁被吸在此基座上，并因而在至少一个触头(55、56)闭合的情况下，衔铁大面积地贴靠在此基座上。此时，静电驱动和压电驱动的不同特性线叠加在一起，所以，既能在衔铁运动开始时产生一个大的吸引力，又能在衔铁吸住后产生一个大的接触力。 | ||||||
| 85 | PLANAR CAVITY MEMS AND RELATED STRUCTURES, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES | PCT/US2011039560 | 2011-06-08 | WO2011162949A2 | 2011-12-29 | DANG DINH; DOAN THAI; DUNBAR GEORGE A; HE ZHONG-XIANG; HERRIN RUSSELL T; JAHNES CHRISTOPHER V; MALING JEFFREY C; MURPHY WILLIAM J; STAMPER ANTHONY K; TWOMBLY JOHN G; WHITE ERIC J |
| Planar cavity Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) structures, methods of manufacture and design structure are provided. The method includes forming at least one Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) cavity (60a, 60b) having a planar surface using a reverse damascene process. | ||||||
| 86 | SELF-LOCKING MICRO ELECTRO MECHANICAL DEVICE | PCT/IB2007052939 | 2007-07-24 | WO2008017978A3 | 2008-04-10 | HILGERS ACHIM |
| The proposed invention application describes a novel configuration of an extremely small self-locking switching component, based on micro- electromechanical systems (MEMS) technology. Conventional MEMS switches need a continual control signal in order to obtain the wanted active (switching) state. The proposed invention needs only a short control signal (non-locking key) such as e.g. a pulse in order to switch the component on and/or off. RF-noise (ripples) on the de-control signal or bouncing effects can be neglected according to the proposed extension of the MEMS devices. This contributes to an easier and especially more robust design of electronic circuitries and allows for enhanced functionalities. | ||||||
| 87 | PIEZOELECTRIC MEMS SWITCHES AND METHODS OF MAKING | PCT/US2007061336 | 2007-01-31 | WO2007127515A3 | 2008-01-24 | LIU LIANJUN |
| MEMS piezoelectric switches (100) that provide advantages of compact structure ease of fabrication in a single unit, and that are free of high temperature-induced morphological changes of the contact materials and resultant adverse effects on properties. High temperature-induced morphological changes refer to changes that occur during fabrication when metallic contacts such as radio frequency lines (125, 130) and shorting bars (150) are exposed to temperatures required to anneal a piezoelectric layer or those temperatures encountered during high temperature deposition of the piezoelectric layer, if such process is used instead. | ||||||
| 88 | ESTABLISHING CONTACT WITH AN ELECTRICAL COMPONENT AND METHOD FOR ESTABLISHING THE CONTACT | PCT/EP2013068633 | 2013-09-09 | WO2014048713A3 | 2014-06-05 | OTTLINGER MARION; KRUMPHALS ROBERT; STANI ANDREAS |
| The invention relates to an electrical component (1), in particular a piezoelectric multilayer component, comprising at least one outer contact (7) having a first metallization (8) and a second metallization (9), wherein the metallizations (8, 9) are baked in, and wherein the second metallization only partially covers the first metallization. The metallization can be frame-shaped. The first metallization and the second metallization may have a different degree of wettability with solder material. The invention further relates to a method for establishing an outer contact. | ||||||
| 89 | SURFACE DEFORMATION ELECTROACTIVE POLYMER TRANSDUCERS | PCT/US2004028929 | 2004-09-01 | WO2005079187A3 | 2007-11-08 | PELRINE RONALD E; KORNBLUH ROY D; PRAHLAD HARSHA |
| The present invention provides electroactive polymer transducers that produce out-of-plane deflections. The transducers form a set of surface features based on deflection of an electroactive polymer. The set of surface features may include elevated polymer surface features and/or depressed electrode surface features. Actuation of an active area may produce the polymer deflection that creates one or more surface features. A passive layer may operably connect to a polymer. The passive layer may comprise a thicker and softer material to amplify polymer thickness changes and increase surface feature visibility. | ||||||
| 90 | ELECTRONIC DEVICE | PCT/IB2004052868 | 2004-12-20 | WO2005064701A8 | 2006-10-26 | KLEE MAREIKE K; RIJKS THEODOOR G S M; LOK PIETER; MAUCZOK RUEDIGER G |
| The microelectromechanical system (MEMS) element (101) comprises a first electrode (31) that is present on a surface of a substrate (30) and a movable element (40), which overlies at least partially the first electrode (31) and comprises a piezoelectric actuator, which movable element (40) is movable towards and from the substrate (30) by application of an actuation voltage between a first and a second position, in which the first position is separated from the substrate (30) by a gap. The piezoelectric actuator comprises a piezoelectric layer (25) which opposite surfaces is provided with a second and a third electrode (21,22) respectively, said second electrode (21) facing the substrate (30) and said third electrode (22) forming an input electrode of the MEMS element (101), so that a current path through the MEMS element (101) comprises the piezoelectric layer . The microelectromechanical system (MEMS) element (101) comprises a first electrode (31) that is present on a surface of a substrate (30) and a movable element (40). This overlies at least partially the first electrode (31) and comprises a piezoelectric actuator, which movable element (40) is movable towards and from the substrate (30) by application of an actuation volatge between a first and a second poistion, in which first position it is separated from the substrate (30) by a gap. Herein the piezoelectric actuator comprises a piezoelectric layer (25) that is on opposite surfaces provided with a second and a third electrode (21,22) respectively, said second electrode (21) facing the substrate (30) and said third electrode (22) forming an input electrode of the MEMS element (101), so that a current path between through the MEMS element (101), comprises the piezoelectric layer (25) and the tunable gap. | ||||||
| 91 | 마이크로전자기계 및 다른 시스템에 사용을 위한 스위치，및 이를 제작하기 위한 공정 | KR1020157006409 | 2013-09-20 | KR101648685B1 | 2016-08-16 | 로저스,존,이.; 웨더스푼,마이클,알. |
| 스위치(10)의실시예는전기적으로도전성하우징(30, 60), 및하우징(30, 60) 내에유지되고그리고절연된전기도전체(34, 64)를포함한다. 또다른전기도전체(52)는전기도전체(52)가하우징(30, 60) 내의전기도전체(34, 64)로부터절연되는제 1 위치와, 전기도전체(52)가하우징(30, 60) 내의전기도전체(34, 64)와전기접촉하는제 2 위치사이에서이동하도록구성된다. 스위치(10)는전기적으로도전성베이스(80) 및베이스(80)에의해제한된제 1 단부를갖는전기적으도도전성아암(82a, 82b)을포함하는액추에이터(70, 72, 74, 76)를더 포함한다. 전기도전체(52)는아암(82a, 82b)에의해지지되고, 아암(82a, 82b)은편향됨으로써제 1 및제 2 위치사이에서전기도전체(52)를이동하도록동작한다. | ||||||
| 92 | 전자기 릴레이 | KR1020147005311 | 2012-06-20 | KR1020140063648A | 2014-05-27 | 나우만,미하엘; 빈디크,라이너; 켈른베르거,알폰스; 슈라이너,한스-유르겐; 슈팅을,페터; 메클러,페터; 비르너,마르쿠스 |
| 본 발명은 전자기 릴레이(1), 특히 자동차 릴레이에 관한 것이며, 이 전자기 릴레이는 자석 요크(2), 릴레이 코일(7), 회전 축선(3)을 중심으로 피봇 가능하고 작업 또는 스위치오버 접촉부로서 이동 접촉부(5)가 하나 이상의 고정 접촉부(6a)에 대하여 위에 보유되는 힌지형 전기자(4)를 포함하고, 피에조 액추에이터(9)를 포함하며 이는 상기 피에조 액추에이터의 동작의 결과로서 릴레이 코일(7)이 전원이 끊길 때 작업 또는 스위치오버 접촉부(5, 6a, 6b)를 닫힌 채로 유지한다.
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| 93 | 높은 캐패시턴스 ＲＦ ＭＥＭＳ 스위치들을 제공하기 위한 시스템 및 방법 | KR1020110037863 | 2011-04-22 | KR101268208B1 | 2013-05-27 | 필란스,브랜던더블유.; 모리스,프란시스제이.; 화이트,미켈제이. |
| 고용량성 RF MEMS 스위치들을제공하기위한시스템및 방법이제공된다. 일실시예에서, 본발명은마이크로전자기계식스위치조립체(micro-electro-mechanical switch assembly)로서, 기판, 상기기판의일부분상에배치된전극, 상기전극의적어도일부분상에배치된유전체층, 상기유전체층의적어도일부분상에배치된금속층, 및상기기판베이스상의이격된위치들에서지지되는제1 단부및 제2 단부를갖는가요성멤브레인을포함하고, 상기가요성멤브레인은, 상기가요성멤브레인과상기전극사이에인가된미리선택된스위칭전압에응답하여디폴트위치로부터액츄에이트된위치로이동하도록구성되고, 상기액츄에이트된위치에서, 상기가요성멤브레인은상기금속층과전기적으로접촉하는스위치조립체에관한것이다. | ||||||
| 94 | 평면형 전압 보호 조립체 | KR1020110031752 | 2011-04-06 | KR1020110112237A | 2011-10-12 | 해리슨,윌리암리; 댈미아,시드하르트; 다스,제이딥 |
| 전압 보호 조립체(100)는 평면형 기판의 상면(304)으로부터 평면형 기판의 반대편 하면(302)으로 수직 연장되는 두께 치수(300)를 갖는 평면형 기판(102)을 포함한다. 기판은 하나 이상의 전도성 트레이스(104)를 포함한다. 전도성 입력 단자(106)는 기판 상에 배치되며 전도성 트레이스들 중 적어도 하나에 전도 결합된다. 용량성 소자(118)는 전도성 트레이스들 중 적어도 하나에 의해 입력 단자에 전기적으로 결합된다. 유도성 소자(120)는 전도성 트레이스들 중 적어도 하나에 의해 용량성 소자에 전도 결합된다. 전도성 출력 단자(108)는 기판 상에 배치되고 전도성 트레이스들 중 적어도 하나에 의해 유도성 소자에 전도 결합된다. 출력 단자, 유도성 소자, 용량성 소자 및 입력 단자는 전압 보호 회로를 통해 송신되는 데이터 신호의 하나 이상의 주파수를 필터링하는 그 전압 보호 회로(110, 112)를 형성하도록 직렬 접속된다. 용량성 소자나 유도성 소자 중 적어도 하나는 기판의 두께 치수 내에 완전히 배치된다. | ||||||
| 95 | 마이크로스위칭 소자 및 마이크로스위칭 소자 제조 방법 | KR1020080002588 | 2008-01-09 | KR100967771B1 | 2010-07-05 | 구엔,투엔안; 나까따니다다시; 우에다사또시; 요네자와유; 미시마나오유끼 |
| 고정 컨택트 전극에 대한 가동 컨택트 전극의 배향 변동을 억제하는 데에 적합한 마이크로스위칭 소자 및 그 마이크로스위칭 소자의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 소자 X1은, 고정부(11)와, 가동부(12)와, 접촉부(13a', 13b')를 갖는 전극(13)과, 접촉부(13a')에 당접하는 접촉부(14a')를 갖는 전극(14A)과, 접촉부(13b')에 대향하는 접촉부(14b')를 갖는 전극(14B)을 구비한다. 본 발명의 방법은, 기판 상에 전극(13)을 형성하는 공정, 전극(13)을 덮도록 기판 상에 희생층을 형성하는 공정, 희생층에서 전극(13)에 대응하는 위치에, 제1 오목부와 이보다 얕은 제2 오목부를 형성하는 공정, 희생층을 개재하여 전극(13)에 대향하는 부위를 갖고 제1 오목부를 채우는 전극(14A)을 형성하는 공정, 희생층을 개재하여 전극(13)에 대향하는 부위를 갖고 제2 오목부를 채우는 전극(14B)을 형성하는 공정, 및 희생층을 제거하는 공정을 포함한다. 베이스 기판, 컨택트 전극, 구동 전극, 레지스트 패턴, 희생층 | ||||||
| 96 | 액추에이터 및 이를 사용한 전자 기기 | KR1020080135544 | 2008-12-29 | KR1020090079161A | 2009-07-21 | 니시가끼미찌히꼬; 나가노도시히꼬; 이따야가즈히꼬; 가와꾸보다까시 |
| An actuator and an electronic device using the same are provided to increase maximum capacitance and to reduce a rapid change of capacitance around the maximum capacitance by reducing an influence due a bending effect of a beam. An actuator includes a substrate(101), a first lower electrode, a first upper electrode, a first piezoelectric layer, a first beam(110), a first fixing unit, a second lower electrode, a second upper electrode, a second piezoelectric layer, a second beam(210), a first connector(131), and a first fixing electrode. The first piezoelectric layer is installed between the first lower electrode and the upper electrode. The first beam is extended from a first fixing terminal to a first connective terminal. The first fixing unit connects the first fixing terminal with the substrate and supports the first beam. The second piezoelectric layer is installed between the second lower electrode and the second upper electrode. The second beam is extended from a second connective terminal to a first operating terminal. The second beam is installed in parallel to the first beam. The second beam has a first division part which is divided by a first slit extended from the first operating terminal to a second operating terminal. The first connector connects the first connective terminal with the second connective terminal and maintain the second beam. The first fixing electrode is installed opposite to a part of the first operating terminal at a main surface of the substrate. | ||||||
| 97 | 마이크로 스위칭 소자 | KR1020050093283 | 2005-10-05 | KR100681780B1 | 2007-02-12 | 나카타니다다시; 안트엔구엔; 시마노우치다케아키; 이마이마사히코; 우에다사토시 |
| 본 발명은 닫힌 상태에서의 삽입 손실의 저감을 꾀하는데 적합하고, 또한 적절하게 제조할 수 있는 마이크로 스위칭 소자를 제공하는 것을 과제로 한다. 본 발명의 마이크로 스위칭 소자(X1)는 베이스 기판과, 베이스 기판에 접합하고 있는 고정부(10)와, 고정부(10)에 고정된 고정단(20a)을 가지고 베이스 기판에 따라 연장하며, 또한 한 쌍의 폐단(閉端)(41a)을 갖는 슬릿(41)을 통하여 고정부(10)로 둘러싸인 가동부(20)와, 가동부(20)에서의 베이스 기판과 반대 측에 설치된 가동 콘택트부(31)와, 가동 콘택트부(31)에 대향하는 부위를 각각 갖고, 또한 각각 고정부(10)에 접합되어 있는 한 쌍의 고정 콘택트 전극(32)을 구비한다. 마이크로 스위칭 소자, 가동 콘택트부, 고정 콘택트 전극, 슬릿 | ||||||
| 98 | 마이크로 전자기계적 시스템 스위치 | KR1020067003943 | 2004-08-27 | KR1020060123070A | 2006-12-01 | 부냔,로버트,존,트레마인; 콤베스,다비드,조나단; 브룬손,케빈,마이클 |
| A micro electromechanical system (MEMS) switch includes a fixed contact (24) and a moveable contact (35) on an armature (30). The switch has electrodes (22, 34) associated with both the fixed and moveable contacts for providing an electrostatic switch operation and piezoelectric material with associated electrodes (36, 40) for bending the armature upon application of an electric voltage and providing an initial piezoelectric switch operation followed by electrostatic switching and clamping. The armature is of curved shape which is bent away from the fixed contact when in a switch open condition with zero applied voltage. This gives a large, e.g. 3pm, switch gap in an OFF state which is reduced by piezoelectric operation suitable for electrostatic switch closing. A curved condition is provided by varying strain across the armature thickness, and is produced during manufacture of the switch. | ||||||
| 99 | 압전체의 구동량 확대방법 및 그를 이용한 멤스 스위치 | KR1020030020169 | 2003-03-31 | KR100515693B1 | 2005-09-23 | 최두선; 이택민; 제태진; 황경현 |
| 본 발명은 압전체를 이용한 멤스 스위치(MEMS Switch)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 압전체의 구동량을 확대시키는 방법과 구동량 확대를 이용한 멤스 스위치에 관한 것이다. 본 발명은 액츄에이터(11)에 의해 전위차가 가해지면 전극이 달라붙어 전기적으로 온(On) 스위칭되고, 전위차가 제거되면 오프(Off) 스위칭 되어지는 압전체(10)에 있어서, 상기 전극(P)에 구동확대기구(12)를 연장시키고 그 확대기구의 구동시 스위치 구동폭이 확대되어지도록 한 것이다. | ||||||
| 100 | 마이크로 스위치 | KR1020020049319 | 2002-08-20 | KR100485787B1 | 2005-04-28 | 송인상; 김영일; 이문철; 심동하; 홍영택; 박선희; 남광우 |
| 마이크로 스위치가 개시된다. 유전체막은 기판의 상면에 위치하고 그 소정영역의 양측단 또는 일측단에 힌지부가 형성되어 있어 상하로 요동할 수 있는 요동영역을 갖는다. 도전체막은 요동영역의 상면 소정 영역에 형성되어 있다. 제 1 및 제 2도전체는 도전체막의 상방에 소정거리 이격되어 배치된다. 복수의 하부전극은 요동영역 상면에 배치된다. 복수의 상부전극은 복수의 하부전극 상방에 소정거리 이격되어 배치되며, 하부전극과 상호간에 정전기력이 발생시 도전체막을 상부로 이동하여, 제 1 및 제 2도전체와 저항적으로 결합시켜 제 1및 제 2도전체 상호간에 통전이 허용되도록 한다. 이와 같은 마이크로 스위치는 온/오프비율(on/off ratio) 및 분리도(isolation)가 높고, 그 구조가 단순하며 공정이 매우 용이하다. | ||||||
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