| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 61 | 压电驱动MEMS器件 | CN200710091368.3 | 2007-03-30 | CN100544049C | 2009-09-23 | 西垣亨彦; 长野利彦; 宫崎崇; 板谷和彦; 川久保隆 |
| 一种MEMS器件包括：具有第一固定端的第一致动器，其包括第一下电极、第一压电膜、以及第一上电极的层叠结构，并且可通过在第一下电极和第一上电极上施加电压而工作；具有第二固定端的第二致动器，其与第一致动器平行设置，并且包括第二下电极、第二压电膜、以及第二上电极的层叠结构，并且可通过在第二下电极和第二上电极上施加电压而工作；以及电路元件，其具有连接到第一致动器的第一作用部分和连接到第二致动器的第二作用部分。 | ||||||
| 62 | 致动器以及使用其的电子设备 | CN200910002664.0 | 2009-01-14 | CN101488723A | 2009-07-22 | 西垣亨彦; 长野利彦; 板谷和彦; 川久保隆 |
| 本发明提供一种致动器以及使用其的电子设备，该致动器通过降低梁的翻翘的影响，最大静电电容大，此外缓和了在最大静电电容附近的静电电容的急剧的变化。本发明提供一种致动器，具备：第1梁，其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结第1固定端与基板，并使上述第1梁在基板的主面的上方空出间隙地支撑第1梁；第2梁，其从第2连接端延伸到第1作用端，与第1梁并排地设置，并且具有由从第1作用端向着第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结第1连接端与第2连接端，并且使上述第2梁在基板的主面的上方空出间隙地保持第2梁；第1固定电极，其与第1分割部的、第1作用端侧的一部分相对，并且设置在基板的主面上。 | ||||||
| 63 | 微型开关元件 | CN200510108574.1 | 2005-10-12 | CN100492575C | 2009-05-27 | 中谷忠司; 阮俊英; 岛内岳明; 今井雅彦; 上田知史 |
| 一种微型开关元件，包括基础基板、连接到该基础基板的固定部、及包括固定到该固定部的固定端的活动部。该活动部由该固定部通过具有一对闭合端的狭槽围绕。该活动部包括第一表面和第二表面。该第一表面朝向该基础基板，并且该第二表面与该第一表面相对。该微型开关元件还包括活动接触部，其设置于该活动部的第二表面上；以及一对固定接触电极，每个固定接触电极包括朝向该活动接触部的接触表面。该固定接触电极连接到该固定部上。 | ||||||
| 64 | 具有转动杆开关机构的电开关元件，特别是继电器 | CN200780012711.9 | 2007-03-05 | CN101421810A | 2009-04-29 | 海因茨-迈克尔·埃尔利希 |
| 一种电开关元件(1)，特别是继电器，具有致动器(5)，开关触点(2)，以及开关机构(7)。所述开关机构将致动器的驱动移动(6)转换成开关触点的开关移动(4)，使得开关触点与接合触点(3)接触或不接触。为了在只产生小升程的驱动移动的致动器情况下生成具有大升程的开关移动，所述开关机构具有通过所述致动器互相连接的至少两个转动杆(8)以及至少一个触点保持器(10)。所述触点保持器在其纵方向(15)上连接所述两个转动杆，并构造成可横截其纵向方向偏转。 | ||||||
| 65 | 压电MEMS开关及制造方法 | CN200780006767.3 | 2007-01-31 | CN101390226A | 2009-03-18 | 刘连军 |
| 一种MEMS压电开关(100)，其提供结构紧凑、易于在单个单元中制造、以及没有高温导致的接触材料的形态变化与作为结果而发生的对特性的不利影响的优点。高温导致的形态变化指：当诸如射频线(125，130)和短路条(150)的金属接触暴露到退火压电层所要求的温度或者如果换而使用高温沉积处理而在压电层的高温沉积期间所遇到的温度时，在制造期间发生的变化。 | ||||||
| 66 | 微开关器件及其制造方法 | CN200810001293.X | 2008-01-17 | CN101226856A | 2008-07-23 | 阮俊英; 中谷忠司; 上田知史; 米泽游; 三岛直之 |
| 一种微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：固定部；可移动部；第一电极，具有第一触点和第二触点；第二电极，具有与第一触点相接触的第三触点；以及第三电极，具有与第二触点相对的第四触点。在制造微开关器件的过程中，在衬底上形成第一电极，再在衬底上形成牺牲层以覆盖第一电极。然后，在牺牲层中对应于第一电极的位置形成第一凹部和较浅的第二凹部。形成第二电极，第二电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第一凹部。形成第三电极，第三电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第二凹部。然后去除牺牲层。 | ||||||
| 67 | 增大压电传感器的行程的方法和利用该方法的MEMS开关 | CN200410032291.9 | 2004-03-31 | CN100336148C | 2007-09-05 | 崔斗善; 李泽旻; 诸太珍; 黄璟玹 |
| 本发明涉及增大压电传感器的行程的方法，和利用压电传感器的增大了的行程的MEMS开关。该MEMS开关具有利用杠杆原理的增大装置。根据本发明，提供了一种MEMS开关，其能够使用低于5V的相对低的电压，降低功耗和插损，提高隔离度，并且可广泛应用于如PCS、无线LAN等无线通信。 | ||||||
| 68 | 压电射频微机电系统装置及其制备方法 | CN200610136623.7 | 2006-10-31 | CN1975956A | 2007-06-06 | 金钟硕; 宋寅相; 李相勋; 权相旭; 李昌承; 洪荣泽; 金载兴 |
| 本发明涉及一种压电射频(RF)微机电系统(MEMS)装置及其制造方法，其中RF MEMS装置基于压电效应以低压向上驱动。所述压电RF MEMS装置包括：提供有RF输出信号线的上基板；设置于RF输出信号线下的压电致动器；和提供有空腔的下基板，从而压电致动器的一端固定到下基板且其另一端可移动且与上和下基板分开，其中压电致动器提供有在其上的RF输入信号线，且接触焊盘被提供以当压电致动器被向上驱动时将RF输出信号线与RF输入信号线连接。制造压电RF MEMS装置的方法包括：提供包括RF输出信号线的上基板；提供包括压电致动器的下基板，压电致动器具有对应于RF输出信号线的RF输入信号线；且组装上基板和下基板。 | ||||||
| 69 | 配有一个用压电材料制成的微电子机械开关的电子装置 | CN200480038438.3 | 2004-12-21 | CN1898762A | 2007-01-17 | H·佩尔策尔; P·G·斯蒂内肯; A·勒瓦尔特 |
| 一种电子装置包含一个微电子机械开关(MEMS)，该开关包括一个压电元件，该压电元件具有一个压电层(12)，压电层处在一个第一和一个第二电极层(11、13)之间，其中，电极层中至少有一个是针对独立的电极(41、42、43；51、52、53)设计的，其电位是可以彼此独立地进行控制的。 | ||||||
| 70 | 具有压电驱动致动器的电力装置 | CN03805633.X | 2003-03-10 | CN1295727C | 2007-01-17 | 克里斯琴·巴塔伊; 斯蒂芬·福利克 |
| 本发明涉及一种电力开关装置，其中每个电极包括一个配备有至少一个可动触头(31a，31b)的可动桥接件(30)，可动触头(31a，31b)在断开和闭合位置之间与电极的至少一个固定触头(41a，41b)相互配合动作。开关装置包括至少一个作用在可动桥接件(30)上的双稳或音圈型接近型致动器(20)，以使可动桥接件(30)的可动触头(31a，31b)和固定触头(41a，41b)分开或合拢，并且每一电极包括一个压电型压力型致动器(42)，以便在不用机械复归装置的情况下，形成触头压力和使触头断开。 | ||||||
| 71 | 微移动器件及使用湿蚀刻的制造方法 | CN200610058970.2 | 2006-03-09 | CN1835188A | 2006-09-20 | 阮俊英; 中谷忠司; 岛内岳明; 今井雅彦; 上田知史 |
| 一种微移动器件，包括：基础衬底；固定部，其与基础衬底接合；可移动部，其具有连接至固定部的固定端，并沿着基础衬底延伸；以及压电驱动部，其设置在可移动部和固定部与基础衬底相反的一侧上。压电驱动部具有由第一电极膜、第二电极膜以及位于第一和第二电极膜之间的压电膜构成的层叠结构，该第一电极膜与可移动部和固定部接触。可移动部和固定部中的至少一个设置有沿着压电驱动部延伸的沟槽。 | ||||||
| 72 | 浸湿指状物闭锁压电继电器 | CN200480009778.3 | 2004-01-15 | CN1774782A | 2006-05-17 | 马文·格伦·黄; 保罗·托马斯·卡若森 |
| 一种电气继电器，具有两个可湿电触头(118和120)，每个都支撑导电液体(126)。执行器(130、132或140)的动作使可湿开关指状物(114)从未偏转位置移动到第一和第二位置。在第一位置中，开关指状物(114)触及导电液体(126)，并且使导电液体在这些触头与开关指状物之间浸湿，从而使这些触头之间的电路变完整。当开关指状物(114)在第二位置中时，导电液体(126)不能在第一和第二触头与开关指状物之间浸湿，从而第一和第二触头之间的电路被切断。开关指状物(114)可以被定位在可被压电元件(130、132或140)的动作偏转或弯曲的梁(112)的自由端。 | ||||||
| 73 | 遥控断路器 | CN01137126.9 | 2001-10-23 | CN1227682C | 2005-11-16 | M·皮特罗; C·萨尔瓦托雷; G·毛罗; M·达维德 |
| 一种遥控断路器包括至少一个遥控的压电电机部件，它能在遥控断路器的闭合操作过程中连接电触头。 | ||||||
| 74 | 由少数元件构成的释放机构 | CN98804829.9 | 1998-03-06 | CN1223019C | 2005-10-12 | S·鲍威尔 |
| 本发明涉及一种电控致动器，该致动器至少包括两个同平面的叶片，所述叶片是由一个金属片U形压制而成的。一个叶片(60)的端部用作所述致动器的一个安装部分，另一个叶片(85)的端部用作一个致动表面。压电陶瓷材料分别固定在所述两个叶片的相对表面上以使所述致动表面相对于固定表面弯曲。本发明还披露一种包括这样一种致动器的电继电器或剩余电流设备。 | ||||||
| 75 | 具有压电驱动致动器的电力装置 | CN03805633.X | 2003-03-10 | CN1639818A | 2005-07-13 | 克里斯琴·巴塔伊; 斯蒂芬·福利克 |
| 本发明涉及一种电力开关装置，其中每个电极包括一个配备有至少一个可动触头(31a，31b)的可动桥接件(30)，可动触头(31a，31b)在断开和闭合位置之间与电极的至少一个固定触头(41a，41b)相互配合动作。开关装置包括至少一个作用在可动桥接件(30)上的双稳或音圈型接近型致动器(20)，以使可动桥接件(30)的可动触头(31a，31b)和固定触头(41a，41b)分开或合拢，并且每一电极包括一个压电型压力型致动器(42)，以便在不用机械复归装置的情况下，形成触头压力和使触头断开。 | ||||||
| 76 | 电子部件 | CN01140877.4 | 1997-08-26 | CN1378224A | 2002-11-06 | 坂田稔; 中岛卓哉; 积知范; 藤原照彦; 竹内司 |
| 一种电子部件,使玻璃材料制成的盖罩与硅材料制成的底座连接和集成,对与基片上的内部部件组装的电子器件芯片进行树脂模塑,从而用模塑覆盖盖罩,暴露底座底表面。借助设置在盖罩的通孔,内部部件与基片的外接线端电连接。在暴露于基片之外的底座底表面上设置散热片。这样可以获得易于辐射热量的电子部件,并且能够防止发生故障和工作特性的改变。 | ||||||
| 77 | 由数量较少的元件构成的释放机构 | CN98804829.9 | 1998-03-06 | CN1255240A | 2000-05-31 | S·鲍威尔 |
| 本发明涉及一种电控致动器,该致动器至少包括两个同平面的叶片,所述叶片是由一个金属片U形压制而成的。一个叶片(60)的端部用作所述致动器的一个安装部分,另一个叶片(85)的端部用作一个致动表面。压电陶瓷材料分别固定在所述两个叶片的相对表面上以使所述致动表面相对于固定表面弯曲。本发明还披露一种包括这样一种致动器的电继电器或剩余电流设备。 | ||||||
| 78 | 压电执行元件 | CN98803468.9 | 1998-10-21 | CN1251211A | 2000-04-19 | 鲁道夫·海因茨; 克劳斯-彼得·施莫尔; 弗里德里希·伯金 |
| 一种压电执行元件(1),与现有技术相比,在该执行元件中出现开裂的倾向明显减小,弥补裂缝的可能性被改善。根据本发明的压电执行元件,具有多个由压电材料制成的盘(2)、一个带有两个接头(12a,12b)的控制电压源(11)、每组至少有两个外电极的两个外电极组(3,5;4,6)和多个内电极(7,8,9,10),这些盘(2)的极化方向垂直于盘面并且在其极化方向而彼此堆叠起来,这些内电极分别安置在压电盘(2)之间,在此,第一组外电极(3,5)与控制电压源(11)的第一接头(12a)电连接,第二组外电极(4,6)与控制电压源(11)的第二接头(12b)电连接,而内电极(7，8， 9，10)如此交替地与外电极(3,4,5,6)接通,使得一个内电极(7,9)总是与控制电压源(11)的第一接头(12a)电连接,而在堆垛方向相随它们的内电极(8,10)总是与控制电压源(11)的另外的接头(12b)电连接,这里,内电极(7—10)以循环顺序与外电极(3－6)接通。 | ||||||
| 79 | 发射和接收级间的天线切换装置 | CN99103439.2 | 1999-03-10 | CN1238544A | 1999-12-15 | H·雅各布 |
| 本发明涉及在发射级输出和接收级输入间的一个天线切换装置，它包括由形成一个电容的两个固定片(21、22)和一个压电材料的可移动触点组成的一个压电致动器。在所述片的内表面局部镀有金属以构成电触点。装有电极用以向所述可移动触点提供能使触点变形的一个控制电压。变形发生在对应片的给定部分的静止位置和对应所述片的另一给定部分的工作位置之间。 | ||||||
| 80 | 微型继电器及其制造方法 | CN97198654.1 | 1997-08-26 | CN1233343A | 1999-10-27 | 坂田稔; 中岛卓哉; 积知范; 藤原照彦; 竹内司 |
| 由单晶制成的薄片状基片21设置有压电元件24,其一个表面设置有可动触点25的可动片20的两端固定和支撑在底座11。然后,通过借助电压元件24使可动片20弯曲,可动触点25与面对可动触点的一对固定触点38和39接触和脱离接触。按此配置,可以获得超小型微型继电器,其具有的机械接触机理在接通其触点时的电阻较小,同时具有期望的抗震性、频率特性和绝缘性能。 | ||||||
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