| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 微机电系统和用于制造微机电系统的方法 | CN201580008467.3 | 2015-02-12 | CN106062914A | 2016-10-26 | 托马斯·里塞奇; 法比安·斯托佩尔 |
| 一种微机电系统具有：能够偏转的致动器板以及止挡面。能够偏转的致动器板的一体的压电功能层借助于能够偏转的致动器板的主动面(APS)来构造。能够偏转的致动器板被构造用于在被操控的状态和未被操控的状态中的至少一个中执行空心拱起，其中，止挡面朝向能够偏转的致动器板的空心侧面来布置。能够偏转的致动器板被构造用于在能够偏转的致动器板执行空心拱起的状态下，提供能够偏转的致动器板与止挡面之间的机械接触。在另一状态中，能够偏转的致动器板与止挡面保持间距地布置。 | ||||||
| 2 | MEMS开关 | CN201180073883.3 | 2011-10-06 | CN103843100B | 2016-04-27 | 豊田治; 岛内岳明 |
| 提供一种容易制造并且能够有效抑制粘连的MEMS开关。MEMS开关具有：固定支撑部；板状挠性梁，至少一端被固定支撑在固定支撑部上，具有延伸的活动表面；活动电气触点，配置在挠性梁的活动表面上；固定电气触点，位置相对于固定支撑部固定，与活动电气触点相对置；第一压电驱动元件，从固定支撑部朝向活动电气触点而在挠性梁的活动表面的上方延伸，能够通过电压驱动使活动电气触点向固定电气触点发生位移；以及第二压电驱动元件，至少配置在挠性梁的活动表面上，通过电压驱动，向活动电气触点远离固定电气触点的方向驱动挠性梁的活动部。 | ||||||
| 3 | 微机电系统 | CN201180025545.2 | 2011-06-15 | CN102906008B | 2015-11-25 | A.斯坦珀; C.V.扬斯 |
| 一种形成微机电系统（MEMS）的方法包括在MEMS的腔体内的第一绝缘体层上形成下电极。该方法还包括在下电极的顶部上的另一绝缘材料之上形成上电极，上电极与下电极至少部分地接触。下电极和上电极的形成包括调整下电极和上电极的金属体积以修改梁弯曲。 | ||||||
| 4 | 制造MEMS器件的方法以及MEMS器件 | CN201110057805.6 | 2011-03-04 | CN102190286B | 2015-09-09 | 胜木隆史; 岛内岳明; 今井雅彦; 丰田治; 上田知史 |
| 本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件，并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤：在衬底上形成第一电极，其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部；在第一电极上形成牺牲层，其中牺牲层具有第一倾斜边缘，该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置，使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小；在第一电极上形成第一隔离体，其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触；在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极；以及在形成梁电极以后去除牺牲层。 | ||||||
| 5 | 压电陶瓷、压电陶瓷部件及使用该压电陶瓷部件的压电装置 | CN201180044864.8 | 2011-12-13 | CN103119002B | 2014-09-17 | 波多野桂一; 清水宽之; 土信田丰 |
| 本发明提供一种全新的压电陶瓷，该压电陶瓷具有将Li、Na、K、Nb和O作为构成元素的含碱铌酸类钙钛矿结构，其可以在1000℃左右容易地进行烧结，且不会使压电特性大幅降低。对于具有将Li、Na、K、Nb和O作为构成元素的含碱铌酸类钙钛矿结构的压电陶瓷，通过有意图地使Li3NbO4结晶相析出，能够在不是通常需要的1050℃以上的烧制温度，而是在1000℃左右进行烧制。 | ||||||
| 6 | 压电陶瓷、压电陶瓷部件及使用该压电陶瓷部件的压电装置 | CN201180044864.8 | 2011-12-13 | CN103119002A | 2013-05-22 | 波多野桂一; 清水宽之; 土信田丰 |
| 本发明提供一种全新的压电陶瓷，该压电陶瓷具有将Li、Na、K、Nb和O作为构成元素的含碱铌酸类钙钛矿结构，其可以在1000℃左右容易地进行烧结，且不会使压电特性大幅降低。对于具有将Li、Na、K、Nb和O作为构成元素的含碱铌酸类钙钛矿结构的压电陶瓷，通过有意图地使Li3NbO4结晶相析出，能够在不是通常需要的1050℃以上的烧制温度，而是在1000℃左右进行烧制。 | ||||||
| 7 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201180025549.0 | 2011-06-08 | CN102906871A | 2013-01-30 | G.A.邓巴; 何忠祥; J.C.马林; W.J.墨菲; A.K.斯坦珀 |
| 一种形成至少一个微机电系统（MEMS）的方法包括：在衬底上形成下布线层。该方法还包括：自下布线层形成多个分离布线（14）。该方法还包括：在多个分离布线之上形成电极梁（38）。电极梁和多个分离布线的形成的至少之一形成有最小化后续硅沉积（50）中的小丘和三相点的布局。 | ||||||
| 8 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201180025550.3 | 2011-06-08 | CN102906010A | 2013-01-30 | R.T.赫林; C.V.扬斯; A.K.斯坦珀; E.J.怀特 |
| 一种形成至少一个微机电系统（MEMS）腔体（60b）的方法包括：在布线层（14）和衬底（10）上方形成第一牺牲腔体层（18）。该方法还包括在第一牺牲腔体层上方形成绝缘体层（40）。该方法还包括在绝缘体层上执行反向镶嵌回蚀刻工艺。该方法还包括平坦化绝缘体层和第一牺牲腔体层。该方法还包括将第一牺牲腔体层排放或剥离为MEMS的第一腔体（60b）的平面表面。 | ||||||
| 9 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201180025546.7 | 2011-06-08 | CN102906009A | 2013-01-30 | D.丹格; T.多安; G.A.邓巴; 何忠祥; R.T.赫林; C.V.扬斯; J.C.马林; W.J.墨菲; A.K.斯坦珀; J.G.通布利; E.J.怀特 |
| 本发明提供了平面腔体微机电系统（MEMS）结构、制造和设计结构的方法。该方法包括：采用反向镶嵌工艺形成至少一个微机电系统（MEMS）腔体（60a，60b），该至少一个微机电系统腔体具有平面表面。 | ||||||
| 10 | 微开关器件及其制造方法 | CN200810001293.X | 2008-01-17 | CN101226856B | 2012-05-09 | 阮俊英; 中谷忠司; 上田知史; 米泽游; 三岛直之 |
| 一种用于传统技术中无线通讯设备的微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：固定部；可移动部；第一电极，具有第一触点和第二触点；第二电极，具有与第一触点相接触的第三触点；以及第三电极，具有与第二触点相对的第四触点。在制造微开关器件的过程中，在衬底上形成第一电极，再在衬底上形成牺牲层以覆盖第一电极。然后，在牺牲层中对应于第一电极的位置形成第一凹部和较浅的第二凹部。形成第二电极，第二电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第一凹部。形成第三电极，第三电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第二凹部。然后去除牺牲层。所述微开关器件能够抑制可移动接触电极在朝着固接接触电极的方向上的波动。 | ||||||
| 11 | 压电致动器和微机电器件 | CN200510103951.2 | 2005-09-16 | CN1750380B | 2012-04-04 | 川久保隆; 长野利彦; 阿部和秀; 西垣亨彦 |
| 一种压电致动器，包括第一横梁，第一横梁包括第一底电极，在第一底电极上的第一压电膜，以及在第一压电膜上的第一顶电极，设置在第一横梁的一端并固定在衬底上的固定端，设置在第一横梁的另一端并悬浮在自由空间上的连接端；以及第二横梁，第二横梁包括在连接端连接到第一压电膜的第二压电膜，在第二压电膜下面的第二底电极，以及在第二压电膜上的第二顶电极，设置在第二横梁的一端并悬浮在自由空间上的工作端，该端与设置了连接端的另一端相对；其中固定端与工作端的中心之间的距离比工作端到连接端之间的距离短。 | ||||||
| 12 | 微电子机械系统开关 | CN200480024749.4 | 2004-08-27 | CN1842886B | 2011-09-28 | R·J·T·班彦; D·J·坎布斯; K·M·布伦森 |
| 一种微电子机械系统(MEMS)开关包括固定触点(24)和电枢(30)上的可动触点(35)。该开关具有与固定触点以及可动触点均相关用于提供静电开关操作的电极(22，34)，以及具有相关的电极(36，40)用于通过施加电压使电枢弯曲并提供初始压电开关操作以及后面的静电切换和夹紧的压电材料。电枢具有弯曲形状，当处于开关打开状态并且外加电压为零时，该电枢弯曲远离固定触点。这使得处于OFF状态时开关间隙较大，比如3pm，该间隙通过适于静电开关闭合的压电操作而减小。通过改变在电枢厚度上的应变提供一种弯曲状态，并且该弯曲状态在开关制造过程中产生。 | ||||||
| 13 | 微移动器件及使用湿蚀刻的制造方法 | CN200610058970.2 | 2006-03-09 | CN100547723C | 2009-10-07 | 阮俊英; 中谷忠司; 岛内岳明; 今井雅彦; 上田知史 |
| 一种微移动器件，包括：基础衬底；固定部，其与基础衬底接合；可移动部，其具有连接至固定部的固定端，并沿着基础衬底延伸；以及压电驱动部，其设置在可移动部和固定部与基础衬底相反的一侧上。压电驱动部具有由第一电极膜、第二电极膜以及位于第一和第二电极膜之间的压电膜构成的层叠结构，该第一电极膜与可移动部和固定部接触。可移动部和固定部中的至少一个设置有沿着压电驱动部延伸的沟槽。 | ||||||
| 14 | 压电驱动MEMS装置 | CN200710112193.X | 2007-06-21 | CN101093966A | 2007-12-26 | 川久保隆; 长野利彦; 西垣亨彦 |
| 本发明可以提供一种压电驱动MEMS装置，该压电驱动MEMS装置使动作端和固定电极之间的距离保持恒定而不管残余应变是大是小，并且具有再现性和可靠性良好的机构。均具有折叠梁结构的两个压电驱动致动器平行并且以线对称方式布置，并且在动作端附近彼此连接。 | ||||||
| 15 | 压电驱动MEMS器件 | CN200710091368.3 | 2007-03-30 | CN101047226A | 2007-10-03 | 西垣亨彦; 长野利彦; 宫崎崇; 板谷和彦; 川久保隆 |
| 一种MEMS器件包括：具有第一固定端的第一致动器，其包括第一下电极、第一压电膜、以及第一上电极的层叠结构，并且可通过在第一下电极和第一上电极上施加电压而工作；具有第二固定端的第二致动器，其与第一致动器平行设置，并且包括第二下电极、第二压电膜、以及第二上电极的层叠结构，并且可通过在第二下电极和第二上电极上施加电压而工作；以及电路元件，其具有连接到第一致动器的第一作用部分和连接到第二致动器的第二作用部分。 | ||||||
| 16 | 微电子机械系统开关 | CN200480024749.4 | 2004-08-27 | CN1842886A | 2006-10-04 | R·J·T·班彦; D·J·坎布斯; K·M·布伦森 |
| 一种微电子机械系统(MEMS)开关包括固定触点(24)和电枢(30)上的可动触点(35)。该开关具有与固定触点以及可动触点均相关用于提供静电开关操作的电极(22，34)，以及具有相关的电极(36，40)用于通过施加电压使电枢弯曲并提供初始压电开关操作以及后面的静电切换和夹紧的压电材料。电枢具有弯曲形状，当处于开关打开状态并且外加电压为零时，该电枢弯曲远离固定触点。这使得处于OFF状态时开关间隙较大，比如3pm，该间隙通过适于静电开关闭合的压电操作而减小。通过改变在电枢厚度上的应变提供一种弯曲状态，并且该弯曲状态在开关制造过程中产生。 | ||||||
| 17 | 微型开关元件 | CN200510108574.1 | 2005-10-12 | CN1815657A | 2006-08-09 | 中谷忠司; 阮俊英; 岛内岳明; 今井雅彦; 上田知史 |
| 一种微型开关元件，包括基础基板、连接到该基础基板的固定部、及包括固定到该固定部的固定端的活动部。该活动部由该固定部通过具有一对闭合端的狭槽围绕。该活动部包括第一表面和第二表面。该第一表面朝向该基础基板，并且该第二表面与该第一表面相对。该微型开关元件还包括活动接触部，其设置于该活动部的第二表面上；以及一对固定接触电极，每个固定接触电极包括朝向该活动接触部的接触表面。该固定接触电极连接到该固定部上。 | ||||||
| 18 | 插指式液体金属继电器 | CN200480009772.6 | 2004-01-15 | CN1774781A | 2006-05-17 | 保罗·托马斯·卡若森; 马文·格伦·黄 |
| 一种电气继电器，包括两个支撑导电液体(126)的可湿电触头(118、120)。执行器(130、132或140)的动作使不可湿开关指状物(114)在两个电触头之间的第一和第二位置之间移动。在第一位置中，开关指状物准许导电液体(126)桥接触头(118、120)之间的间隙，从而使这些触头之间的电路完整。在第二位置中，开关指状物使导电液体分离为两个部分，这切断了这些触头之间的电路。开关指状物可以被定位在可被压电元件(130、132或140)的动作偏转或弯曲的梁(112)的自由端。 | ||||||
| 19 | 压电致动器和微机电器件 | CN200510103951.2 | 2005-09-16 | CN1750380A | 2006-03-22 | 川久保隆; 长野利彦; 阿部和秀; 西垣亨彦 |
| 一种压电致动器，包括第一横梁，第一横梁包括第一底电极，在第一底电极上的第一压电膜，以及在第一压电膜上的第一顶电极，设置在第一横梁的一端并固定在衬底上的固定端，设置在第一横梁的另一端并悬浮在自由空间上的连接端；以及第二横梁，第二横梁包括在连接端连接到第一压电膜的第二压电膜，在第二压电膜下面的第二底电极，以及在第二压电膜上的第二顶电极，设置在第二横梁的一端并悬浮在自由空间上的工作端，该端与设置了连接端的另一端相对；其中固定端与工作端的中心之间的距离比工作端到连接端之间的距离短。 | ||||||
| 20 | 电子部件 | CN01140877.4 | 1997-08-26 | CN1222972C | 2005-10-12 | 坂田稔; 中岛卓哉; 积知范; 藤原照彦; 竹内司 |
| 一种电子部件，使玻璃材料制成的盖罩与硅材料制成的底座连接和集成，对与基片上的内部部件组装的电子器件芯片进行树脂模塑，从而用模塑覆盖盖罩，暴露底座底表面。借助设置在盖罩的通孔，内部部件与基片的外接线端电连接。在暴露于基片之外的底座底表面上设置散热片。这样可以获得易于辐射热量的电子部件，并且能够防止发生故障和工作特性的改变。 | ||||||
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