| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 21 | 增大压电传感器的行程的方法和利用该方法的MEMS开关 | CN200410032291.9 | 2004-03-31 | CN1551275A | 2004-12-01 | 崔斗善; 李泽旻; 诸太珍; 黄璟玹 |
| 本发明涉及增大压电传感器的行程的方法，和利用压电传感器的增大了的行程的MEMS开关。该MEMS开关具有利用杠杆原理的增大装置。根据本发明，提供了一种MEMS开关，其能够使用低于5V的相对低的电压，降低功耗、绝缘和插入损失，并且可广泛应用于如PCS、无线LAN等无线通信。 | ||||||
| 22 | 低压微型开关 | CN200410037301.8 | 2004-04-23 | CN1540700A | 2004-10-27 | 朴宰永 |
| 一种低压微型开关包括在其内具有驱动空间的基片；具有以悬梁形状从基片的一部分延伸到基片的驱动空间的压电材料和偏压电极的驱动装置；从基片的一侧以一定间隔延伸地形成并具有不相连部分的导电信号线；连接到驱动装置，被放置在驱动空间内并根据驱动装置的驱动移动的支承单元；形成在支承单元处并根据支承单元的运动连接或断开导电信号线的不相连部分的切换装置；及一个或多个形成在基片处的基单元。 | ||||||
| 23 | 静电射频微电机械系统开关 | CN03154570.X | 2003-08-19 | CN1485873A | 2004-03-31 | 宋寅相; 金永一; 李文喆; 沈东河; 弘荣泽; 朴仙姬; 南光佑 |
| 一种微型开关，包括：形成在基底上的电介质层，该电介质层具有移动区；导电层，形成在移动区的预定部分上；电介质薄膜，形成在导电层上；第一和第二电导体，在电介质薄膜的上方的预定距离形成；一个或两个下电极，形成在移动区上；以及一个或两个上电极，在下电极上方的预定距离形成，当在上电极和下电极之间产生静电力时，两个上电极导致导电层和电介质薄膜向上移动，并且使第一和第二电导体电容联接，以便使电流在第一和第二电导体之间流动。这种微型开关的通断率和隔离度高，结构简单，并且可以以非常简单的加工过程制造。 | ||||||
| 24 | 发射和接收级间的天线切换装置 | CN99103439.2 | 1999-03-10 | CN1129941C | 2003-12-03 | H·雅各布 |
| 本发明涉及在发射级输出和接收级输入间的一个天线切换装置，它包括由形成一个电容的两个固定片(21、22)和一个压电材料的可移动触点组成的一个压电致动器。在所述片的内表面局部镀有金属以构成电触点。装有电极用以向所述可移动触点提供能使触点变形的一个控制电压。变形发生在对应片的给定部分的静止位置和对应所述片的另一给定部分的工作位置之间。 | ||||||
| 25 | 微型继电器及其制造方法 | CN97198654.1 | 1997-08-26 | CN1082237C | 2002-04-03 | 坂田稔; 中岛卓哉; 积知范; 藤原照彦; 竹内司 |
| 由单晶制成的薄片状基片21设置有压电元件24，其一个表面设置有可动触点25的可动片20的两端固定和支撑在底座11。然后，通过借助电压元件24使可动片20弯曲，可动触点25与面对可动触点的一对固定触点38和39接触和脱离接触。按此配置，可以获得超小型微型继电器，其具有的机械接触机理在接通其触点时的电阻较小，同时具有期望的抗震性、频率特性和绝缘性能。 | ||||||
| 26 | 剩余电流装置的操作 | CN95194692.7 | 1995-06-30 | CN1054700C | 2000-07-19 | S·包威尔 |
| 本发明涉及一种按钮剩余电流装置，其中利用一单个按钮在所述装置上进行设置和试验操作。特别是在该按钮向下行程的第一部分上一个试验脱扣装置被起动，如果它正在正确地起作用，它将使该装置脱扣。如果该按钮进一步被按下，并且被释放，假设脱扣状态没有被检测，那么该装置进入到允许电流通过的一个状态。一旦该装置允许电流通过，引起该装置脱扣的任何故障将导致电源立即断开，而不考虑按钮的状态。 | ||||||
| 27 | 具有混合驱动的微型机械继电器 | CN94191220.5 | 1994-02-14 | CN1040049C | 1998-09-30 | H·-J·吉瓦特; L·基斯韦特; J·辛卡特; H·施拉克 |
| 微型机械继电器有一个由衔铁基体(52)腐蚀出来的舌簧状衔铁(53)，此衔铁(53)与衔铁基体弹性连接，它与一个在它下面的基座(51)的基座电极(58)构成了一种静电驱动。此外，在衔铁(53)上设有压电层(60)，它起弯曲变换器的作用，并构成一种附加的驱动。当在衔铁(53)的电极、基座(51)的电极和压电层(60)的电极上施加一个电压时，衔铁被吸在此基座上，并因而在至少一个触头(55、56)闭合的情况下，衔铁大面积地贴靠在此基座上。此时，静电驱动和压电驱动的不同特性线叠加在一起，所以，既能在衔铁运动开始时产生一个大的吸引力，又能在衔铁吸住后产生一个大的接触力。 | ||||||
| 28 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201180025550.3 | 2011-06-08 | CN102906010B | 2015-12-02 | R.T.赫林; C.V.扬斯; A.K.斯坦珀; E.J.怀特 |
| 一种形成至少一个微机电系统（MEMS）腔体（60b）的方法包括：在布线层（14）和衬底（10）上方形成第一牺牲腔体层（18）。该方法还包括在第一牺牲腔体层上方形成绝缘体层（40）。该方法还包括在绝缘体层上执行反向镶嵌回蚀刻工艺。该方法还包括平坦化绝缘体层和第一牺牲腔体层。该方法还包括将第一牺牲腔体层排放或剥离为MEMS的第一腔体（60b）的平面表面。 | ||||||
| 29 | 电磁继电器 | CN201280038179.9 | 2012-06-20 | CN104025239A | 2014-09-03 | 米夏埃尔·瑙曼; 赖纳·宾迪希; 阿尔方斯·克尔纳贝格尔; 汉斯-于尔根·施赖纳; 彼得·施廷格尔; 彼得·梅克勒; 马库斯·比尔纳 |
| 本发明涉及电磁继电器(1)，特别是机动车辆继电器，电磁继电器包括磁轭(2)、继电器线圈(7)、铰接电枢(4)，铰接电枢能绕旋转轴(3)枢转，并且在铰接电枢(4)上，相对于至少一个固定触点(6a)保持作为工作或转接触点的移动触点(5)，并且电磁继电器包括压电促动器(9)，由于促动所述压电促动器，当继电器线圈(7)断电时，压电促动器保持工作或转接触点(5、6a、6b)闭合。 | ||||||
| 30 | MEMS开关 | CN201180073883.3 | 2011-10-06 | CN103843100A | 2014-06-04 | 豊田治; 岛内岳明 |
| 提供一种容易制造并且能够有效抑制粘连的MEMS开关。MEMS开关具有：固定支撑部；板状挠性梁，至少一端被固定支撑在固定支撑部上，具有延伸的活动表面；活动电气触点，配置在挠性梁的活动表面上；固定电气触点，位置相对于固定支撑部固定，与活动电气触点相对置；第一压电驱动元件，从固定支撑部朝向活动电气触点而在挠性梁的活动表面的上方延伸，能够通过电压驱动使活动电气触点向固定电气触点发生位移；以及第二压电驱动元件，至少配置在挠性梁的活动表面上，通过电压驱动，向活动电气触点远离固定电气触点的方向驱动挠性梁的活动部。 | ||||||
| 31 | 微机电系统结构 | CN201180025557.5 | 2011-06-15 | CN102906011A | 2013-01-30 | A.斯坦珀; C.V.扬斯 |
| 一种形成至少一个微机电系统（MEMS）腔体的方法包括在下布线层之上形成第一牺牲腔体层。该方法还包括形成一层。该方法还包括在第一牺牲层之上形成第二牺牲腔体层并且该第二牺牲腔体层与该层接触。该方法还包括在第二牺牲腔体层上形成顶盖。该方法还包括在顶盖中形成至少一个排放孔，暴露第二牺牲腔体层的一部分。该方法还包括在排放或剥离第一牺牲腔体层之前，排放或剥离第二牺牲腔体层，使第二牺牲腔体层的顶表面不再接触顶盖的底表面，从而分别形成第一腔体和第二腔体。 | ||||||
| 32 | 微机电系统 | CN201180025545.2 | 2011-06-15 | CN102906008A | 2013-01-30 | A.斯坦珀; C.V.扬斯 |
| 一种形成微机电系统（MEMS）的方法包括在MEMS的腔体内的第一绝缘体层上形成下电极。该方法还包括在下电极的顶部上的另一绝缘材料之上形成上电极，上电极与下电极至少部分地接触。下电极和上电极的形成包括调整下电极和上电极的金属体积以修改梁弯曲。 | ||||||
| 33 | 致动器以及使用其的电子设备 | CN200910002664.0 | 2009-01-14 | CN101488723B | 2012-07-18 | 西垣亨彦; 长野利彦; 板谷和彦; 川久保隆 |
| 本发明提供一种致动器以及使用其的电子设备，该致动器通过降低梁的翻翘的影响，最大静电电容大，此外缓和了在最大静电电容附近的静电电容的急剧的变化。本发明提供一种致动器，具备：第1梁，其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结第1固定端与基板，并使上述第1梁在基板的主面的上方空出间隙地支撑第1梁；第2梁，其从第2连接端延伸到第1作用端，与第1梁并排地设置，并且具有由从第1作用端向着第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结第1连接端与第2连接端，并且使上述第2梁在基板的主面的上方空出间隙地保持第2梁；第1固定电极，其与第1分割部的、第1作用端侧的一部分相对，并且设置在基板的主面上。 | ||||||
| 34 | 微机电器件及其驱动方法 | CN200780029558.0 | 2007-07-24 | CN101501805B | 2012-07-04 | A·希尔格斯 |
| 提出的本发明申请描述了基于微机电系统MEMS技术的新颖结构的极小自锁定开关部件。常规的MEMS开关需要连续的控制信号，以便获得期望的活动状态。所提出的发明仅需要短的控制信号，例如脉冲，以便将该部件开启和/或关断。根据所提出的MEMS器件的扩展，可以忽略去控制信号上的RF噪声或反弹效应。这使得电子电路的设计更容易且特别是更鲁棒，并且增强了功能。 | ||||||
| 35 | 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 | CN201110174027.9 | 2011-06-24 | CN102295264A | 2011-12-28 | 迪恩.当; 泰.多恩; 杰弗里.C.马林; 安东尼.K.斯塔姆珀 |
| 本发明公开一种平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法。一种形成至少一个微机电系统(MEMS)的方法包括在衬底上形成多个分离导线。该方法还包括在该分离导线上形成牺牲腔体层。该方法还包括在该牺牲腔体层的上表面形成沟槽。该方法还包括用电介质材料填充沟槽。该方法还包括在该牺牲腔体层和该电介质材料上沉积金属以形成具有从其底表面延伸的至少一个电介质缓冲器的梁。 | ||||||
| 36 | 制造MEMS器件的方法以及MEMS器件 | CN201110057805.6 | 2011-03-04 | CN102190286A | 2011-09-21 | 胜木隆史; 岛内岳明; 今井雅彦; 丰田治; 上田知史 |
| 本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件，并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤：在衬底上形成第一电极，其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部；在第一电极上形成牺牲层，其中牺牲层具有第一倾斜边缘，该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置，使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小；在第一电极上形成第一隔离体，其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触；在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极；以及在形成梁电极以后去除牺牲层。 | ||||||
| 37 | 压电MEMS开关及制造方法 | CN200780006767.3 | 2007-01-31 | CN101390226B | 2011-04-06 | 刘连军 |
| 一种MEMS压电开关(100)，其提供结构紧凑、易于在单个单元中制造、以及没有高温导致的接触材料的形态变化与作为结果而发生的对特性的不利影响的优点。高温导致的形态变化指：当诸如射频线(125，130)和短路条(150)的金属接触暴露到退火压电层所要求的温度或者如果换而使用高温沉积处理而在压电层的高温沉积期间所遇到的温度时，在制造期间发生的变化。 | ||||||
| 38 | 压电驱动MEMS装置 | CN200710112193.X | 2007-06-21 | CN101093966B | 2010-12-22 | 川久保隆; 长野利彦; 西垣亨彦 |
| 本发明可以提供一种压电驱动MEMS装置，该压电驱动MEMS装置使动作端和固定电极之间的距离保持恒定而不管残余应变是大是小，并且具有再现性和可靠性良好的机构。均具有折叠梁结构的两个压电驱动致动器平行并且以线对称方式布置，并且在动作端附近彼此连接。 | ||||||
| 39 | 电子器件 | CN200480038318.3 | 2004-12-20 | CN1898814B | 2010-08-11 | M·K·克利; T·G·S·M·里克斯; P·洛克; R·G·莫措克 |
| 微电机械系统(MEMS)元件(101)包括存在于衬底(30)的表面上的第一电极(31)和可移动元件(40)，其至少部分地覆盖第一电极(31)并包括压电激励器，在第一和第二位置之间通过施加激励电压该可移动元件(40)可向着和从衬底(30)移动，在该第一位置中，它借助间隙与衬底(30)分开。这里压电激励器包括在相对表面上分别设有第二和第三电极(21、22)的压电层(25)，所述第二电极(21)面向衬底(30)，并且所述第三电极(22)形成MEMS元件(101)的输入电极，因此通过MEMS元件(101)之间的电流路径包括该压电层(25)和可调的间隙。 | ||||||
| 40 | 自锁定微机电器件 | CN200780029558.0 | 2007-07-24 | CN101501805A | 2009-08-05 | A·希尔格斯 |
| 提出的本发明申请描述了基于微机电系统(MEMS)技术的新颖结构的极小自锁定开关部件。常规的MEMS开关需要连续的控制信号，以便获得期望的活动(开关)状态。所提出的发明仅需要短的控制信号(非锁定键)，例如脉冲，以便将该部件开启和/或关断。根据所提出的MEMS器件的扩展，可以忽略去控制信号上的RF噪声(纹波)或反弹效应。这使得电子电路的设计更容易且特别是更鲁棒，并且增强了功能。 | ||||||
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