1.一种制造器件的方法，包括以下步骤：
在衬底上形成第一电极，所述第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部，所述第一倾斜端部形成在所述衬底上，所述第一倾斜端部的厚度小于另一端；
在所述第一电极上形成牺牲层，所述牺牲层具有第一倾斜边缘，所述第一倾斜边缘和所述第一倾斜端部彼此叠置，使得所述第一倾斜边缘的厚度随着所述第一倾斜端部的厚度增加而减小；
在所述第一电极上形成第一隔离体，所述第一隔离体与所述第一倾斜边缘接触；
在所述牺牲层和所述第一隔离体上形成梁电极；以及
在形成所述梁电极以后去除所述牺牲层。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述牺牲层的一部分布置在所述衬底上。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述器件被用在微机电系统中。
4.根据权利要求1所述的方法，其中
在形成所述第一电极时形成第二电极，所述第二电极与所述第一电极分开布置在所述衬底上，所述第二电极具有与所述第一电极的所述第一倾斜端部相对的第二倾斜端部，所述牺牲层被形成为使得所述牺牲层的第二倾斜边缘以如下所述的方式与所述第二电极叠置：所述第二倾斜边缘的厚度随着所述第二倾斜端部的厚度增加而减小，在形成所述第一隔离体时形成第二隔离体，所述第二隔离体被形成在所述第二电极上并且与所述第二倾斜边缘接触。
5.根据权利要求4所述的方法，其中所述牺牲层的一部分布置在所述衬底上。
6.根据权利要求1所述的方法，其中
在形成所述第一电极时形成第二电极，所述第二电极与所述第一电极分开布置在所述衬底上，所述第二电极具有与所述第一电极的所述第一倾斜端部相对的第二倾斜端部，所述第二倾斜端部的边缘布置在具有与所述牺牲层的厚度相等的宽度的区域中，所述宽度的中心位置与所述第一倾斜端部的顶点的位置相对应。
7.根据权利要求4所述的方法，其中
所述第二倾斜端部的末端布置在具有与所述牺牲层的厚度等同的宽度的区域中，所述宽度的中心位置与所述第一倾斜端部的顶点的位置相对应。
8.根据权利要求6所述的方法，其中
所述牺牲层被形成为使得，所述第一倾斜边缘的顶点布置在高于所述第一倾斜端部的顶点的位置处。
9.根据权利要求7所述的方法，其中
所述牺牲层形成为使得，所述第一倾斜边缘的顶点布置在高于所述第一倾斜端部的顶点的位置处。
10.根据权利要求6所述的方法，其中
所述牺牲层包括第一牺牲层和第二牺牲层，
所述第一牺牲层利用剥离工艺形成，
所述第二牺牲层利用刻蚀工艺形成在所述第一牺牲层上。
11.根据权利要求7所述的方法，其中
所述牺牲层包括第一牺牲层和第二牺牲层，
所述第一牺牲层利用剥离工艺形成，
所述第二牺牲层利用刻蚀工艺形成在所述第一牺牲层上。
12.根据权利要求8所述的方法，其中
所述牺牲层包括第一牺牲层和第二牺牲层，
所述第一牺牲层利用剥离工艺形成，
所述第二牺牲层利用刻蚀工艺形成在所述第一牺牲层上。
13.根据权利要求9所述的方法，其中
所述牺牲层包括第一牺牲层和第二牺牲层，
所述第一牺牲层利用剥离工艺形成，
所述第二牺牲层利用刻蚀工艺形成在所述第一牺牲层上。
14.一种器件，包括：
衬底；
形成在所述衬底上的第一电极，所述第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部，所述第一倾斜端部形成在所述衬底上，所述第一倾斜端部的厚度小于另一端；
形成在所述第一电极上的牺牲层，所述牺牲层具有第一倾斜边缘，所述第一倾斜边缘和所述第一倾斜端部彼此叠置，使得所述第一倾斜边缘的厚度随着所述第一倾斜端部的厚度增加而减小；
形成在所述第一电极上的第一隔离体，所述第一隔离体具有第二倾斜端部，所述第二倾斜端部的厚度随着所述第一倾斜端部的减小而减小；以及
形成在所述隔离体上的梁电极。
15.根据权利要求14所述的器件，其中所述第一倾斜端部和所述第二倾斜端部之间的距离随着所述第一倾斜端部的厚度的减小而增加。
16.根据权利要求14所述的器件，还包括：
第二电极，所述第二电极在所述梁电极下方形成在所述衬底上并且与所述第一电极和所述隔离体分开布置，所述电极在其上具有电介质层，
其中当在所述梁电极和所述第二电极之间施加电压时，所述梁电极和所述第二电极之间的距离减小。
17.根据权利要求16所述的器件，其中所述梁电极和所述第二电极之间的电容根据被施加在两者之间的电压而改变。
18.根据权利要求16所述的器件，还包括：
经由绝缘部件连接到所述梁电极的第三电极；以及
布置在所述衬底上的一对第四电极，各个所述第四电极彼此分开布置，其中当所述梁电极接近或接触所述第二电极时，所述第三电极接触所述第四电极中的两者。