| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 81 | 扩散泵机组意外断电后应急冷却装置 | CN201720519489.2 | 2017-05-11 | CN206874574U | 2018-01-12 | 刘爱国; 朱延伟; 童剑锋 |
| 本实用新型公开了一种扩散泵机组意外断电后应急冷却装置，包括扩散泵、水冷机、回路管道和副水箱，水冷机出水管通过第一常开电磁阀连接扩散泵进水管，水冷机进水管通过第二常开电磁阀连接扩散泵出水管；副水箱出水口连接水泵，水泵出水管通过第一常闭电磁阀连接扩散泵进水管；副水箱进水管连接冷却装置，冷却装置通过第二常闭电磁阀连接扩散泵出水管；第一常开电磁阀、第二常开电磁阀、第一常闭电磁阀、第二常闭电磁阀、冷却装置、水泵与蓄电池并联连接到电磁继电器的常闭触点上；电磁继电器的线圈以及水冷机与市电连接。本实用新型解决了其在断电状态下自动开启应急冷却装置的问题，装置成本低廉，使用方便。 | ||||||
| 82 | 扩散泵 | CN201720089263.3 | 2017-01-20 | CN206419285U | 2017-08-18 | 李正元 |
| 本实用新型提供了一种扩散泵，包括外侧设有冷水套的泵体，泵体底部设有油腔，油腔的底部设有加热装置，加热装置的上方设有泵芯，泵芯上设有喷嘴；泵体的上端设有进气口，泵体下端的一侧设有挡油弯头，挡油弯头与管道联通，管道的末端设有出气口，管道内设有挡雾器；挡油弯头的内部设有冷却装置，冷却装置包括压缩机、冷凝器、蒸发器、第一阀、膨胀元件、第二阀、控制单元、附加膨胀元件；由于采用了上述技术方案，本实用新型的扩散泵在挡油弯头内设有冷却装置，冷却装置设置有蒸发器，蒸发器用来在下一个压缩机工作期间开始时再填充制冷剂，使制冷得效果达到理想的状态，保证蒸汽与气体的分离充分，形成良好的真空度。 | ||||||
| 83 | 一种电子束焊机油扩散泵 | CN201621250420.6 | 2016-11-22 | CN206190621U | 2017-05-24 | 方杰华; 王鹏鹏; 马萍; 剡建锋; 陈永忠; 赵斌; 张庭耀; 龙志丽; 苏娜 |
| 本实用新型公开了一种电子束焊机油扩散泵，油扩散泵包括泵体，设置在泵体内部用于输送高温油蒸汽的蒸汽导流管，及与蒸汽导流管连接、设置在泵体内部用于喷出高温油蒸汽的喷嘴，设置在泵体内、位于底部用于加热泵油的加热器和缠绕在泵体外壁中上部的第一冷却水管，其中，还包括缠绕在泵体外壁下部的第二冷却水管、及用来控制第二冷却水管打开或关闭的电磁水阀，所述电磁水阀设置于第二冷却水管上。由于采用了在泵体外壁下部缠绕冷却水管，加装控制冷却水管打开或关闭的电磁水阀，在加装可以控制打开或关闭底部水路的情况下，在扩散泵加热时不打开，不影响扩散泵的抽气效率，冷却时打开，提高了冷却效率，冷却时间由2.5小时降到40分钟。 | ||||||
| 84 | 高速扩散泵 | CN201621093182.2 | 2016-09-30 | CN206175341U | 2017-05-17 | 瞿建强; 瞿一涛; 黄仕强; 陆彬锋 |
| 本实用新型公开了一种高速扩散泵，包括泵体、冷却水壁和加热盘管，所述冷却水壁为环绕泵体设置的一个等厚环形筒或为两个等厚半环形筒组合而成，在冷却水壁上设有入水口和出水口；通过环绕设置高度不等的入水口，使得冷却水壁的冷却过程能兼顾不同高度而非先冷却下部；而采用两个半环形筒的设置则可以减少入水口的设置使得结构简单但仅用一半时间就能从高度上覆盖整个冷却的范围。本实用新型将原先的冷却水管改成冷却水壁，整个将泵体的外壁包裹覆盖，冷却效果好、冷却速率快，更助于蒸气中的轻馏分即未能完全冷凝而被前级泵抽除，对提高泵的极限真空有重要作用。 | ||||||
| 85 | 一种高真空扩散泵循环水套装置 | CN201621003847.6 | 2016-08-31 | CN206111697U | 2017-04-19 | 张永杰; 郑云萍; 王全喜; 孙虎林; 韩凌江; 程一民; 程一军 |
| 本实用新型涉及一种高真空扩散泵循环水套装置，包括扩散泵泵体，冷却水套、螺旋水道、进水口、出水口与排污阀，所述扩散泵泵体的外表面设置有冷却水套，在冷却水套上设置有进水口与出水口，进水口与出水口位于同一侧且进水口低于出水口，所述螺旋水道螺旋设置在所述扩散泵泵体与冷却水套之间，所述排污阀安装在冷却水套下方的最低处。采用该实用新型设计后，循环水流量增大，扩散泵外部可以得到整体冷却，设备冷却效果好，能保证较高的真空度，大大提高了产品质量，缩短了生产周期，降低了生产成本。 | ||||||
| 86 | 一种真空油扩散泵 | CN201520500722.3 | 2015-07-10 | CN204900362U | 2015-12-23 | 宋永宾 |
| 本实用新型提供了一种真空油扩散泵，包括进气口、泵体、油腔、出气口、泵体外壁上的冷却装置以及设置在泵体内的多个喷嘴、泵芯、导流管以及电磁加热装置，所述电磁加热装置设置在所述真空油扩散泵的底部，所述油腔设置在所述电磁加热装置上，所述泵芯与所述油腔连通，所述多个喷嘴设置在所述泵芯的外周，所述导流管设置在所述泵芯内并与所述喷嘴连通，所述进气口设置在所述泵体的顶部，所述出气口设置在所述泵体的尾部。本实用新型的真空油扩散泵寿命长、高效节能，能大大改善工作环境温度。 | ||||||
| 87 | 大口径高真空油扩散泵 | CN201520504889.7 | 2015-07-14 | CN204783872U | 2015-11-18 | 林森; 林峰; 周丹 |
| 本实用新型公开了一种扩散泵，特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵，它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置，泵体采用了凸腔结构，泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内，泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构，各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴，喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。本实用新型具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。 | ||||||
| 88 | 高真空油扩散泵油位观察窗 | CN201320846187.8 | 2013-12-20 | CN203627343U | 2014-06-04 | 李殿东; 王莉; 梁春 |
| 本实用新型涉及油扩散泵技术领域，公开了一种高真空油扩散泵油位观察窗。它包括法兰、紧固件、玻璃观察窗、法兰与接管焊接在一起组成的观察窗座，所述法兰与所述玻璃观察窗之间设有金属密封垫，在所述法兰与所述金属密封垫的接触端面上设有刃角。采用法兰与玻璃观察窗通过钎焊工艺封接为一体，以避免玻璃在安装和使用过程中由于受力不均而造成破损；本实用新型具有适宜于在高真空或超高真空环境中使用、耐高温可烘烤、不污染泵油、无需更换密封垫和高可靠密封、使用寿命长的特点，节约了生产和维修成本、增强了油扩散泵的真空性能。 | ||||||
| 89 | 一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置 | CN201220448022.0 | 2012-09-05 | CN202811555U | 2013-03-20 | 范多旺; 牛晓山; 范多进; 夏荣斌; 令晓明; 杨树本 |
| 本实用新型公开了一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置，包括KF拉伸弯头、KF密封组件、KF转接规管过渡装置、规管，KF转接规管装置通过KF密封组件连接在KF拉伸弯头上，KF拉伸弯头的另一端焊接在扩散泵前级口上，且弯头的方向向上。规管安装在KF转接规管装置上。采用这样的结构，本实用新型补充泵油方便简单，补充泵油时方便观察，同时兼有压力监测的作用，拆卸安装方便简单。 | ||||||
| 90 | 真空油扩散泵加热装置 | CN201220328603.0 | 2012-07-06 | CN202811554U | 2013-03-20 | 黄小卫; 方建东; 杨宁; 孙晓晓 |
| 本实用新型涉及一种真空油扩散泵加热装置，包括泵体，在泵体的下方设有电炉盘，在电炉盘内设有两段或者两段以上呈并联设置的电阻丝，每段电阻丝均受控于一个控制柜，电阻丝的一端通过导线连接在对应控制柜的正极，电阻丝的另一端通过导线连接在对应控制柜的负极；在泵体外设有温度数显仪，温度数显仪的测量探头伸入泵体内。本实用新型可精确控制扩散泵电炉加热功率，能够实现随着扩散泵油温度的变化而增大或者减少电炉加热功率，可以提高扩散泵的工作效率和真空度的稳定性且节能。同时，本实用新型可减少因电阻丝烧断而停止运作的概率。 | ||||||
| 91 | 一种用电磁炉作加热器的扩散泵 | CN201120019648.5 | 2011-01-21 | CN201972973U | 2011-09-14 | 马玉田; 张颖; 吕广宏; 王波 |
| 本实用新型提供一种用电磁炉作加热器的扩散泵，主要包括已移除加热炉的扩散泵、电磁炉、固定板、炉罩、炉底板和平面支撑架，电磁炉设置在平面支撑架上，电磁炉及平面支撑架均位于炉罩中；炉罩的下表面通过螺钉与炉底板固定连接，炉罩的上表面通过螺钉与固定板连接；所述的炉底板的中心具有螺孔，穿过该螺孔将升降螺杆安装在炉底板上，升降螺杆的顶部连接在平面支撑架的底部；固定板的中心具有通孔，扩散泵的泵底套在固定板的通孔中。该用电磁炉做加热器的扩热泵具有升温快、热效率高、消耗电能低、使用寿命长等优点，且该扩散泵的启动和关闭工作时间短，安全性高，功率可控制调节，能够稳定扩散泵抽气速度，提高扩散泵的工作效率。 | ||||||
| 92 | 一种油扩散真空泵 | CN200620079384.1 | 2006-07-14 | CN2918822Y | 2007-07-04 | 闫天佑 |
| 本实用新型公开的油扩散真空泵，包括泵体、泵体内设置的油室、加热器和泵芯，油室通过各级导油管与各级喷嘴连接，泵芯设置于油室油面的上部，还包括副油室，副油室通过连通器与油室连接，泵体的内壁设置有导入副油室的导流面。本实用新型采用双油室即主副油室分离及高位泵芯的结构，使扩散泵的额定油量减少，启动速度大幅度加快，整备周期加长，特别是加热器功率仅为同抽速常规油扩散泵的六分之一。 | ||||||
| 93 | 오일확산 펌프 및 그에 사용하는 유증기 발생기 | KR1020167017673 | 2014-06-24 | KR101861031B1 | 2018-05-24 | 사이쇼신이치로 |
| 작동유가열원으로서히터선을사용하였을때의문제를해소할수 있는유증기발생기를구비한오일확산펌프를제공한다. 케이싱(51) 내에유증기발생기(70)가배치되어이 유증기발생기(70)를작동시킴으로써작동유(8)를증기화하여유증기로하고, 이유증기를제트(53, 53a)로부터분사하여흡입기체를배기동작하는진공펌프이다. 유증기발생기(70)는입설방향으로연재되는통형상의케이스(71)(피가열체), 절연재료(73)를매개로통부재(71)의주위에감긴유도코일(75), 및유도코일(75)에교류를인가하는급전수단을구비한다. 케이스(71)와유도코일(75)은케이싱(51) 내에저류되는작동유(8)에침지되는배치로케이싱에삽입된다. 그리고, 급전수단을작동시켜유도코일(75)에교류를인가함으로써케이스(71) 자체를가열시켜작동유(8)를기화시키도록구성하였다. | ||||||
| 94 | 오일확산 펌프 및 진공 성막장치 | KR1020157013746 | 2013-03-14 | KR1020150132076A | 2015-11-25 | 사이쇼신이치로 |
| 본발명의과제는작동유가열원으로서히터선을사용하였을때의문제를해소할수 있는유증기발생기를구비한오일확산펌프를제공하는것이다. 상기과제를해결하기위해, 본발명의오일확산펌프는케이싱(51) 내에유증기발생기(70)가배치되고, 그유증기발생기(70)를작동시킴으로써작동유(8)를증기화하여유증기로하며, 그유증기를제트(53,53a)로부터분사하여흡입기체를배기동작하는진공펌프에있어서, 상기유증기발생기(70)는입설(立設)방향으로연재(延在)되는피가열재료로이루어지는통부재(71)의하단을폐색시킨내부에오일을저류하기위한용기(71,72), 절연재료(73)를매개로통부재(71)(특히케이스내벽(71b))의대기측 주위에감긴유도코일(75), 및유도코일(75)에수십㎐ 내지수백㎐의저주파교류를인가하는급전수단을구비하여, 상기급전수단을작동시켜코일(75)에저주파교류를인가함으로써통부재(71) 자체를가열시켜용기내의오일을증기화시키도록구성한것을특징으로한다. | ||||||
| 95 | 온도 센서 및 표시부를 갖는 확산 펌프 및 그 운용방법 | KR1020050071407 | 2005-08-04 | KR1020070016600A | 2007-02-08 | 정동진 |
| 확산 펌프 및 그 운용 방법을 제공한다. 본 발명의 확산 펌프는 바디의 하부의 오일 저장부에 위치하는 오일을 히팅시킬 수 있는 펌프 히터와, 상기 바디에 부착되어 상기 바디의 온도를 측정하고 표시할 수 있는 온도 센서 및 표시부와, 상기 온도 센서 및 표시부와 연결되고, 상기 온도 센서 및 표시부를 통하여 상기 펌프 히터에 전원을 공급하거나 차단하여 제어할 수 있는 전원 공급 및 제어부를 포함한다. 이에 따라, 본 발명은 확산 펌프의 온도를 정확히 측정하고, 확산 펌프의 온도가 기준값 이상일 경우 전원 공급 및 제어부로 확산 펌프의 가동을 중단시킬 수 있다. | ||||||
| 96 | 냉매와 압축기를 사용한 유확산펌프 | KR1019990017680 | 1999-05-17 | KR1019990064870A | 1999-08-05 | 김도윤 |
| 본발명은고진공(高眞空) 유확산(油擴散)펌프의냉각에관한것이다. 종래의유확산펌프(oil diffusion pump)는펌프용기의외벽에부착된냉각관(冷却管)을통하여냉각수를흐르게함으로서펌프의표면을냉각시켜왔다. 그러나냉각수를값싸게무한정얻을수 없는경우에는회수된냉각수를냉각시켜순환시킴으로서, 장기간사용할경우에냉각수배관의막힘등 여러가지문제점이발생됨으로서유지및 보수에시간과노력이투입되고양산(量産)라인의 경우생산성저하를감수하여야만하였다. 그러나본 발명에서는냉매와압축기(compressor) 응축기(condenser)등냉동기의요소들을사용하고유확산펌프의냉각관을냉동기의증발기와같은기능을하도록함으로서냉각관을냉각시키고이로서펌프의표면을냉각시킴으로서근본적으로물을사용하지않도록하여냉각수배관을없애고이로인하여이동을용이하게하고유지보수의횟수를현저히감소시킨것에특징이있다. | ||||||
| 97 | 확산 펌프 | KR2019940032127 | 1994-11-30 | KR2019960018030U | 1996-06-19 | 박수용 |
| 본고안은고진공을수행하는데사용되는확산펌프(Diffusion Pump)에관한것으로서, 더자세하게는이의외부에설치되어확산펌프내부의기화된오일분자를액화시키는냉각파이프를보호할수 있는확산펌프에관한것이다. 제1도와같이구성된종래의확산펌프(1)에있어서, 특히본체(10)외부에이의온도를측정할수있는그 어떤수단도설치되어있지않기때문에이의외부가적정온도이상으로과열될경우에는냉각파이프(40)의용접부분이본체(10)로부터탈락됨으로써, 확산펌프(1)의냉각효과가극히저하되는문제점이있었다. 따라서, 본고안의목적은이러한종래의문제점을감안하여안출한것으로서, 전술한확산펌프의본체온도를외부에서측정할수 있도록한 다음, 상기확산펌프가적정온도이상으로과열될때히터부를제어함으로써, 상기확산펌프의냉각효율을극대화시킨확산펌프를제공함에있다. 이와같은목적을달성하기위하여본 고안은제2도와같이확산펌프(1)를구성함에있어서, 상기한확산펌프(1)의본체(10)외부에이의온도를측정할수 있는온도측정수단(50)을설치하여서된 것이다. | ||||||
| 98 | 油扩散真空泵四级全不锈钢塔芯 | CN202322440070.6 | 2023-09-08 | CN220956228U | 2024-05-14 | 钱进 |
| 该油扩散真空泵四级全不锈钢塔芯，包括塔芯底座，塔芯底座上四等分处安装有活动定位结构，塔芯底座上方依次安装有第一塔芯层，第一塔芯层顶部安装有扩张油口，扩张油口顶部设置有第二塔芯层，第二塔芯层顶端连接有增压腔，通过整体四层全不锈钢的塔芯设计能够提高塔芯使用寿命，且通过塔型结构的设计能够经过扩张油口、增压腔和倾斜出口的作用下增加油扩散效率，提升真空泵的工作效率，且由于塔型的设计能够防止塔芯浸泡在扩散油中，通过活动定位结构与密封钉的设置能够进行快速安装，增加塔芯使用的稳定性，减少了油的氧化效果加大扩散泵中油的需求量，整体油扩散真空泵的整备周期增加且提升使用寿命。 | ||||||
| 99 | 一种曲形散热面的扩散泵壁 | CN202322496529.4 | 2023-09-14 | CN220726705U | 2024-04-05 | 林峰; 林森; 邵莉; 张纤依 |
| 该一种曲形散热面的扩散泵壁，包括泵壁本体，泵壁本体上螺旋开设有若干级凹弧散热部，每两级凹弧散热部之间通过散热斜壁连接，凹弧散热部上螺旋安装有冷却盘管，本实用新型通过凹弧散热部上开设的凹弧散热面与冷却盘管相配合，增大冷却盘管与泵壁本体的接触面积，配合过渡连接的散热斜壁，使得整个扩散泵壁的散热导热效率得到提升，进而提升了扩散泵的抽速和工作效率。 | ||||||
| 100 | 一种新型油扩散泵用水冷帽 | CN202321631033.7 | 2023-06-26 | CN220151629U | 2023-12-08 | 杨云燕; 池也水; 郭向宏; 谢雨彤 |
| 本实用新型涉及油扩散泵技术领域，尤其涉及一种新型油扩散泵用水冷帽。其技术方案包括：对接座、防脱落机构和防形变机构，防脱落机构包括解锁杆，解锁杆底端固定安装有套杆，套杆外侧套接安装有抵触弹簧，抵触弹簧底端固定安装有十字插接件。本实用新型通过抵触弹簧的高弹性力可带动伸缩杆延伸出套杆内部，通过移动的伸缩杆可对十字插接件施加压持力，使得油扩散泵对接端受到压持力与螺纹槽紧密贴合，实现了防止对接座脱落的功能，避免了油扩散泵进行运行时产生的振动力容易导致对接座脱离安装位置，保证了对接座安装位置的稳固效果，不需要操作人员频繁的对接座安装稳固性进行检修作业，减少了检修人员的工作量。 | ||||||
QQ群二维码
意见反馈
意见反馈