| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 141 | 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관 | KR1020160095941 | 2016-07-28 | KR101760003B1 | 2017-07-20 | 임태환 |
| 진공증착장치용오일확산펌프의배기관에관한발명이다. 본발명의진공증착장치용오일확산펌프의배기관은, 오일이유동되는배기관바디; 및상기배기관바디내에마련되며, 상기배기관바디내에서유동되는오일을응축시키는냉각관을포함한다. | ||||||
| 142 | 오일확산 펌프 및 그에 사용하는 유증기 발생기 | KR1020167017673 | 2014-06-24 | KR1020160102206A | 2016-08-29 | 사이쇼신이치로 |
| 작동유가열원으로서히터선을사용하였을때의문제를해소할수 있는유증기발생기를구비한오일확산펌프를제공한다. 케이싱(51) 내에유증기발생기(70)가배치되어이 유증기발생기(70)를작동시킴으로써작동유(8)를증기화하여유증기로하고, 이유증기를제트(53, 53a)로부터분사하여흡입기체를배기동작하는진공펌프이다. 유증기발생기(70)는입설방향으로연재되는통형상의케이스(71)(피가열체), 절연재료(73)를매개로통부재(71)의주위에감긴유도코일(75), 및유도코일(75)에교류를인가하는급전수단을구비한다. 케이스(71)와유도코일(75)은케이싱(51) 내에저류되는작동유(8)에침지되는배치로케이싱에삽입된다. 그리고, 급전수단을작동시켜유도코일(75)에교류를인가함으로써케이스(71) 자체를가열시켜작동유(8)를기화시키도록구성하였다. | ||||||
| 143 | 진공 및 급수 조절이 가능한 에너지 절감형 펌프 | KR1020120045063 | 2012-04-30 | KR101229847B1 | 2013-02-05 | 임주혁 |
| PURPOSE: An energy saving pump capable of controlling a vacuum and a water supply is provided to supply water in a pump body unit to a destination without additional energy or with minimum energy using vapor energy generated in a vapor generator. CONSTITUTION: An energy saving pump capable of controlling a vacuum and a water supply comprises a vapor transferring member(200), a water supply member(400), and a vapor chamber(600). The pump body unit receives vapor from a vapor generator. The vapor transferring member opens/closes a pipeline between the pump body unit and the vapor generator. The water supply member opens/closes a pipeline between the pump body unit and a destination. The vapor chamber is installed between the pump body unit and the vapor generator. Water is supplied to the destination using high density vapor penetrated through the vapor chamber and by opening the vapor transferring member and the water supply member. [Reference numerals] (200) Vapor transferring member; (300) Suction member; (400) Water supply member; (500) Atmosphere forming member; (600) Vapor chamber; (700) Small-capacity pump; (800) Constant-temperature member; (AA) Water level sensor; (BB,210) Temperature sensor; (CC) Pressure sensor; (DD) Vapor energy determining module; (EE) Pump inside determining module; (FF) Valve opening control module; (GG) Atmosphere forming module; (HH) Small-capacity pump driving module; (II) Constant temperature module | ||||||
| 144 | 퍼플루오로폴리에테르 오일에 의해 작동되는 인공 진공펌프에서의 역행 저감법 | KR1019930001072 | 1993-01-28 | KR100271045B1 | 2000-11-01 | 로셀라실바니; 발레리오카르세티; 카시미로파체; 판트마나판스리니바산 |
| 본 발명은 분자량 1,500이하의 분획 0.1 중량 % 이하 및 분자량 1,800이하의 분획 1.3 중량 %이하를 함유하는 퍼플루오로폴리에테르를 사용함을 특징으로하는 퍼플루오로폴리에테르를 사용하는 인공진공펌프의 작동중 퍼플루오로폴리에테르의 가장휘발성인 분획의 역행 저감법에 관한 것이다. | ||||||
| 145 | 디퓨젼 펌프 | KR1019960080171 | 1996-12-31 | KR1019980060804A | 1998-10-07 | 문성주 |
| 디퓨젼 펌프를 개시한다. 이 디퓨젼 펌프는 오일이 담긴 본체와,이 본체의 내부에 설치되는 히이터와,이 히이터의 상부의 본체 내부에 설치되는 노즐과 상기 본체의 외주면에 설치되는 제1열전달부와 상기 제1열전달부의 일측과 접촉되는 냉각부를 갖는 응축수단을 포함하여 된 것을 특징으로 한다. 이는 본체의 냉각효율을 향상시킬 수 있다. | ||||||
| 146 | 디퓨전펌프(Diffusion Pump) 구조 | KR2019930025589 | 1993-11-30 | KR200112464Y1 | 1998-04-09 | 이민식 |
| 본 고안에 고진공을 수행하는데 사용되는 디퓨전펌프(Diffusion Pump)에 관한 것으로서, 더 자세하게는 디퓨전펌프에서 발생한 기체분자를 일차진공장치인 로터리펌프로 배출하는 배기관의 구조를 개선한 것이다. 종래의 디퓨전펌프는 본체 일측에 마련된 배기관의 구조가 본체로부터 직각으로 형성되어 있기 때문에 로터리펌프로 배출되는 기체분자가 배기관의 꺽임부에 부딪히면서 발생한 와류저항이 증가하여 초기진공이 잘 조성되지 못하는 경우가 빈번하였을 뿐만 아니라 일직선의 지지봉에 반원형의 방지편을 상호 대칭되게 다단으로 형성하여서 된 역류방지구를 배기관내에 설치하여 기화된 오일분자가 로터리펌프로 유입되는 것을 방지하였으나, 전술한 배기관과 역류방지구의 방지편 틈새로 기화된 오일분자가 기체분자와 함께 유출되어 본체내의 오일손실을 초래하는 등의 문제점이 있었다. 따라서 본 고안의 목적은 종래의 이러한 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 본체내에서 발생한 기체분자가 배기관 내벽에서 와류가 발생하지 않도록 하여 초기진공이 원활히 이루어지도록 함은 물론이고, 배기관내에 장착되는 역류방지구의 구조를 변경하여 기화된 오일분자가 배기관을 통해 유출되지 않도록 한 디퓨전펌프 구조를 제공함에 있으며, 이러한 목적을 달성하기 위한 본 고안은 본체 외주의 적소에 배기관을 형성설치하되, 전술한 배기관이 소정곡률을 이루도록 형성설치하고, 전술한 배기관과 동일한 곡률을 가지는 지지봉에 반원형의 제1방지편을 상호 대칭되게 다단으로 형성한 후 이 지지봉의 상단부에 다수의 통공부가 천공된 환상의 제2방지편을 형성하여서 된 역류방지구를 배기관내에 설치한 것이다. | ||||||
| 147 | 확산 펌프 | KR2019910018028 | 1991-10-26 | KR2019940003865Y1 | 1994-06-15 | 김영선 |
| 내용 없음. | ||||||
| 148 | 역류방지용 트랩을 갖춘 디퓨젼펌프 | KR2019910021491 | 1991-12-05 | KR2019930014728U | 1993-07-27 | 박승일; 허태국 |
| 149 | 확산 펌프 | KR2019910018028 | 1991-10-26 | KR2019930009074U | 1993-05-25 | 김영선 |
| 150 | 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플 | KR1020160095934 | 2016-07-28 | KR101738386B1 | 2017-05-22 | 임태환 |
| 진공증착장치용오일확산펌프의배플에관한발명이다. 본발명의진공증착장치용오일확산펌프의배플은, 전면플레이트; 상기전면플레이트와이격배치되는후면플레이트; 및상기전면플레이트영역에배치되되분자가배출될수 없도록갭(gap)이없는구조로적용되는다수의갭 차단용날개를포함한다. | ||||||
| 151 | 디퓨전펌프(Diffusion Pump) 구조 | KR2019930025589 | 1993-11-30 | KR2019950014675U | 1995-06-17 | 이민식 |
| 152 | 역류방지용 트랩을 갖춘 디퓨젼펌프 | KR2019910021491 | 1991-12-05 | KR200086194Y1 | 1995-02-27 | 박승일; 허태국 |
| 153 | 역류방지용 트랩을 갖춘 디퓨젼펌프 | KR2019910021491 | 1991-12-05 | KR2019940007748Y1 | 1994-10-24 | 박승일; 허태국 |
| 내용 없음. | ||||||
| 154 | 확산펌프 | KR2019920004361 | 1992-03-18 | KR2019940007525Y1 | 1994-10-22 | 김영선 |
| 내용 없음. | ||||||
| 155 | 확산 펌프의 역류 방지 장치 | KR2019920027399 | 1992-12-30 | KR2019940016366U | 1994-07-22 | 전호준 |
| 156 | 확산 펌프 | KR2019920026499 | 1992-12-24 | KR2019940016306U | 1994-07-22 | 문영만 |
| 157 | 확산펌프 | KR2019920004361 | 1992-03-18 | KR2019930021907U | 1993-10-16 | 김영선 |
| 158 | 퍼플루오로폴리에테르 오일에 의해 작동되는 인공 진공펌프에서의 역행 저감법 | KR1019930001072 | 1993-01-28 | KR1019930016673A | 1993-08-26 | 로셀라실바니; 발레리오카르세티; 카시미로파체; 판트마나판스리니바산 |
| 본 발명은 분자량 1,500 이하의 분획 0.1중량% 이하 및 분자량 1,800 이하의 분획 1.3중량% 이하를 함유하는 피플루오로폴리에테르를 사용함을 특징으로 하는 퍼플루오로폴리에테르를 사용하는 인공진공펌프의 작동중 피플루오로폴리에테르의 가장 휘발성인 분획의 역행 저감법에 관한 것이다. | ||||||
| 159 | 一种扩散泵观察窗和扩散泵 | CN202321776352.7 | 2023-07-07 | CN220581387U | 2024-03-12 | 臧世伟; 刘文卿 |
| 本实用新型提供了一种扩散泵观察窗和扩散泵，所述扩散泵观察窗包括位于同一竖直平面上的观察窗座、油镜和压盖，所述油镜设于所述观察窗座和所述压盖之间；所述扩散泵观察窗还包括能将所述观察窗座和所述压盖固定夹紧的夹紧机构，解决了现有技术中存在的扩散泵观察窗和压盖之间固定不紧，容易出现漏油的问题。 | ||||||
| 160 | 扩散泵密闭组件 | CN202322061418.0 | 2023-07-31 | CN220366081U | 2024-01-19 | 苗润发; 苗伟伟 |
| 本实用新型公开了扩散泵密闭组件，涉及扩散泵技术领域。包括扩散泵注油管道，所述扩散泵注油管道通过密封法兰与扩散泵相连接，扩散泵注油管道内部设置有阀头堵件，扩散泵注油管道末端安装有用于与阀头堵件配合实现扩散泵注油管道密封的密封堵件。本实用新型通过阀头堵件、弹簧和密封堵件等的设置，该装置作为扩散泵密闭组件的注油机构，在待工状态下，以多层密封包括阀头堵件与内凸环之间的密封和实心堵块与连接管头之间的密封保证扩散泵内部的中空状态，在进行注油动作时，拧下连接管头，让泵油经过阀头堵件的注油孔输送至扩散泵内部，并且在这个过程中，会有一定量的泵油填充至连接管头与阀头堵件之间，实现液体密封。 | ||||||
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