| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 一种真空自耗炉冷却节能装置 | CN201210196713.0 | 2012-06-14 | CN103486090A | 2014-01-01 | 胡乐煊 |
| 本发明涉及钛合金铸锭冶炼领域，尤其涉及一种真空自耗炉冷却节能装置，包括一级罗茨泵、二级罗茨泵、滑阀泵、扩散泵和旋片泵，所述一级罗茨泵连接冶炼炉室，二级罗茨泵连接一级罗茨泵，滑阀泵连接二级罗茨泵；所述扩散泵一端连接冶炼炉室，另一端连接二级罗茨泵和旋片泵。本发明的作用是：在对扩散泵进行冷却的时候，利用旋片泵辅助滑阀泵来维持真空状态，而旋片泵的功率远小于滑阀泵，所以在达到同样冷却效果和在同样冷却时间的情况下，本发明所耗费的电量得到极大的节省。 | ||||||
| 2 | 扩散泵 | CN201580035209.4 | 2015-06-10 | CN106662123B | 2019-11-05 | 汉斯-沃纳·施魏策尔 |
| 一种扩散泵，特别是高能效扩散泵，包括外罩(10)和连接到所述外罩(10)的沸腾室(14)。在所述沸腾室(14)的区域中，布置加热元件(16)。进一步，排气口(20，22)布置在外罩(10)中并且连接到所述沸腾室(14)。在所述排气口(20，22)的区域中，冷凝器(24)布置在所述外罩(10)的内表面处，其中在所述冷凝器(24)的区域中，提供用于对冷凝器(24)进行冷却的冷却系统(26)。所述沸腾室(14)通过隔离器(52)与所述冷凝器(24)热隔离。替代地或附加地，所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)至少部分地是水冷却系统。替代地或附加地，所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)经由热泵(40)连接到所述加热元件(16)，使得从所述冷凝器(24)的热传送至加热元件(16)。替代地或附加地，提供温度测量装置，其测量冷凝器温度，其中所述温度测量装置(34)连接到冷凝器冷却系统调节器，以用于对所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)进行调节。替代地或附加地，加热元件调节器已经连接到所述加热元件(16)，用于针对占主导的泵浦情形调整所述加热元件(16)的所述热输出。 | ||||||
| 3 | 扩散泵 | CN201580035209.4 | 2015-06-10 | CN106662123A | 2017-05-10 | 汉斯-沃纳·施魏策尔 |
| 一种扩散泵，特别是高能效扩散泵，包括外罩(10)和连接到所述外罩(10)的沸腾室(14)。在所述沸腾室(14)的区域中，布置加热元件(16)。进一步，排气口(20，22)布置在外罩(10)中并且连接到所述沸腾室(14)。在所述排气口(20，22)的区域中，冷凝器(24)布置在所述外罩(10)的内表面处，其中在所述冷凝器(24)的区域中，提供用于对冷凝器(24)进行冷却的冷却系统(26)。所述沸腾室(14)通过隔离器(52)与所述冷凝器(24)热隔离。替代地或附加地，所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)至少部分地是水冷却系统。替代地或附加地，所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)经由热泵(40)连接到所述加热元件(16)，使得从所述冷凝器(24)的热传送至加热元件(16)。替代地或附加地，提供温度测量装置，其测量冷凝器温度，其中所述温度测量装置(34)连接到冷凝器冷却系统调节器，以用于对所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)进行调节。替代地或附加地，加热元件调节器已经连接到所述加热元件(16)，用于针对占主导的泵浦情形调整所述加热元件(16)的所述热输出。 | ||||||
| 4 | 一种新型的快速抽空方法 | CN87102091 | 1987-09-29 | CN1032382A | 1989-04-12 | 李季霞 |
| 一种快速抽真空的方法，采用泵、真空容器和多通阀，先将多个真空容器抽成按顺序真空度依次递增的真空等级，然后用多通阀连接被抽件和系列真空容器，当多通阀依次接通真空容器时，根据平衡原理，被抽件能在极短时间内达到所要求的真空度。本发明还有流程简单，适用于流水生产线上将产品迅速抽空或进行负压检漏。 | ||||||
| 5 | 物理陷阱单元的高真空抽吸组件 | CN202221850126.4 | 2022-07-19 | CN217735698U | 2022-11-04 | 曹璟镐; 张斌; 何文平 |
| 本实用新型涉及提纯技术领域，公开了物理陷阱单元的高真空抽吸组件，它包括箱体，箱体旁安装有真空泵组，真空泵组包括扩散泵、旋片泵以及三通管，真空管的第一端与扩散泵连接，真空管的第二端与旋片泵连接，真空管的第三端插入箱体内，出气口与扩散泵连接，真空管上还安装有A气控阀和B气控阀，真空管上设置有支管，支管也插入箱体内，支管上安装有C气控阀。本实用新型的有益效果是：结构设计合理，在近真空状态下，最小化抽吸气流对材料的扰动，在低真空、高真空状态下，最大化的拦截有害颗粒和溶剂，减少它们对分子泵、真空计、机械泵的有害影响。 | ||||||
| 6 | 一种真空炉扩散泵用挡油圈 | CN201721661339.1 | 2017-12-04 | CN207687074U | 2018-08-03 | 叶祥 |
| 本实用新型公开了一种真空炉扩散泵用挡油圈，包括内挡油圈、外挡油圈和阀盖，阀盖设置在装置上方且正对下方的扩散泵，扩散泵表面大小与阀盖相同且泵口设置有密封法兰，密封法兰环绕在泵口处且接触部位经过密封处理，内挡油圈焊接在密封法兰外侧，内挡油圈顶部开口大于阀盖，外挡油圈焊接固定在内挡油圈外侧，通过创新设置的内挡油圈，达到了阻止油污的效果，实现了阻隔大部分油滴，保证真空炉的工作性能的功能，解决了油滴溅落的问题；通过创新设置的外挡油圈，达到了避免工件污染的效果，实现了保护工件的功能，在主阀接管端焊接一圈外挡油圈，比内圈挡油圈要高，阻挡溅射到内圈挡油圈外的油滴，解决了污染工件的问题。 | ||||||
| 7 | 一种真空镀膜机真空系统布局新结构 | CN202222283370.3 | 2022-08-29 | CN217950807U | 2022-12-02 | 王松 |
| 本实用新型涉及真空系统技术领域，具体为一种真空镀膜机真空系统布局新结构，包括矩形真空仓，所述矩形真空仓的底部安装有高真空扩散泵，所述矩形真空仓的一侧连接有管道，所述管道的一端连接有一号气动阀门，所述一号气动阀门的一侧连接有一级罗茨泵，所述一级罗茨泵的一侧连接有二号气动阀门，所述二号气动阀门的一侧连接有二级罗茨泵。该真空镀膜机真空系统布局新结构，与现有技术相比可以通过采用一级罗茨泵和二级罗茨泵的串联来替代增压泵，从而能够在降低能耗的情况下，提高功率，同时在一级罗茨泵和二级罗茨泵的连接管道上，采取采用圆弯头替代直角转弯，减少阻力，节能减排，从而能够在设计上更加紧凑、合理。 | ||||||
| 8 | 一种使用吸气剂泵的超高真空泵组结构 | CN202120749646.5 | 2021-04-13 | CN216381901U | 2022-04-26 | 王浏杰; 薛函迎; 柴云川; 郭卫斌 |
| 本实用新型涉及一种使用吸气剂泵的超高真空泵组结构，该结构包括机械泵、前级高真空泵、吸气剂泵、真空管道、后级分子泵。机械泵、前级高真空泵、后级分子泵依次串联，吸气剂泵安装进前级高真空泵和后级分子泵之间的真空管道中，后级分子泵进气口连接真空腔体，机械泵出气口通向外部环境。本实用新型的优点：1）解决多级超高真空泵组后级分子泵对氢气压缩比偏低的问题；2）可以进一步提高超高真空系统的真空度，提高抽真空效率，结构简单便于实施。 | ||||||
| 9 | 一种真空热处理炉设备上扩散泵的维持泵机组 | CN201820095753.9 | 2018-01-21 | CN207830240U | 2018-09-07 | 刘洋 |
| 本实用新型公开了一种真空热处理设备扩散泵维持泵真空机组，真空机组包括扩散泵、维持泵、维持阀、真空阀门、前级泵组，所述扩散泵出气口通过三通管路件连接系统阀抽气口和维持阀抽气口；所述维持阀出气口通过真空管道与维持泵抽气口连接；所述前级泵组抽气口设置有三通真空管路，分别与前级泵组抽气口、预抽阀出气口和系统阀出气口连接；所述扩散泵、维持泵、维持阀、真空阀门、前级泵组连接工控系统。本实用新型设计合理，设备运行的成本降低。这样在不开启前级泵组的情况下，可以单独对扩散泵进行抽真空，大大降低了能耗，提高了生产效率，实用性强，适于推广。 | ||||||
| 10 | 一种低返油扩散泵 | CN202321800613.4 | 2023-07-10 | CN220505451U | 2024-02-20 | 臧世伟; 刘文卿 |
| 本实用新型公开了一种低返油扩散泵，包括泵体，所述泵体的顶部设置有与真空设备连接的泵口，所述泵体在所述泵口的下方设置有若干的挡油板，用于阻挡流向所述泵口的油蒸汽，所述挡油板上和/或各个所述挡油板间设置有用于所述泵口进气的通道。本实用新型通过在泵体的泵口处设置挡油板和冷却管，上升的油蒸汽遇到挡油板被挡住，且会在挡油板和冷却管上冷凝汇聚，接着从挡油板上落下，冷却管增强了泵体内的冷却效果，减少泵口返油情况，减少返油进入到对真空镀膜设备中造成污染，保证镀膜质量，并且节省用油成本。 | ||||||
| 11 | 一种内置加热装置的真空油扩散泵 | CN202023315859.1 | 2020-12-31 | CN214221452U | 2021-09-17 | 王伟平; 王金泉; 王菊姿 |
| 本实用新型公开了一种内置加热装置的真空油扩散泵，涉及油扩散泵技术领域，为解决现有技术中普通油扩散泵在关机阶段，油蒸汽容易向上流动的问题。所述泵体的内部设置有冷凝帽，所述冷凝帽的两侧均安装有冷凝管，所述冷凝帽与冷凝管固定连接，所述冷凝管与泵体固定连接，所述冷凝帽与泵体通过冷凝管固定连接，所述冷凝帽的上方安装有外保护罩，所述外保护罩与冷凝帽通过紧固螺丝固定连接，所述外保护罩的内部安装有电机，所述电机与外保护罩通过紧固螺丝固定连接，所述泵体的内部设置有吸风扇，所述吸风扇与电机通过连轴固定连接，所述泵体的下方安装有保温罩，所述保温罩与泵体通过紧固螺丝固定连接，所述泵体的内部安装有油锅。 | ||||||
| 12 | 风冷型扩散泵真空机组 | CN201320661039.9 | 2013-10-24 | CN203532351U | 2014-04-09 | 方辉; 邾根祥; 江晓平 |
| 本实用新型公开了一种风冷型扩散泵真空机组，包括扩散泵组及控制系统；所述扩散泵组包括风冷型扩散泵，所述风冷型扩散泵连接有前级泵，所述风冷型扩散泵与前级泵之间的管路上安装有高真空阀门组，所述风冷型扩散泵、前级泵、高真空阀门组均与控制系统信号连接。本实用新型采用风冷型扩散泵的设计，相比水冷型节约了生产及使用成本，并且具有操作方便、能够减少设备占用体积的优势。 | ||||||
| 13 | 一种真空自耗炉冷却节能装置 | CN201220282533.X | 2012-06-14 | CN202746304U | 2013-02-20 | 胡乐煊 |
| 本实用新型涉及钛合金铸锭冶炼领域，尤其涉及一种真空自耗炉冷却节能装置，包括一级罗茨泵、二级罗茨泵、滑阀泵、扩散泵和旋片泵，所述一级罗茨泵连接冶炼炉室，二级罗茨泵连接一级罗茨泵，滑阀泵连接二级罗茨泵；所述扩散泵一端连接冶炼炉室，另一端连接二级罗茨泵和旋片泵。本实用新型的作用是：在对扩散泵进行冷却的时候，利用旋片泵辅助滑阀泵来维持真空状态，而旋片泵的功率远小于滑阀泵，所以在达到同样冷却效果和在同样冷却时间的情况下，本实用新型所耗费的电量得到极大的节省。 | ||||||
| 14 | 小型风冷油扩散泵 | CN200920110301.4 | 2009-07-24 | CN201461560U | 2010-05-12 | 杨静; 赵阳; 李春玉 |
| 本实用新型涉及小型风冷油扩散泵。该小型风冷油扩散泵包括风扇、位于油扩散泵筒身的散热片，以及前级挡油器，前级挡油器一端与油扩散泵的排气口连接，另一端与油扩散泵的前级泵连接。本实用新型的风冷油扩散泵体积小、无需水冷，使用方便，特别适于缺水或没有水源的环境，对保护环境，节约水资源起到了积极作用，且通过设置前级挡油器实现了阻止油扩散泵中油的流失和阻挡前级泵的返油。 | ||||||
| 15 | DIFFUSIONSPUMPE | EP15729420.8 | 2015-06-10 | EP3161326B1 | 2022-08-03 | SCHWEIZER, Hans-Werner |
| 16 | DIFFUSIONSPUMPE | PCT/EP2015/062987 | 2015-06-10 | WO2016000924A1 | 2016-01-07 | SCHWEIZER, Hans-Werner |
Diffusionspumpe, insbesondere energieeffiziente Diffusionspumpe, mit einem Gehäuse (10) und einem mit dem Gehäuse (10) verbundenen Siederaum (14). In dem Bereich des Siederaums (14) ist ein Heizelement (16) angeordnet. Weiter ist im Gehäuse (10) eine Düse (20, 22) angeordnet, welche mit dem Siederaum (14) verbunden ist. Im Bereich der Düse (20, 22) ist an einer Innenseite des Gehäuses (10) ein Kondensator (24) angeordnet, wobei im Bereich des Kondensators (24) eine Kühlung (26) zur Kühlung des Kondensators (24) vorgesehen ist. Dabei ist der Siederaum (14) thermisch vom Kondensator (24) durch einen Isolator (52) getrennt. Alternativ oder zusätzlich handelt es sich bei der Kühlung (26) des Kondensators (24) zumindest teilweise um eine Wasserkühlung. Alternativ oder zusätzlich ist die Kühlung (26) des Kondensators (24) über eine Wärmepumpe (40) mit dem Heizelement (16) verbunden, sodass Wärme vom Kondensator (24) zum Heizelement (16) gefördert wird. Alternativ oder zusätzlich ist eine Temperaturerfassung (34) vorgesehen, die die Kondensatortemperatur erfasst, wobei die Temperaturerfassung (34) mit einer Kondensatorkühlungsregelung zur Regelung der Kühlung (26) des Kondensators (24) verbunden ist. Alternativ oder zusätzlich ist mit dem Heizelement (16) eine Heizelementregelung verbunden zur Anpassung der Heizleistung des Heizelements (16) an die vorliegende Pumpsituation. |
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| 17 | High vacuum processing system having improved recycle draw-down capability under high humidity ambient atmospheric conditions | US147205 | 1980-05-06 | US4361418A | 1982-11-30 | Andrew Tscheppe |
| Water contamination of the oil in vacuum pumps of high vacuum systems is a major problem in maintaining efficient operation of those pumps. The problem is especially acute where a system includes an evacuated work chamber that must be repeatedly opened for loading products into and unloading them from that chamber where the ambient atmosphere has high humidity. The invention involves utilizing first stage mechanical vacuum pump means in conjunction with final stage high vacuum diffusion pump means, and a cryocoil with fast defrost capability located in the vacuum duct leading from the work chamber to the pumps, in combination with an auxiliary low capacity vacuum pump and a flip/flop valving arrangement which connects the discharge side of the diffusion pump selectively to the first stage mechanical pump or to the auxiliary pump. The flip/flop valving arrangement allows the auxiliary pump to maintain moderate vacuum condition in the diffusion pump during idling periods and also serves as a continuous scavenger of water vapor present in the system, particularly during cycles of defrosting the cryocoil. The invention insures that any water vapor in the system not exhausted by the main pumps to ambient atmosphere or trapped as frost by the cryocoil, is prevented from accumulating in and emulsifying with the oil of the main vacuum pumps. By means of the invention system, any residual water is collected in the sump of the auxiliary pump and is prevented through the provision of the flip/flop valving arrangement from revaporizing and backstreaming through the main pumps during their pump-down cycle. Periodic replacement of the low cost auxiliary pump oil removes the residual water trapped in that pump. | ||||||
| 18 | Pumping unit for television tubes | US680567 | 1976-04-27 | US4071058A | 1978-01-31 | Michel Albertin; Louis Maurice |
| A two stage pumping unit for evacuating tubes, and in particular televisionubes. A primary mechanical pump is air-cooled and is connected in series with an oil diffusion pump. The inlet for the stem of a tube to be evacuated has a sealing ring and between the sealing ring and the diffusion pump there is a baffle. Between the two pumps there is an oil condensation device and an oil trap. The trap, the condensation device, the oil diffusion pump, the baffle and the sealing ring are arranged for cooling by forced air. | ||||||
| 19 | Vacuum actuator and vacuum system using same | US3480200D | 1968-02-19 | US3480200A | 1969-11-25 | ROHRER DANIEL F |
| 20 | Leak detector and vacuum pumping station | US51184765 | 1965-12-06 | US3327521A | 1967-06-27 | BRIGGS WALTON E |
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