| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 161 | 一种高温合金真空熔炼装置 | CN202223441839.8 | 2022-12-22 | CN220059863U | 2023-11-21 | 陈旭军; 陈韩锋; 秦昭勇; 王雪连; 张东; 王江; 王玥; 高虹 |
| 本实用新型涉及高温合金制备技术领域，具体涉及一种高温合金真空熔炼装置，以解决目前高温合金在真空熔炼过程中，由于受真空设备安装及布局缺陷的影响而造成的真空熔炼产线抽真空耗时长、真空度偏低，从而导致高温合金氧、氮含量偏高，成分纯净度较差，并影响生产效率的问题。该装置主要由低真空系统、中真空系统、高真空系统、真空快开阀以及真空计等部分组成，通过给中真空系统中的第一罗茨真空泵串联第二罗茨真空泵，能够进一步提高抽真空的速率；通过增加高真空系统，并在油扩散泵的出口管路上加装旋片真空泵，能够进一步提高生产系统的真空度，有效改善高温合金制备的产品质量，具有良好的实用性。 | ||||||
| 162 | 一种节能型油扩散泵 | CN202321383155.9 | 2023-05-31 | CN219953777U | 2023-11-03 | 刘友好; 周志国; 衣晓飞; 陈静武 |
| 本实用新型公开了一种节能型油扩散泵，包括泵体，泵体的下端安装有加热器，泵体外周面设有冷却水管，冷却水管与水冷系统连接，加热器与水冷系统均与控制系统连接，控制系统包括测温元件和控制器，控制器与设于泵体内部的测温元件电性连接。本实用新型结构简单，测温元件检测泵体内的油温，通过协同控制加热器的加热功率和水冷系统的冷却量，可缩短扩散泵预热时间、减少泵油温度波动和缩短扩散泵冷却时间，达到扩散泵油快速升温和快速降温的目的，缩短油扩散泵使用前的预热时间和使用后的冷却时间，减少能源消耗。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 | ||||||
| 163 | 一种新型高抽速真空油扩散泵 | CN202320664182.7 | 2023-03-30 | CN219345105U | 2023-07-14 | 杨云燕; 池也水; 郭向宏; 谢雨彤 |
| 本实用新型涉及真空油扩散泵技术领域，具体为一种新型高抽速真空油扩散泵，包括泵体，所述泵体为直容腔，所述泵体的内腔固定安装有泵芯组件，所述泵体的底部安装有加热器，所述泵体的下部外侧联通有扩压管，所述扩压管的另一端联通有前级管，所述泵体、扩压管和前级管的外表面缠绕有冷却管，所述泵芯组件的上部通过固定件与泵体内壁支撑紧固；本实用新型通过设置四级扩散出油，具备高效的优点，解决了目前的真空油扩散泵在使用的过程中，出油雾的效率较低，导致向被抽取介质传递的动能较少，造成泵气效率较低的问题。 | ||||||
| 164 | 一种提高初始稀释的多孔射流排污装置 | CN202222277020.6 | 2022-08-29 | CN218030855U | 2022-12-13 | 黄建梁; 封学军; 张铖; 陈茂飞 |
| 本实用新型公开了一种提高初始稀释的多孔射流排污装置，包括引流腔，所述引流腔包含中间段以及前段和后段，前段通过管道夹具与排污管连接，在前段的内侧设有第一挡块，在引流腔内设有内管，在内管的端部设有第二挡块，在内管上依次设有第一轴承、挡圈和第二轴承，第二轴承的外圈紧靠第一挡块，第一轴承外圈紧靠第二挡块，内管内壁设有内叶片，内管外壁设有外叶片，后段外通过支架与多孔射流管连接，多孔射流管设有柱形腔，支架位于柱形腔内。本实用新型的一种提高初始稀释的多孔射流排污装置，使污水在排放前两次与环境水体混掺，极大地降低了污水浓度，达到预稀释的目的，且装置自主能动性强，环保节能。 | ||||||
| 165 | 一种真空镀膜机真空系统布局新结构 | CN202222283370.3 | 2022-08-29 | CN217950807U | 2022-12-02 | 王松 |
| 本实用新型涉及真空系统技术领域，具体为一种真空镀膜机真空系统布局新结构，包括矩形真空仓，所述矩形真空仓的底部安装有高真空扩散泵，所述矩形真空仓的一侧连接有管道，所述管道的一端连接有一号气动阀门，所述一号气动阀门的一侧连接有一级罗茨泵，所述一级罗茨泵的一侧连接有二号气动阀门，所述二号气动阀门的一侧连接有二级罗茨泵。该真空镀膜机真空系统布局新结构，与现有技术相比可以通过采用一级罗茨泵和二级罗茨泵的串联来替代增压泵，从而能够在降低能耗的情况下，提高功率，同时在一级罗茨泵和二级罗茨泵的连接管道上，采取采用圆弯头替代直角转弯，减少阻力，节能减排，从而能够在设计上更加紧凑、合理。 | ||||||
| 166 | 一种井口增压设备排气管降噪装置 | CN202221081356.9 | 2022-04-28 | CN217233937U | 2022-08-19 | 任冠楠; 黄雨路; 李飞; 屈欢欢 |
| 本实用新型公开了一种井口增压设备排气管降噪装置，包括内壁两端均对称可拆卸安装有减震板的L型消音管，所述减震板的一侧居中开设有矩形减震槽，所述矩形减震槽内居中固定安装有定位杆，所述定位杆的外缘面上滑动配合安装有定位滑块，且定位杆的外缘面上套设有减震弹簧，所述减震弹簧的顶端和底端分别固定连接于定位滑块的底部和矩形减震槽的内壁底部，所述定位滑块的一侧固定安装有导流结构，所述导流结构包括内部等距固定安装有引导板的导流板，相邻两块引导板间形成有导流槽，所述减震板的上端面以及下端面一侧均构造有延伸侧板，该井口增压设备排气管降噪装置，结构合理，便于对气流进行引导流通，有利于降低噪音，实用性强。 | ||||||
| 167 | 一种新型扩散泵阀盖机构 | CN202220517613.2 | 2022-03-07 | CN216951040U | 2022-07-12 | 赵艺; 焦艳璐 |
| 本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体地说，涉及一种新型扩散泵阀盖机构。包括大阀盖和用于驱动大阀盖升降的大阀盖驱动油缸；所述大阀盖的上方设置有若干个小阀盖，各个小阀盖以大阀盖的圆心为中心呈圆形阵列排布；每个小阀盖对应设置有驱动其升降的小阀盖驱动油缸。本实用新型为一泵多盖的结构方式，多个小阀盖盖在大阀盖上，大阀盖覆盖在扩散泵口上，均分负载，同时，依靠提升阀盖高度来提升流导，使得流导更加多元化，使扩散泵的抽空能力也得到极大的释放。 | ||||||
| 168 | 一种扩散泵泵体结构 | CN202120284885.8 | 2021-02-01 | CN215634021U | 2022-01-25 | 杨栋栋 |
| 本实用新型涉及扩散泵技术领域，且公开了一种扩散泵泵体结构，包括外壳，所述外壳的外壁固定连接有连接导管，所述连接导管的内部活动连接有活动弹簧，所述活动弹簧的一端活动连接有连接杆，所述连接杆的一端固定连接有活动按钮，所述连接杆的一侧固定连接有活动卡板，所述连接导管的一端固定连接有固定套筒，所述固定套筒的内壁固定连接有密封圈。该扩散泵泵体结构，使得该扩散泵泵体结构能够达到便于拆卸的目的，解决了一般扩散泵泵体结构不能便于拆卸的问题，能便于维修人员的维修，从而加快了使用者的工作进度，从而提高了该扩散泵泵体结构内部零件的耐久性，延长了该扩散泵泵体结构的使用寿命，从而提升了该扩散泵泵体结构的实用性。 | ||||||
| 169 | 一种新型高抽速真空油扩散泵 | CN202023321136.2 | 2020-12-31 | CN215566947U | 2022-01-18 | 王伟平; 王金泉; 王菊姿 |
| 本实用新型公开了一种新型高抽速真空油扩散泵，涉及扩散泵技术领域，为解决现有的真空油扩散泵加热油速度较慢，对于回收油加热效率较低，严重影响真空油扩散泵的处理效率，导致真空油扩散泵抽速较低的问题。所述油蒸汽发生外壳的内部安装有加热管，所述加热管与油蒸汽发生外壳固定连接，所述加热管的外部安装有导热翅片，所述导热翅片与加热管固定连接，所述导热翅片的内部设置有流孔，所述流孔设置有若干个，所述油蒸汽发生外壳内部的上端安装有固定支架，所述固定支架与油蒸汽发生外壳之间安装有搅拌轴，所述搅拌轴与固定支架和油蒸汽发生外壳均通过轴承连接。 | ||||||
| 170 | 一种真空扩散用套管 | CN202121204159.7 | 2021-05-31 | CN215486884U | 2022-01-11 | 徐爱民; 顾标琴 |
| 本实用新型属于半导体制备技术领域，尤其涉及一种真空扩散用套管。其包括管体及两立板，两立板相对设置固定在管体内壁，与管体形成半包围空间。本实用新型用于解决放置操作繁琐的问题，利用在管体内竖立的两立板形成一半包围空间，将需要扩散用的扩散源放置其中，避免了重复放置坩埚，再在坩埚中放置扩散源的问题，节省了操作步骤，提高操作效率，降低了生产成本。 | ||||||
| 171 | 一种直通式冷阱 | CN202122121164.8 | 2021-09-03 | CN215409467U | 2022-01-04 | 杨帆; 秦如辉 |
| 本实用新型公开了一种直通式冷阱，包括上法兰组件、下法兰组件、预设排水管和预设进水管，所述上法兰组件的外侧安装有下法兰组件，且上法兰组件和下法兰组件之间安装有预留圆筒，且上法兰组件和下法兰组件内端贯穿安装有冷媒管，所述冷媒管的外侧安装有铜栅板，所述预留圆筒的内端安装有弧形边板，所述上法兰组件的外端依次开设有预设排水管和预设进水管，所述上法兰组件、预留圆筒和下法兰组冷阱壳体采用夹套式结构。该直通式冷阱，设置的冷壁式外壳，内壁由于变冷，也参与冷凝，较大地增大了捕油面积，提高了冷阱的捕集冷凝能力；冷媒盘管改成直通式，缩短管程，所有支管温度一致，冷却效果均匀，降低了“返油”率。 | ||||||
| 172 | 扩散泵散热装置 | CN202121400418.3 | 2021-06-23 | CN215109729U | 2021-12-10 | 李坡; 陈培绍; 杨诗峰 |
| 本实用新型提供了一种扩散泵散热装置，包括扩散泵和风扇，所述扩散泵包括柱状泵体，所述泵体的顶部设置有进气口，所述泵体的侧面设置有排气口，所述泵体的底部腔内设置有加热器，所述风扇固定安装于所述扩散泵的底部，且所述风扇的出风面与所述扩散泵的底面相对。本实用新型在不改变扩散泵的原有结构和安装环境的基础上，把风扇增加在扩散泵的底部，让其形成风道缩短扩散泵冷却时间，通过增加空气的流通速度，加快扩散泵的散热速度，缩短设备的停机时间，节约能源，提高了产品的生产效率，降低运行成本，并且不会影响到扩散泵自身运转情况，能够在很好地在控制成本的前提下增加设备的实用性。 | ||||||
| 173 | 新型高抽速高真空油扩散泵 | CN202023349244.0 | 2020-12-31 | CN214221638U | 2021-09-17 | 王伟平; 王金泉; 王菊姿 |
| 本实用新型公开了新型高抽速高真空油扩散泵，涉及扩散泵技术领域，为解决现有扩散泵由于较高的返油率使得抽速较慢，并且在扩散泵进行运行时，会产生较高的热量，而现有散热方法一般都是通过散热扇进行吹风散热，而在夏天时，工作环境温度较高时，散热扇吹向扩散泵的空气也会具有较高的温度，从而使得扩散泵散热效果不好，造成扩散泵由于温度较高而容易老化的问题。所述安装箱的下方内壁固定安装有扩散泵装置，所述扩散泵装置的内部固定安装有宝塔式七级泵芯，所述安装箱的一侧外壁开设有通槽，所述安装箱的另一侧外壁开设有散热槽，且散热槽设置有若干个，所述安装箱一侧外壁的内部固定设置有出油管。 | ||||||
| 174 | 一种用于真空镀膜的真空油扩散泵 | CN202023315872.7 | 2020-12-31 | CN214221637U | 2021-09-17 | 王伟平; 王金泉; 王菊姿 |
| 本实用新型公开了一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，涉及真空油扩散泵技术领域，为解决现有的真空油扩散泵在清洗时操作不便，不具备自主清洗结构的问题。所述泵体的上端固定安装有清洗壳体，所述清洗壳体的内部中轴位置固定安装有固定座，所述固定座的下端面上旋转安装有连通座，所述连通座与固定座内部相通，所述连通座的外表面上设置有同步带轮槽，所述清洗壳体的内壁上固定安装有交流电机，所述交流电机的旋转轴一端固定安装有同步带轮，且同步带轮的外部套接有传动皮带，所述传动皮带的另一端套接在连通座外表面上的同步带轮槽内。 | ||||||
| 175 | 一种用于防止扩散泵油反油的冷却系统 | CN202022915045.5 | 2020-12-08 | CN214199250U | 2021-09-14 | 张锦铭; 张海龙 |
| 本实用新型公开了一种用于防止扩散泵油反油的冷却系统，包括泵体，包括用于存放扩散泵油的内腔，内腔的顶部设有开口；加热装置，设置在内腔的底部；挡板，设置在内腔内，挡板底面的两侧均设有倾斜的第一导向部，各第一导向部分别朝向内腔的两侧壁；以及冷阱，外接制冷系统，冷阱设置在开口处；此用于防止扩散泵油反油的冷却系统通过加热装置进行加热，加热后的扩散泵油呈油蒸汽上升，一部分碰到挡板并沿挡板及其第一导向部呈伞状喷射到内腔的两侧壁上，在侧壁冷却后回流底部循环往复，其余部分接触冷阱并遇冷液化回流，由于冷阱表面的温度可低至‑30℃，能完全将接触到油蒸汽冷凝成液体，且相比于水冷的方式更能节能。 | ||||||
| 176 | 一种扩散泵底加热板结构 | CN202022773699.9 | 2020-11-25 | CN214007633U | 2021-08-20 | 姜太星 |
| 本实用新型涉及扩散泵辅件技术领域，具体地说，涉及一种扩散泵底加热板结构。包括加热板和用于将加热板紧固在扩散泵底部的紧固装置，所述加热板与扩散泵的底部之间设置有石墨纸。本实用新型所述加热板和扩散泵的泵底中间垫石墨纸，可有效填充加热板和扩散泵底的间隙，保证有效传热，且石墨纸有可压缩性，保证重复加热冷却后加热板和扩散泵底始终有效接触传热，防止加热板因温度过高而损毁，同时，采用不锈钢或耐热钢制作的紧固装置，线涨系数小，能有效避免螺栓因加热线涨造成的加热板与泵底接触不良，从而避免加热板变形、损坏，以保证扩散泵长期稳定运行。 | ||||||
| 177 | 一种扩散泵泵芯 | CN202021762551.9 | 2020-08-21 | CN213392908U | 2021-06-08 | 瞿建强 |
| 本实用新型公开了一种扩散泵泵芯，包括位于中部的泵芯体，泵芯体上端设置顶喷嘴伞盖，泵芯体的外表面由上至下设有若干个喷嘴伞盖，相邻喷嘴伞盖之间设有包围在泵芯体外的分流导流腔；顶喷嘴伞盖通过连接杆与最下方喷嘴伞盖处的法兰相连，法兰下固定连接设置保温罩，保温罩底端固定连接底座油盘，最下方喷嘴伞盖处的法兰下连接有用于降低返油率的挡流圈。本实用新型能够控制返油率，在提高抽气量增加抽气效率的同时还控制了返油率。 | ||||||
| 178 | 一种带保温结构的镜片镀膜用扩散泵 | CN202020955404.7 | 2020-05-30 | CN213392907U | 2021-06-08 | 欧阳晓勇; 汤峰 |
| 一种带保温结构的镜片镀膜用扩散泵，由扩散泵主体（1）、保温套件（2）、电器控制系统（3）组成，所述的保温套件（2）套装在扩散泵主体（1）的下部，电器控制系统（3）安装在扩散泵主体（1）的中间靠上位置，保温套件（2）通过线缆与电器控制系统（3）连接在一起，温度传感器（1‑1）安装在扩散泵主体（1）靠下位置并处于保温套件（2）上方。本实用新型，通过并联的方式，在保温套件内设置三组独立的加热软管，可以根据镀膜所需的温度条件，控制扩散泵主体内的油温，以达到消除温度的不稳定可能影响设备的抽真空速率。提高产品一次成品率，降低损耗，提高工作效率。 | ||||||
| 179 | 一种新型强排扩散泵 | CN202021441643.7 | 2020-07-21 | CN213116891U | 2021-05-04 | 陈晓东; 王红; 张明 |
| 本实用新型涉及扩散泵技术领域，且公开了一种新型强排扩散泵，包括泵体，所述泵体顶端设置有进气口，且所述进气口与所述泵体固定连接，所述泵体底端设置有底座，且所述底座与所述泵体固定连接，所述底座外侧底端开设有滑槽，所述滑槽内侧设置有支撑脚，且所述滑槽与所述支撑脚滑动连接。该一种新型强排扩散泵，通过设置净化器和安装环，安装环与净化器为一体，净化器外部设置卡块，卡块和净化器的长度与排气管的直径相同，在对净化器进行安装时，直接将净化器通过卡块安装在排气管的内部顶端，然后将安装环固定在排气管的顶端，进而将净化器稳固的固定在排气管的内部顶端，净化器对泵体排出的气体进行净化，因此增加了该扩散泵的实用性。 | ||||||
| 180 | 一种真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统 | CN202021625179.7 | 2020-08-05 | CN212776781U | 2021-03-23 | 应建明; 俊鹤; 梁春; 温玉珺; 陈昊 |
| 本实用新型涉及一种真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统，包括抽真空单元、氮气置换单元和控制单元；抽真空单元包括短程抽气机组和长程抽气机组，两者分别通过抽真空管路与真空多层绝热低温容器夹层连通；短程抽气机组包括与抽真空管路连通的油扩散真空泵以及与油扩散真空泵连通的双级旋片真空泵；长程抽气机组包括与抽真空管路连通的罗茨真空泵以及与罗茨真空泵连通的单级旋片真空泵；氮气置换单元包括氮气源、连接在氮气源和抽真空管路之间的气体加热器以及与真空多层绝热低温容器夹层连通的自动出气控制阀门。本实用新型缩短抽空时间，获得优异的夹层真空度指标，节约工艺成本、简化操作，解决突然停电时泵油反抽进入夹层的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 | ||||||
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