| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 21 | 油扩散泵以及真空成膜装置 | CN201380060293.6 | 2013-03-14 | CN104797826A | 2015-07-22 | 税所慎一郎 |
| 提供一种油扩散泵，其具有能够解决使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。该油扩散泵为真空泵，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，使该油蒸气产生器(70)工作以使工作油(8)气化而成为油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去，并对吸入的气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具有：容器(71、72)，其在立起设置方向上延伸，且使由被加热材料构成的筒部件(71)的下端封闭，用于在内部贮油；感应线圈(75)，其隔着绝缘材料(73)缠绕于筒部件(71)(尤其是外壳内壁71b)的大气侧周围；以及供电单元，其对感应线圈(75)施加数10Hz至数100Hz的低频交流电。而且，构成为，通过使供电单元工作并对线圈(75)施加低频交流电，由此使筒部件(71)自身加热，使容器内的油气化。 | ||||||
| 22 | 节能型水泵以及所述水泵的控制系统 | CN201280039139.6 | 2012-08-08 | CN103765097A | 2014-04-30 | 任周赫 |
| 本发明涉及一种节能型水泵以及所述水泵的控制系统，其包括从蒸汽产生器得到蒸汽的泵体部、用于打开及关闭泵体部和蒸汽产生器之间的管道的蒸汽传送单元、以及用于打开及关闭泵体部和供应处之间的管道的供水单元，而且，打开蒸汽传送单元以及供水单元而向供应处供水。本发明涉及一种节能型水泵以及所述水泵的控制系统，其包括从蒸汽产生器得到蒸汽的泵体部、用于打开及关闭泵体部和蒸汽产生器之间的管道的蒸汽传送单元、以及用于打开及关闭泵体部和水源之间的管道的吸入单元，而且，打开及关闭蒸汽传送单元而得到蒸汽后，打开吸入单元而吸入水源的水。 | ||||||
| 23 | 油扩散泵加热器 | CN201010258016.4 | 2010-08-20 | CN102378420A | 2012-03-14 | 蒋日永 |
| 本发明涉及一种油扩散泵加热器。包括套管和设置在套管内和套管紧密接触的电热管，电热管从套管内延伸出并外接电源线。本发明提供了一种能有效的对扩散泵进行集中高效的加热、且维护方便的高真空油扩散泵的电加热装置。 | ||||||
| 24 | 一种循环智能抽真空系统 | CN202311552983.5 | 2023-11-21 | CN117662419A | 2024-03-08 | 张铁强; 张文明; 魏裕隆; 徐钢; 李海龙; 毛伟兴 |
| 本发明涉及的一种循环智能抽真空系统，包括一条粗真空主管、一条高真空主管、多条真空腿管以及设置在架空平台上的抽真空机组，所述粗真空主管和高真空主管之间设有多条连接管路，每条连接管路对应一条真空腿管，连接管路与粗真空主管连接的一端设有粗真空插板阀，连接管路与高真空主管连接的一端设有高真空插板阀，连接管路通过旁通管线连接真空腿管，旁通管线上设有旁通真空挡板阀，真空腿管上设置一排多个均布的真空抽气抽口，真空抽气抽口通过抽空连接阀连接待抽容器。本发明实现对容器夹层材料的热冲洗以及粗真空到高真空的满足条件自动切换，缩短了抽真空系统的运行时间，降低了工作人员的劳动强度，节约了人力资源和能耗。 | ||||||
| 25 | 扩散泵 | CN201580035209.4 | 2015-06-10 | CN106662123B | 2019-11-05 | 汉斯-沃纳·施魏策尔 |
| 一种扩散泵，特别是高能效扩散泵，包括外罩(10)和连接到所述外罩(10)的沸腾室(14)。在所述沸腾室(14)的区域中，布置加热元件(16)。进一步，排气口(20，22)布置在外罩(10)中并且连接到所述沸腾室(14)。在所述排气口(20，22)的区域中，冷凝器(24)布置在所述外罩(10)的内表面处，其中在所述冷凝器(24)的区域中，提供用于对冷凝器(24)进行冷却的冷却系统(26)。所述沸腾室(14)通过隔离器(52)与所述冷凝器(24)热隔离。替代地或附加地，所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)至少部分地是水冷却系统。替代地或附加地，所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)经由热泵(40)连接到所述加热元件(16)，使得从所述冷凝器(24)的热传送至加热元件(16)。替代地或附加地，提供温度测量装置，其测量冷凝器温度，其中所述温度测量装置(34)连接到冷凝器冷却系统调节器，以用于对所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)进行调节。替代地或附加地，加热元件调节器已经连接到所述加热元件(16)，用于针对占主导的泵浦情形调整所述加热元件(16)的所述热输出。 | ||||||
| 26 | 一种旋转喷射即时加热的扩散泵 | CN201710227116.2 | 2017-04-10 | CN108691825A | 2018-10-23 | 戴长虹 |
| 一种旋转喷射即时加热的扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其蒸发系统采用即时加热的加热方式，蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件，蒸发器具有加热区和储油区，两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通，加热器设置在加热区内，对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气；喷射系统中蒸气导管的顶部是旋转喷头，旋转喷头的周围有一系列喷嘴，喷嘴喷出蒸气时能够使旋转喷头高速旋转。 | ||||||
| 27 | 一种即时加热快速启动旋转喷射的扩散泵 | CN201710227105.4 | 2017-04-10 | CN108691823A | 2018-10-23 | 戴长虹 |
| 一种即时加热快速启动旋转喷射的扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其蒸发系统采用即时加热的加热方式，蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件，蒸发器具有加热区和储油区，两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通，加热器设置在加热区内，对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气；喷射系统中蒸气导管的顶部是旋转喷头，旋转喷头的周围有一系列喷嘴，喷嘴喷出蒸气时能够使旋转喷头高速旋转；蒸气导管上或周围有加热装置，能够提高泵芯和蒸气的温度，并能实现扩散泵的快速启动。 | ||||||
| 28 | 一种扩散泵 | CN201710227079.5 | 2017-04-10 | CN108691820A | 2018-10-23 | 戴长虹 |
| 一种扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，所述蒸发系统悬空、绝热或隔热安装在泵体底部，蒸发系统采用即时加热或浮动即时加热的加热方式，对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气；喷射系统中蒸气导管的顶部是固定喷头或旋转喷头，在固定喷头的周边均匀布置的向斜下方喷射的一组喷嘴、蒸气从喷嘴喷出后形成旋转的漩涡状的气流团；旋转喷头的周围有一系列喷嘴，喷嘴喷出蒸气时产生的反作用力能够使旋转喷头高速旋转；泵芯或蒸气导管上或安装有加热装置，能够提高泵芯和蒸气的温度，增加喷射蒸气的速率和动能，并能实现扩散泵的快速启动。 | ||||||
| 29 | 一种浮动加热式快速启动扩散泵 | CN201710227071.9 | 2017-04-10 | CN108691819A | 2018-10-23 | 戴长虹 |
| 一种浮动加热式快速启动扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其蒸发系统采用浮动加热的加热方式，蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件，蒸发器具有加热区和储油区，两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通，加热器设置在加热区内，对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气；加热器固定在中间隔板上，中间隔板能够漂浮在泵油中，使加热区在正常的泵油范围内始终保持恒定不变；喷射系统中的蒸气导管上或周围有加热装置，能够提高泵芯和蒸气的温度，增加喷射蒸气的速率和动能，并能实现扩散泵的快速启动。 | ||||||
| 30 | 一种快速启动浮动加热旋转喷射的扩散泵 | CN201710227065.3 | 2017-04-10 | CN108691818A | 2018-10-23 | 戴长虹 |
| 一种快速启动浮动加热旋转喷射的扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其蒸发系统采用浮动加热的加热方式，蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件，蒸发器具有加热区和储油区，两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通，加热器设置在加热区内，对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气；加热器固定在中间隔板上，中间隔板能够漂浮在泵油中；喷射系统中蒸气导管的顶部是旋转喷头，旋转喷头的周围有一系列喷嘴，喷嘴喷出蒸气时能够使旋转喷头高速旋转；蒸气导管上或周围有加热装置，能够提高泵芯和蒸气的温度，并能实现扩散泵的快速启动。 | ||||||
| 31 | 低于大气压的气体洗涤器 | CN201280046145.4 | 2012-07-06 | CN103796733B | 2017-11-28 | M.G.拉纳; D.科林斯 |
| 为了使通过泵或允许在其中累积的污染物的量最小化，提供适用于真空泵上游的低于大气压的气体洗涤器(100)。该气体洗涤器包括：容器(12)和用于在容器内形成清洁溶剂喷射的机构(22)，容器包括用于在低于大气压的压力待清洁的气体的入口(14)和出口(18)，入口和出口布置成使待清洁的气体通过清洁溶剂的喷射，用于形成喷射的机构包括连接到至少一个喷射喷嘴(22)的清洁溶剂入口(24)和清洁溶剂出口(28)，可以使用泵将用过溶剂从容器泵送通过清洁溶剂出口，其中泵(102)布置成将用过的溶剂再循环回到清洁溶剂入口。 | ||||||
| 32 | 大口径高真空油扩散泵 | CN201510409541.4 | 2015-07-14 | CN104989679B | 2017-10-17 | 林森; 林峰; 周丹 |
| 本发明公开了一种扩散泵，特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵，它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置，泵体采用了凸腔结构，泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内，泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构，各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴，喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。本发明具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。 | ||||||
| 33 | 油扩散泵以及真空成膜装置 | CN201380060293.6 | 2013-03-14 | CN104797826B | 2017-10-03 | 税所慎一郎 |
| 提供一种油扩散泵，其具有能够解决使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。该油扩散泵为真空泵，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，使该油蒸气产生器(70)工作以使工作油(8)气化而成为油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去，并对吸入的气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具有：容器(71、72)，其在立起设置方向上延伸，且使由被加热材料构成的筒部件(71)的下端封闭，用于在内部贮油；感应线圈(75)，其隔着绝缘材料(73)缠绕于筒部件(71)(尤其是外壳内壁71b)的大气侧周围；以及供电单元，其对感应线圈(75)施加数10Hz至数100Hz的低频交流电。而且，构成为，通过使供电单元工作并对线圈(75)施加低频交流电，由此使筒部件(71)自身加热，使容器内的油气化。 | ||||||
| 34 | 扩散泵 | CN201580035209.4 | 2015-06-10 | CN106662123A | 2017-05-10 | 汉斯-沃纳·施魏策尔 |
| 一种扩散泵，特别是高能效扩散泵，包括外罩(10)和连接到所述外罩(10)的沸腾室(14)。在所述沸腾室(14)的区域中，布置加热元件(16)。进一步，排气口(20，22)布置在外罩(10)中并且连接到所述沸腾室(14)。在所述排气口(20，22)的区域中，冷凝器(24)布置在所述外罩(10)的内表面处，其中在所述冷凝器(24)的区域中，提供用于对冷凝器(24)进行冷却的冷却系统(26)。所述沸腾室(14)通过隔离器(52)与所述冷凝器(24)热隔离。替代地或附加地，所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)至少部分地是水冷却系统。替代地或附加地，所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)经由热泵(40)连接到所述加热元件(16)，使得从所述冷凝器(24)的热传送至加热元件(16)。替代地或附加地，提供温度测量装置，其测量冷凝器温度，其中所述温度测量装置(34)连接到冷凝器冷却系统调节器，以用于对所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)进行调节。替代地或附加地，加热元件调节器已经连接到所述加热元件(16)，用于针对占主导的泵浦情形调整所述加热元件(16)的所述热输出。 | ||||||
| 35 | 油扩散泵和用于该油扩散泵的油蒸气产生器 | CN201480077167.6 | 2014-06-24 | CN106104009A | 2016-11-09 | 税所慎一郎 |
| 提供一种油扩散泵，其具备可消除在使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。一种真空泵，其中，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，通过使该油蒸气产生器(70)工作来使工作油(8)气化从而产生油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去而对吸入气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具备：在立起设置方向上延伸的筒状的外壳(71)(被加热体)；隔着绝缘材料(73)缠绕在筒部件(71)的周围的感应线圈(75)；以及对感应线圈(75)施加交流电的供电单元。外壳(71)和感应线圈(75)以浸渍于储存在壳体(51)内的工作油(8)中的配置被组装于壳体。并且，构成为，通过使供电单元工作而对感应线圈(75)施加交流电，由此使外壳(71)自身加热，从而使工作油(8)气化。 | ||||||
| 36 | 一种回旋式真空扩散泵 | CN201310708398.X | 2013-12-20 | CN103742456B | 2016-08-17 | 陈炜; 陈泷; 曹志福; 欧阳康; 汤鹏鹏; 蒋在敏 |
| 本发明涉及真空泵领域，特指一种回旋式真空扩散泵。该扩散泵采用了多级、每级多条片状高速蒸汽流以回旋式运动的方法来实现对空气的牵引与压缩，从而获得真空度。此外，蒸发油腔呈锥形，通过设计不同油腔分层的大小，在使油蒸汽于喷射口处获得较大的喷射速度的同时使外层的轻馏分获得比内层的重馏分更大的流速；不同级别的喷嘴的回旋速度从上往下呈现速度梯度，使得气体不断被挤压至泵体底层，通过机械泵排除；喷嘴之间采用行星齿轮机构传动，并由电机驱动，从上至下呈现速度梯度；采用纺锤形泵体，增大喷射流长度，使极限真空更好。 | ||||||
| 37 | 一种回旋式真空扩散泵 | CN201310708398.X | 2013-12-20 | CN103742456A | 2014-04-23 | 陈炜; 陈泷; 曹志福; 欧阳康; 汤鹏鹏; 蒋在敏 |
| 本发明涉及真空泵领域，特指一种回旋式真空扩散泵。该扩散泵采用了多级、每级多条片状高速蒸汽流以回旋式运动的方法来实现对空气的牵引与压缩，从而获得真空度。此外，蒸发油腔呈锥形，通过设计不同油腔分层的大小，在使油蒸汽于喷射口处获得较大的喷射速度的同时使外层的轻馏分获得比内层的重馏分更大的流速；不同级别的喷嘴的回旋速度从上往下呈现速度梯度，使得气体不断被挤压至泵体底层，通过机械泵排除；喷嘴之间采用行星齿轮机构传动，并由电机驱动，从上至下呈现速度梯度；采用纺锤形泵体，增大喷射流长度，使极限真空更好。？ | ||||||
| 38 | 油扩散泵抽高真空快冷装置 | CN200710024673.0 | 2007-06-27 | CN101334050A | 2008-12-31 | 李荣华 |
| 本发明油扩散泵抽高真空快冷装置是真空炉抽高真空时扩散泵的一种加强装置，它的目的是提高抽真空系统的真空度，并降低油扩散泵对加热区域的污染。目前的扩散泵是由电加热盘将扩散泵里的油加热，挥发，在上部有一水冷管路通过水冷的方式进行冷凝为回流而复始来达到抽真空的目的。目前的水冷管路一般不带水冷装置，故冷却效果不好，往往真空度达不到标准的要求。由于冷却速度的不够，油的挥发往往进入加热室而导致污染工件。本发明是主要在原扩散泵的基础上加上一个高强度的冷井，它的原理是在原水冷的基础上将以氟里昂为介质由压缩机制冷的循环系统，使其冷却速度大大降低，从而大大改善了冷凝的效果。使油在通过冷井时也不再挥发。也就不会有油污进入加热室。 | ||||||
| 39 | 微型扩散泵及其制备方法 | CN200510011534.5 | 2005-04-07 | CN100434728C | 2008-11-19 | 于晓梅; 李修函; 张大成; 张海涛; 李婷; 王阳元 |
| 本发明提供了一种微型扩散泵及其制备方法，微型扩散泵主要包括：泵腔室、单向阀、泵入口、泵出口及泵腔室内的驱动结构，单向阀分别位于泵腔室与泵入口之间和泵腔室与泵出口之间，单向阀为正反向流量不同的楔形扩散管，泵腔室内流体在一定驱动方式下膨胀和收缩产生压力差，依据流体在楔形扩散管内的正反流压力不同的性质，在泵体内产生单向连续输运流体的作用。本发明提供的微型扩散泵可采用抽吸气体而驱动液体和直接驱动液体两种工作方式。微型扩散泵的制备基于硅微机械加工技术及微模型技术，制备工艺简单、加工成本低、可靠性好、易于与大多数微流体系统集成，在微流控分析芯片领域具有广泛的应用前景。 | ||||||
| 40 | 微型扩散泵及其制备方法 | CN200510011534.5 | 2005-04-07 | CN1844681A | 2006-10-11 | 于晓梅; 李修函; 张大成; 张海涛; 李婷; 王阳元 |
| 本发明提供了一种微型扩散泵及其制备方法，微型扩散泵主要包括：泵腔室、单向阀、泵入口、泵出口及泵腔室内的驱动结构，单向阀分别位于泵腔室与泵入口之间和泵腔室与泵出口之间，单向阀为正反向流量不同的楔形扩散管，泵腔室内流体在一定驱动方式下膨胀和收缩产生压力差，依据流体在楔形扩散管内的正反流压力不同的性质，在泵体内产生单向连续输运流体的作用。本发明提供的微型扩散泵可采用抽吸气体而驱动液体和直接驱动液体两种工作方式。微型扩散泵的制备基于硅微机械加工技术及微模型技术，制备工艺简单、加工成本低、可靠性好、易于与大多数微流体系统集成，在微流控分析芯片领域具有广泛的应用前景。 | ||||||
QQ群二维码
意见反馈
意见反馈