| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 电磁加热高真空油扩散泵 | CN201510839534.8 | 2015-11-27 | CN105351258A | 2016-02-24 | 林森; 林峰 |
| 本发明涉及一种高真空油扩散泵，特别是涉及一种电磁加热高真空油扩散泵。电磁加热高真空油扩散泵，电磁加热器设置在泵体底部、泵体的排气口设有水冷挡油装置，泵体采用了直腔结构，泵体外设有水槽式冷却外套，泵芯组件垂直安装在泵体内的中心位置，泵芯组件结构是由内至外依次设置伞帽形一级喷嘴帽、伞帽形二级喷嘴帽、伞帽形三级喷嘴帽、三级导流管构成整体结构，各级伞帽喷嘴帽上均设有导流管，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。本发明具有加热速度快、冷却速度快效果好、返油率低、极限真空高、抽气速率高、耗电量低、达到极限真空时间短的特点。 | ||||||
| 2 | 大口径高真空油扩散泵 | CN201510409541.4 | 2015-07-14 | CN104989679A | 2015-10-21 | 林森; 林峰; 周丹 |
| 本发明公开了一种扩散泵，特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵，它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置，泵体采用了凸腔结构，泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内，泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构，各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴，喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。本发明具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。 | ||||||
| 3 | 一种分区加热式扩散泵 | CN202210211928.9 | 2022-03-04 | CN114427550A | 2022-05-03 | 刘佩杰; 王用兵 |
| 本发明涉及镀膜设备技术领域，具体地说，涉及一种分区加热式扩散泵，其喷射塔内从外向内依次设置有第一喷射区、第二喷射区、第三喷射区、第四喷射区；所述喷射塔的底部设置有与四个喷射区分别相对应的加热装置，每个喷射区所对应的加热装置分别配置有可单独调整加热功率的调功器。通过改变加热功率调整各个喷射区的喷气压力，改变供气量，从而改变泵的特性；所有加热装置通过单独调整功率从而组合成各种泵的抽气状态，以适于不同使用条件，同时，可通过PLC控制或微处理器处理，根据功能调整至最佳状态，达到节能效果。 | ||||||
| 4 | 电磁加热高真空油扩散泵 | CN201510839534.8 | 2015-11-27 | CN105351258B | 2018-02-23 | 林森; 林峰 |
| 本发明涉及一种高真空油扩散泵，特别是涉及一种电磁加热高真空油扩散泵。电磁加热高真空油扩散泵，电磁加热器设置在泵体底部、泵体的排气口设有水冷挡油装置，泵体采用了直腔结构，泵体外设有水槽式冷却外套，泵芯组件垂直安装在泵体内的中心位置，泵芯组件结构是由内至外依次设置伞帽形一级喷嘴帽、伞帽形二级喷嘴帽、伞帽形三级喷嘴帽、三级导流管构成整体结构，各级伞帽喷嘴帽上均设有导流管，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。本发明具有加热速度快、冷却速度快效果好、返油率低、极限真空高、抽气速率高、耗电量低、达到极限真空时间短的特点。 | ||||||
| 5 | 射流真空泵 | CN92100680.2 | 1992-01-28 | CN1074981A | 1993-08-04 | 亚历克塞·库兹米奇·雷布诺夫; 弗拉基米尔·瓦西里耶维奇·莱昂诺夫; 埃弗吉尼·格里高里耶维奇·维力坎诺夫; 彼特·阿里克塞耶维奇·斯科沃罗德科; 塞尔盖·费多罗维奇·柴科马瑞夫; 大卫·卡斯科里维奇·蔡登史蒂恩; 伊万·费德多罗维奇·施米列夫 |
| 射流真空泵包含带有吸气管(2)和预真空排气管(4)的空心壳体(1)，安装在壳体(1)的空腔(3)内，并且具有超声喷嘴(6)的蒸汽导管(5)，与蒸汽导管(5)相关连的真空液的蒸发器和分隔壁(9)，该分隔壁(9)安装在真空液蒸汽从喷嘴(6)流出的区域内，将蒸汽的流出区域与空腔(3)内产生被抽气体升高压的那一部分分离开，并且在上部与壳体(1)具有热触点。 | ||||||
| 6 | 一种40寸油扩散泵 | CN202310747701.0 | 2023-06-21 | CN116592003A | 2023-08-15 | 高杰; 王路; 梁亚军; 王帅峰 |
| 本发明涉及油扩散泵技术领域，具体公开了一种40寸油扩散泵，包括泵体、加热器、水冷挡油装置以及泵芯，所述泵体内设置有泵芯，加热器设置在泵体的底部，泵体的顶部设置有水冷挡油装置；所述泵体的外侧设置有冷却管，所述水冷挡油装置顶部设置有水冷挡油帽，泵体的顶部设置有进气口法兰；所述泵体一侧底部设置有排气口结构；所述泵芯由喷嘴帽、喷嘴座、导流管组成，喷嘴帽、喷嘴座、导流管三者配套设置，且设置有若干组；所述喷嘴帽安装在喷嘴座的上侧，且二者之间通过调整垫片形成缝隙，所述喷嘴座安装在导流管的顶部；本发明通过加热泵油，使油蒸汽分多级喷射喷嘴喷出，达到最佳抽气速率，实现大口径、大抽速、极限真空度高、节省能耗的效果。 | ||||||
| 7 | 一种带分流板的四级分馏式油扩散泵 | CN201910781899.8 | 2019-08-23 | CN112412894A | 2021-02-26 | 潘燕萍; 井苅晴美 |
| 本发明公开了一种带分流板的四级分馏式油扩散泵，包括内置泵芯的泵体，泵体的底部设有油室，泵体的上端设有进气口，泵体的侧端底部设有喷射嘴，且喷射嘴外接有排气管，泵体的外周固定有冷却水管，油室中固定有支撑罩，支撑罩由支撑板和柱形管构成，支撑罩的内部设有加热管道以及位于其上方的分流板，分流板包括中心盲板、第一环形端板和第二环形端板，支撑罩的上侧固定有泵芯。本发明结构设计科学合理，在油室中增设有分流板，能够对馏分进行预导向，增大通过蒸馏能够提高的极限真空度；同时由于分流板的存在，能够将未达到沸点前挥发的馏分进行有效拦截阻挡，进而大幅降低返油现象，提高泵体的使用效果。 | ||||||
| 8 | 大口径高真空油扩散泵 | CN201510409541.4 | 2015-07-14 | CN104989679B | 2017-10-17 | 林森; 林峰; 周丹 |
| 本发明公开了一种扩散泵，特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵，它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置，泵体采用了凸腔结构，泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内，泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构，各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴，喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。本发明具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。 | ||||||
| 9 | 高真空玻璃油扩散泵 | CN201010195670.5 | 2010-06-08 | CN102278327A | 2011-12-14 | 邹仲秋 |
| 本发明公开了一种高真空玻璃油扩散泵，该泵包括主泵体，主泵体上下两侧分别连有吸气管和抽气管，主泵体内设有输油管，输油管上从上至下设有四级喷嘴，该泵还包括一副泵体，连接设于抽气管另一端，并且副泵体内还设有与抽气管相连通的数级喷嘴，副泵体的另一端设有抽气口。通过副泵体与主泵体的喷嘴共同作用，能够将油蒸汽更加均匀的扩散到整个泵体及管路内，从而能够有效提高系统的抽真空度，完全满足各类高真空产品的生产工艺需求。 | ||||||
| 10 | 射流真空泵 | CN92100681.0 | 1992-01-28 | CN1074982A | 1993-08-04 | 阿历克塞·库孜米奇·雷布罗夫; 彼特·阿历克西维奇·斯可瓦罗德可; 阿历克西·瓦西里耶维奇·塔兰宁 |
| 射流真空泵包含带有吸气管(2)和预真空排气管(3)的空心壳体(1)和蒸汽导管(5)，该蒸汽导管安置在壳体(1)的空腔(4)内，并且在每一压缩级都具有超声速喷嘴(6)，喷嘴上超声速部分的外部轮廓是圆环形状，而第一压缩级喷嘴(6)外部轮廓的半径随着接近喷嘴(6)的出口而减小。真空泵还含有真空液的蒸发器，来自蒸发器的蒸汽沿蒸汽导管(5)进入喷嘴(6)，从喷嘴扩散出来，俘获住被抽气体，传递给被抽气体运动脉冲，并且被输送至排气管(3)。 | ||||||
| 11 | Turbo diffusion pump | JP995985 | 1985-01-24 | JPS61169700A | 1986-07-31 | HOSHINO KIICHI |
| PURPOSE:To omit a cold trap necessary for diffusion pump by installing a rotary vane wheel which is revolved at a high speed by a turbine vane wheel at a suction port and repelling-excluding the vapor particles of the working liquid which diffuse and intrude onto the suction port side. CONSTITUTION:A boiler 12 is heated to generate mercury vapor, and said mercury vapor is jetted-out from the upper and lower jetting-out ports through a jet pipe 10. The upper jetting-out port jets-out mercury vapor aslantly downwards to drive a turbine vane wheel 9 and repel gas particles. The gas is further compressed by the mercury vapor jetted-out from the lower jetting-out port. In order to sufficiently revolve the rotary vane wheels 3 and 5 more speedily, the inside diameter of the turbine vane wheel can be selected small, and the mercury vapor is used at a high temperature. | ||||||
| 12 | JPS5535381U - | JP11761478 | 1978-08-28 | JPS5535381U | 1980-03-06 | |
| 13 | 一种低返油扩散泵 | CN202321800613.4 | 2023-07-10 | CN220505451U | 2024-02-20 | 臧世伟; 刘文卿 |
| 本实用新型公开了一种低返油扩散泵，包括泵体，所述泵体的顶部设置有与真空设备连接的泵口，所述泵体在所述泵口的下方设置有若干的挡油板，用于阻挡流向所述泵口的油蒸汽，所述挡油板上和/或各个所述挡油板间设置有用于所述泵口进气的通道。本实用新型通过在泵体的泵口处设置挡油板和冷却管，上升的油蒸汽遇到挡油板被挡住，且会在挡油板和冷却管上冷凝汇聚，接着从挡油板上落下，冷却管增强了泵体内的冷却效果，减少泵口返油情况，减少返油进入到对真空镀膜设备中造成污染，保证镀膜质量，并且节省用油成本。 | ||||||
| 14 | 五级金属直腔型高真空油扩散泵 | CN200920008055.1 | 2009-03-31 | CN201412399Y | 2010-02-24 | 王莉 |
| 本实用新型涉及高真空油扩散泵，具体地说是一种五级金属直腔型高真空油扩散泵。它包括泵体，设置在泵体内泵芯、油室和喷射嘴，位于泵体外面、底部的加热器；泵体为直容腔；泵芯包括一级导流管及其一级喷嘴、二级导流管及其二级喷嘴、三级导流管及其三级喷嘴、四级导流管及其四级喷嘴，二级导流管、三级导流管和四级导流管与油室连接，一级导流管装在二级导流管的上面；二级喷嘴、三级喷嘴和四级喷嘴的间隙为固定间隙。它结构简单，制作容易，显著提高高真空油扩散泵的抽气速率、拓宽抽气范围，气密性高，焊接变形小，提高工作效率；能获得10－2～10－6Pa高真空和超高真空环境。广泛用于航空航天、原子能、真空冶金、热处理、镀膜、化工等领域。 | ||||||
| 15 | 小四级高真空玻璃油扩散泵 | CN01255111.2 | 2001-12-05 | CN2536825Y | 2003-02-19 | 王传兴 |
| 本实用新型涉及一种小四级高真空玻璃油扩散泵，它包括泵体，进水管，出水管，油初级喷口，二级喷口，三级喷口，四级喷口，以及抽气管。它还包括位于泵体底部的小面积导油管，该导油管的底端管口位于泵体底部，导油管的上端管口位于油初级喷口级段。本实用新型解决了底部四周反油的缺点，提高了产品的抽真空度，降低了生产成本，为加快用户的生产效率提供了高效的服务。 | ||||||
| 16 | 大口径高真空油扩散泵 | CN201520504889.7 | 2015-07-14 | CN204783872U | 2015-11-18 | 林森; 林峰; 周丹 |
| 本实用新型公开了一种扩散泵，特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵，它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置，泵体采用了凸腔结构，泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内，泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构，各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴，喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。本实用新型具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。 | ||||||
| 17 | 一种真空扩散泵 | CN201320055749.7 | 2013-02-01 | CN203114757U | 2013-08-07 | 谢长明; 高登华; 谢云 |
| 一种真空扩散泵，包括泵体，泵体上设有入口和出口，泵体外壁设有冷却夹套，泵体的真空腔内设有多级喷嘴，蒸发油腔与多级喷嘴分别连接，蒸发油腔下部设有加热元件，所述的蒸发油腔内设有导油盘；所述的导油盘呈倒扣的碗状，导油盘外缘最宽处覆盖回油孔的水平面投影位置，最窄处覆盖所有蒸发孔的水平面投影位置。所述的蒸发油腔或加热元件附近设有温度传感器。本实用新型通过设置的导油盘，提高了油的蒸发效率。通过设置的冷凝栅，确保油蒸汽在此处被冷凝，不会产生返流。设置的温度传感器，可以方便地观察扩散泵加热元件的运作情况，及时对设备进行修理维护，从而提高生产效率。 | ||||||
| 18 | 高真空玻璃油扩散泵 | CN201020219922.9 | 2010-06-08 | CN201723511U | 2011-01-26 | 邹仲秋 |
| 本实用新型公开了一种高真空玻璃油扩散泵，该泵包括主泵体，主泵体上下两侧分别连有吸气管和抽气管，主泵体内设有输油管，输油管上从上至下设有四级喷嘴，该泵还包括一副泵体，连接设于抽气管另一端，并且副泵体内还设有与抽气管相连通的数级喷嘴，副泵体的另一端设有抽气口。通过副泵体与主泵体的喷嘴共同作用，能够将油蒸汽更加均匀的扩散到整个泵体及管路内，从而能够有效提高系统的抽真空度，完全满足各类高真空产品的生产工艺需求。 | ||||||
| 19 | 一种电子级材料纯化扩散泵 | CN202321384365.X | 2023-05-30 | CN219733764U | 2023-09-22 | 颜超; 李娟 |
| 本实用新型提供一种电子级材料纯化扩散泵，涉及扩散泵技术领域，包括加热底座和扩散管道，加热底座顶部连接设有扩散管道，扩散管道顶端连接设有泵体，扩散管道内部靠近地面处设有主导流管，主导流管顶端依次连接设有三级扩散环、第二导流副管、二级扩散环、第一导流副管和一级扩散环，扩散管道内部设置管口直径之间减小的主导流管、第二导流副管和第一导流副管进行油蒸汽导流使用，并设置向内弧形弯折的以及扩散环和二级扩散环进行导流，使经过一级扩散环和二级扩散环流出的油蒸汽在接触二级扩散环外壁和三级扩散环外壁后发生折流，增加整个油蒸汽在扩散管道内部的停留时间，提高真空处理效率，从而提高整体的纯化效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 | ||||||
| 20 | 一种带分流板的四级分馏式油扩散泵 | CN201921376852.5 | 2019-08-23 | CN210317948U | 2020-04-14 | 潘燕萍; 井苅晴美 |
| 本实用新型公开了一种带分流板的四级分馏式油扩散泵，包括内置泵芯的泵体，泵体的底部设有油室，泵体的上端设有进气口，泵体的侧端底部设有喷射嘴，且喷射嘴外接有排气管，泵体的外周固定有冷却水管，油室中固定有支撑罩，支撑罩由支撑板和柱形管构成，支撑罩的内部设有加热管道以及位于其上方的分流板，分流板包括中心盲板、第一环形端板和第二环形端板，支撑罩的上侧固定有泵芯。本实用新型结构设计科学合理，在油室中增设有分流板，能够对馏分进行预导向，增大通过蒸馏能够提高的极限真空度；同时由于分流板的存在，能够将未达到沸点前挥发的馏分进行有效拦截阻挡，进而大幅降低返油现象，提高泵体的使用效果。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 | ||||||
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