| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 一种智能抽真空系统的循环抽真空方法 | CN202311552980.1 | 2023-11-21 | CN117662418A | 2024-03-08 | 张铁强; 魏裕隆; 张文明; 李海龙; 徐钢; 毛伟兴 |
| 本发明涉及的一种智能抽真空系统的循环抽真空方法，对粗真空主管路进行预抽空，对高真空管路进行预抽空，连接待抽容器并安装，对待抽容器进行粗抽，对容器夹层进行氮气冲洗，对容器内胆进行加热，对容器夹层进行高真空获得，漏放气测试，对容器进行封接，对真空腿管进行氮气冲洗。本发明实现对容器夹层材料的热冲洗以及粗真空到高真空的满足条件自动切换，缩短了抽真空系统的运行时间，降低了工作人员的劳动强度，节约了人力资源和能耗。 | ||||||
| 2 | 一种新型高抽速真空油扩散泵 | CN202310325725.7 | 2023-03-30 | CN116428227A | 2023-07-14 | 杨云燕; 池也水; 郭向宏; 谢雨彤 |
| 本发明涉及真空油扩散泵技术领域，具体为一种新型高抽速真空油扩散泵，包括泵体，所述泵体为直容腔，所述泵体的内腔固定安装有泵芯组件，所述泵体的底部安装有加热器，所述泵体的下部外侧联通有扩压管，所述扩压管的另一端联通有前级管，所述泵体、扩压管和前级管的外表面缠绕有冷却管，所述泵芯组件的上部通过固定件与泵体内壁支撑紧固；本发明通过设置四级扩散出油，具备高效的优点，解决了目前的真空油扩散泵在使用的过程中，出油雾的效率较低，导致向被抽取介质传递的动能较少，造成泵气效率较低的问题。 | ||||||
| 3 | 一种分区加热式扩散泵 | CN202210211928.9 | 2022-03-04 | CN114427550A | 2022-05-03 | 刘佩杰; 王用兵 |
| 本发明涉及镀膜设备技术领域，具体地说，涉及一种分区加热式扩散泵，其喷射塔内从外向内依次设置有第一喷射区、第二喷射区、第三喷射区、第四喷射区；所述喷射塔的底部设置有与四个喷射区分别相对应的加热装置，每个喷射区所对应的加热装置分别配置有可单独调整加热功率的调功器。通过改变加热功率调整各个喷射区的喷气压力，改变供气量，从而改变泵的特性；所有加热装置通过单独调整功率从而组合成各种泵的抽气状态，以适于不同使用条件，同时，可通过PLC控制或微处理器处理，根据功能调整至最佳状态，达到节能效果。 | ||||||
| 4 | 一种新型扩散泵冷却装置 | CN202010921150.1 | 2020-09-04 | CN112128149A | 2020-12-25 | 不公告发明人 |
| 本发明提供了一种新型扩散泵冷却装置，包括：泵体(1)、油锅保温罩(2)、环状冷却水管组(3)、笔直型冷却水管组(4)、线圈型冷却水管(5)、冷却水夹层壳体(6)、环状冷却水管组进水口(7)、环状冷却水管组出水口(8)、冷却水夹层壳体进水口(9)、冷却水夹层壳体出水口(10)、外接冷却水管(11)。本发明提供的冷却装置通过多种冷却水管的设计方式，贴合泵体设计使得其比普通的扩散泵使用的冷却系统冷却效率高，可在短时间内达到冷却效果。通过使用外接冷却水管连接两个冷却部件，使得冷却装置实现水循环冷却，不需要其他冷却方式和化学试剂，不会对环境造成污染。 | ||||||
| 5 | 一种返油率低的油扩散泵 | CN202010034541.1 | 2020-01-14 | CN111156207A | 2020-05-15 | 陈国兵 |
| 本发明涉及真空泵设备领域，且公开了一种返油率低的油扩散泵，包括泵体，所述泵体内腔的底部设有加热组件，所述加热组件的顶部设有导油盘，所述导油盘顶端的中部设有泵芯，所述导油盘顶部的外沿设有环状的泵环套，且泵环套与泵芯的高度相同，所述泵芯和泵环套的内径均由下至上均匀减小，泵体的内部设有位于泵芯和泵环套之间的冷却环，所述冷却环内腔的顶部接通有进流管，且冷却环侧面的底部接通有出流管。该返油率低的油扩散泵，通过在导油盘顶部的外沿增设与泵芯等高的泵环套，并将冷却环置于泵芯和泵环套之间，使得油蒸汽受冷却环作用的距离均处于最长状态，从而确保油蒸汽充分冷却，降低了油随空气的流失率，节省了成本。 | ||||||
| 6 | 一种工业用大型真空机系统 | CN201910867830.7 | 2019-09-15 | CN110469484A | 2019-11-19 | 陈舟; 李甲铎; 徐滕州 |
| 本发明提供了一种工业用大型真空机系统，此系统包含两个子系统：抽真空系统和箱体系统，包括以下步骤：放好物料后，箱座上升与箱盖密封结合，阀120开启，旋片泵进行粗抽，接着罗茨泵开始工作，当压力达到设定值时，阀120关闭，阀110和阀130打开，扩散泵开始工作，抽气完成后各级泵停止工作。箱体由箱盖和箱座组成，其中箱体固定安装，箱座由气缸带动沿导轨运行。本发明中箱盖和箱座之间安装有光幕感器，在箱盖向上动作时，光幕感器接通，遇到障碍时光幕感器动作，同时箱盖停止动作并复位，提高了工作过程的安全性。 | ||||||
| 7 | 一种浮动加热旋转喷射的扩散泵 | CN201710227112.4 | 2017-04-10 | CN108691824A | 2018-10-23 | 戴长虹 |
| 一种浮动加热旋转喷射的扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其蒸发系统采用浮动加热的加热方式，蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件，蒸发器具有加热区和储油区，两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通，加热器设置在加热区内，对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气；加热器固定在中间隔板上，中间隔板能够漂浮在泵油中；喷射系统中蒸气导管的顶部是旋转喷头，旋转喷头的周围有一系列喷嘴，喷嘴喷出蒸气时能够使旋转喷头高速旋转。 | ||||||
| 8 | 一种快速启动的真空扩散泵 | CN201710227104.X | 2017-04-10 | CN108691822A | 2018-10-23 | 戴长虹 |
| 一种快速启动的真空扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其蒸发系统采用局部加热的加热方式，蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件，蒸发器具有加热区和储油区，两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通，加热器设置在加热区内，对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气；喷射系统中的蒸气导管上或周围有加热装置，能够提高泵芯和蒸气的温度，增加喷射蒸气的速率和动能，并能实现扩散泵的快速启动。 | ||||||
| 9 | 油扩散泵和用于该油扩散泵的油蒸气产生器 | CN201480077167.6 | 2014-06-24 | CN106104009B | 2017-09-08 | 税所慎一郎 |
| 提供一种油扩散泵，其具备可消除在使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。一种真空泵，其中，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，通过使该油蒸气产生器(70)工作来使工作油(8)气化从而产生油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去而对吸入气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具备：在立起设置方向上延伸的筒状的外壳(71)(被加热体)；隔着绝缘材料(73)缠绕在筒部件(71)的周围的感应线圈(75)；以及对感应线圈(75)施加交流电的供电单元。外壳(71)和感应线圈(75)以浸渍于储存在壳体(51)内的工作油(8)中的配置被组装于壳体。并且，构成为，通过使供电单元工作而对感应线圈(75)施加交流电，由此使外壳(71)自身加热，从而使工作油(8)气化。 | ||||||
| 10 | 节能型水泵以及所述水泵的控制系统 | CN201280039139.6 | 2012-08-08 | CN103765097B | 2016-08-17 | 任周赫 |
| 本发明涉及一种节能型水泵以及所述水泵的控制系统，其包括从蒸汽产生器得到蒸汽的泵体部、用于打开及关闭泵体部和蒸汽产生器之间的管道的蒸汽传送单元、以及用于打开及关闭泵体部和供应处之间的管道的供水单元，而且，打开蒸汽传送单元以及供水单元而向供应处供水。本发明涉及一种节能型水泵以及所述水泵的控制系统，其包括从蒸汽产生器得到蒸汽的泵体部、用于打开及关闭泵体部和蒸汽产生器之间的管道的蒸汽传送单元、以及用于打开及关闭泵体部和水源之间的管道的吸入单元，而且，打开及关闭蒸汽传送单元而得到蒸汽后，打开吸入单元而吸入水源的水。 | ||||||
| 11 | 低于大气压的气体洗涤器 | CN201280046145.4 | 2012-07-06 | CN103796733A | 2014-05-14 | M.G.拉纳; D.科林斯 |
| 为了使通过泵或允许在其中累积的污染物的量最小化，提供适用于真空泵上游的低于大气压的气体洗涤器(100)。该气体洗涤器包括：容器(12)和用于在容器内形成清洁溶剂喷射的机构(22)，容器包括用于在低于大气压的压力待清洁的气体的入口(14)和出口(18)，入口和出口布置成使待清洁的气体通过清洁溶剂的喷射，用于形成喷射的机构包括连接到至少一个喷射喷嘴(22)的清洁溶剂入口(24)和清洁溶剂出口(28)，可以使用泵将用过溶剂从容器泵送通过清洁溶剂出口，其中泵(102)布置成将用过的溶剂再循环回到清洁溶剂入口。 | ||||||
| 12 | 一种扩散泵加热系统 | CN201310014621.0 | 2013-01-15 | CN103075374A | 2013-05-01 | 姜长缨 |
| 本发明公开了一种扩散泵加热系统，包括扩散泵、主机控制装置、点火控制装置和带点火感应针的燃烧装置，主机控制装置通过点火控制装置与点火感应针相连，所述扩散泵设于燃烧装置上方，所述燃烧装置上设有进气管。采用燃气加热系统替换电加热系统，在开机时，加热时间缩短，在加热期间，机械泵配合的时间也相应缩短，减少了加热期间的电能消耗；同时由于升温时间缩短，使得工作时间加长，提供了生产效率；而且使用燃气加热比使用电加热成本低。 | ||||||
| 13 | 可调控加热功率的真空扩散泵 | CN202110518181.7 | 2021-05-12 | CN113236612A | 2021-08-10 | 李重河; 张学贤; 冯齐胜; 段宝华; 杨宇辰; 毛露; 陈光耀; 王世华; 鲁雄刚 |
| 本发明公开了一种可调控加热功率的真空油扩散泵，包括扩散泵与扩散泵相连接的高功率瓷管可调绕线电阻装置，瓷管可调绕线电阻装置包括变压调节器、立式波纹绕制电阻、表面涂敷绝缘树脂漆、固定元件、接线端子；将所述瓷管可调绕线电阻装置与扩散泵加热元件相连接。本发明的目的在于提供了一种可调控功率的真空扩散泵。设计实用、新颖，增加了高功率瓷管可调绕线电阻外部装置，可实现扩散泵的快速启动，正常工作、高真空状态三档工作状态，能够根据实际情况控制加热元件的加热功率，提高真空油扩散泵的抽气效率以及极限真空度，操作简单，实用性强，利用推广。 | ||||||
| 14 | 一种浮动加热式快速启动扩散泵 | CN201710227071.9 | 2017-04-10 | CN108691819B | 2021-03-30 | 戴长虹 |
| 一种浮动加热式快速启动扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其蒸发系统采用浮动加热的加热方式，蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件，蒸发器具有加热区和储油区，两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通，加热器设置在加热区内，对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气；加热器固定在中间隔板上，中间隔板能够漂浮在泵油中，使加热区在正常的泵油范围内始终保持恒定不变；喷射系统中的蒸气导管上或周围有加热装置，能够提高泵芯和蒸气的温度，增加喷射蒸气的速率和动能，并能实现扩散泵的快速启动。 | ||||||
| 15 | 一种快速启动浮动加热旋转喷射的扩散泵 | CN201710227065.3 | 2017-04-10 | CN108691818B | 2021-03-30 | 戴长虹 |
| 一种快速启动浮动加热旋转喷射的扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其蒸发系统采用浮动加热的加热方式，蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件，蒸发器具有加热区和储油区，两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通，加热器设置在加热区内，对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气；加热器固定在中间隔板上，中间隔板能够漂浮在泵油中；喷射系统中蒸气导管的顶部是旋转喷头，旋转喷头的周围有一系列喷嘴，喷嘴喷出蒸气时能够使旋转喷头高速旋转；蒸气导管上或周围有加热装置，能够提高泵芯和蒸气的温度，并能实现扩散泵的快速启动。 | ||||||
| 16 | 真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统及抽真空方法 | CN202010786000.4 | 2020-08-05 | CN111810833A | 2020-10-23 | 应建明; 俊鹤; 梁春; 温玉珺; 陈昊 |
| 本发明涉及一种真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统及抽真空方法，包括抽真空单元、氮气置换单元和控制单元；抽真空单元包括短程抽气机组和长程抽气机组，两者分别通过抽真空管路与真空多层绝热低温容器夹层连通；短程抽气机组包括与抽真空管路连通的油扩散真空泵以及与油扩散真空泵连通的双级旋片真空泵；长程抽气机组包括与抽真空管路连通的罗茨真空泵以及与罗茨真空泵连通的单级旋片真空泵；氮气置换单元包括氮气源、连接在氮气源和抽真空管路之间的气体加热器以及与真空多层绝热低温容器夹层连通的自动出气控制阀门。本发明缩短抽空时间，获得优异的夹层真空度指标，节约工艺成本、简化操作，解决突然停电时泵油反抽进入夹层的问题。 | ||||||
| 17 | 冷阱及真空抽气系统 | CN201810819499.7 | 2018-07-24 | CN108815875A | 2018-11-16 | 李凯; 陈立国 |
| 本发明涉及一种冷阱和真空抽气系统。冷阱包括至少一组冷媒管组，每一所述冷媒管组包括多个并排且间隔布设的冷媒管；每一所述冷媒管具有一迎风侧及与所述迎风侧背对的阻油侧；所述冷媒管的所述迎风侧形成具有凸面形状的迎风面，所述冷媒管的所述阻油侧形成具有凹面形状或平面的阻油面。本发明提供的冷阱和真空抽气系统，兼顾了阻挡泵油分子扩散的功能和从冷阱靠近真空室的一侧至泵内一侧排气顺畅的功能。 | ||||||
| 18 | 一种浮动加热式真空扩散泵 | CN201710227103.5 | 2017-04-10 | CN108691821A | 2018-10-23 | 戴长虹 |
| 一种浮动加热式真空扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其蒸发系统采用浮动加热的加热方式，蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件，蒸发器具有加热区和储油区，两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通，加热器设置在加热区内，对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气；加热器固定在中间隔板上，中间隔板能够漂浮在泵油中，使加热区在正常的泵油范围内保持恒定不变；加热器固定在中间隔板上，中间隔板能够漂浮在泵油中，使加热区在正常的泵油范围内保持恒定不变。 | ||||||
| 19 | 一种即热式真空扩散泵 | CN201710227064.9 | 2017-04-10 | CN108691817A | 2018-10-23 | 戴长虹 |
| 一种即热式真空扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其蒸发系统采用即热式的加热方式，蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件，蒸发器具有加热区和储油区，两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通，加热器设置在加热区内，对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气。 | ||||||
| 20 | 大口径高真空油扩散泵 | CN201510409541.4 | 2015-07-14 | CN104989679A | 2015-10-21 | 林森; 林峰; 周丹 |
| 本发明公开了一种扩散泵，特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵，它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置，泵体采用了凸腔结构，泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内，泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构，各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴，喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。本发明具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。 | ||||||
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