专利汇可以提供单晶硅片清洗制绒方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开一种单晶 硅 片 清洗制绒方法,该方法依次包括粗抛、预清洗、制绒、后清洗、 酸洗 、慢提拉以及烘干,其中,粗抛是于预清洗之前使用浓度0.8%—1.2%的KOH溶液对 硅片 进行初步 抛光 ;后清洗是使用浓度1.2%—2.2%的H2O2和浓度0.5%—0.8%的KOH混合溶液清洗制绒后该硅片表面残留物。本发明适用于 单晶硅 片清洗制绒工序,有效解决了硅片制绒后添加剂残留问题,并且改善了硅片表面脏污难以去除的情况,提高了制绒的合格率。,下面是单晶硅片清洗制绒方法专利的具体信息内容。
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