技术领域
[0001] 本
发明属于微电子器件技术领域,具体地说是一种T栅N面GaN/AlGaN鳍式高电子迁移率晶体管Fin-HEMT,可用于
微波功率集成
电路。
背景技术
[0002] GaN材料作为第三代
半导体材料,由于禁带宽度大、二维电子气2DEG浓度高和电子饱和速度高等优点,被认为是制作微波功率器件及高速器件的优良材料。特别是AlGaN/GaN
异质结高电子迁移率晶体管HEMT,在微波功率电路中有广泛的应用。
[0003] 随着晶体管尺寸的缩小,栅长越来越短,传统高电子迁移率晶体管HEMT的短
沟道效应越来越明显。普通的I型栅,其寄生电容和寄生
电阻较大,影响高电子迁移率晶体管的交流小
信号特性和功率特性。用鳍式
场效应晶体管FinFET结构制作的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管HEMT器件,采用三维立体结构,使栅极将沟道从三个方向包裹起来,提高了栅控能
力,改善了短沟道效应。2014年,南洋理工大学的S.Arulkumaran等人首次在
硅衬底上制备出了InAlN/GaN Fin-HEMT,这种结构有更低的漏致势垒降低,更高的
开关电流比,参见In0.17Al0.83N/AlN/GaN Triple T-shape Fin-HEMTs with gm=646mS/mm,ION=1.03A/mm,IOFF=1.13μA/mm,SS=82mV/dec and DIBL=28mV/V at VD=0.5V,IEEE,International Electron Device Meeting(IEDM),2014:25.6.1-25.6.4。该器件采用的是Ga面GaN基结构,相比于N面GaN基器件,Ga面GaN基器件有较高的欧姆
接触电阻,较差的二维电子气限域性,对短沟道效应的抑制能力也较弱。
发明内容
[0004] 本发明的目的在于针对上述高电子迁移率晶体管HEMT器件的不足,提出一种T栅N面GaN/AlGaN鳍式高电子迁移率晶体管及制作方法,以抑制短沟道效应,减小
欧姆接触电阻,提高最大振荡
频率。
[0005] 为实现上述目的,本发明的T栅N面GaN/AlGaN鳍式高电子迁移率晶体管,
自下而上包括衬底1、GaN
缓冲层2、AlGaN势垒层3、GaN沟道层4、栅介质层5、
钝化层6和源、漏、栅
电极,其特征在于:
[0006] GaN缓冲层和沟道层均采用N面GaN;
[0007] 栅电极采用T型栅并且包裹在GaN/AlGaN异质结的两侧和上方,形成三维立体栅结构。
[0008] 依据上述技术思路,本发明制作T栅N面GaN/AlGaN鳍式高电子迁移率晶体管的方法,包括如下步骤:
[0009] 1)在C面SiC、a面蓝
宝石或N面GaN单晶衬底上,利用分子束
外延MBE或金属有机化合物化学气相淀积MOCVD生长1.5~3μm的N面GaN缓冲层;
[0010] 2)在GaN缓冲层上先生长20nm厚的AlGaN,其Al组分从5%渐变到30%;再生长厚度为5~10nm的AlGaN,其Al组分为30%;
[0011] 3)在AlGaN势垒层上生长厚度为20~30nm的N面GaN沟道层;
[0012] 4)通过
刻蚀GaN沟道层、AlGaN势垒层和GaN缓冲层的边缘部分,形成鳍型GaN/AlGaN异质结;
[0013] 5)在GaN沟道层上表面的两端制作源、漏电极;
[0014] 6)利用
原子层淀积ALD或
等离子体增强化学气相淀积PECVD技术在AlGaN势垒层和GaN沟道层表面生长栅介质层;
[0015] 7)在栅介质层上
光刻T型栅的栅形状,并用
电子束蒸发制备栅电极;
[0016] 8)在SiN和电极表面利用等离子体增强化学气相淀积PECVD淀积
钝化层,刻蚀掉电极键合点上多余的钝化层,并进行金属互连蒸发,完成器件的制备。
[0017] 本发明具有如下优点:
[0018] 1.本发明器件由于采用N面GaN材料,所以欧姆接触电阻较小,有很好的二维电子气限域性,而且因为势垒层在沟道层下方,所以可以灵活缩小栅与沟道的距离。
[0019] 2.本发明器件由于采用鳍型Fin栅结构,可以很好的抑制短沟道效应,加强栅控能力。
[0020] 3.本发明器件由于采用T型栅电极,可以提高器件的最高振荡频率,提高器件的微波性能。
附图说明
[0021] 图1是本发明器件结构示意图;
[0023] 图3是图1中垂直方向b的剖视图;
[0024] 图4是本发明器件的制作工艺流程示意图。
具体实施方式
[0025] 以下结合附图对本发明作进一步详细描述。
[0026] 参照图1、图2和图3,本发明器件包括衬底1、GaN缓冲层2、AlGaN势垒层3、GaN沟道层4、栅介质层5、SiN钝化层6和栅、源、漏电极。其中衬底1采用SiC或GaN或蓝宝石;N面GaN缓冲层2位于衬底1之上,其厚度是1.5~3μm;AlGaN势垒层3位于N面GaN缓冲层2之上,该势垒层3由两层AlGaN组成,其中第一层AlGaN的厚度是20nm,Al组分从5%渐变到30%,第二层AlGaN的厚度是5~10nm,Al组分为30%;N面GaN沟道层4位于AlGaN势垒层3的上面,其厚度是20~30nm;AlGaN势垒层3和GaN沟道层4的宽度均为2~5μm;GaN沟道层4和AlGaN势垒层3组成GaN/AlGaN异质结;栅介质层5位于沟道层4的周围和势垒层3的两侧,该栅介质层5采用SiN或Al2O3,其厚度是5~10nm;栅电极位于栅介质层5的两侧和上方,该栅电极采用T型结构,其由栅颈和栅帽组成,栅颈的高度为40~90nm,栅颈的长度为200~500nm,栅帽的高度为100~300nm,栅帽的长度为300~600nm;源电极位于沟道层4上表面的左端,漏电极位于沟道层4上表面的右端;钝化层6
覆盖在源、漏、栅电极和栅介质层5的表面,该钝化层6采用SiN,其厚度为50~100nm。
[0027] 参照图4,本发明给出制备T栅N面GaN/AlGaN鳍式高电子迁移率晶体管的如下三种
实施例。
[0028] 实施例1:制作鳍型GaN/AlGaN异质结宽度为2μm,T型栅的栅颈高度为50nm,栅帽高度为100nm的T栅N面GaN/AlGaN鳍式高电子迁移率晶体管。
[0029] 步骤一:生长缓冲层。
[0030] 在
温度为680℃,压强为5×10-3Pa的工艺条件下,利用分子束外延MBE设备在图4(a)所示的蓝宝石衬底上生长一层厚度为1.5μm的N面GaN缓冲层。
[0031] 步骤二:生长势垒层。
[0032] 在温度为680℃,压强为5×10-3Pa的工艺条件下,利用分子束外延MBE设备在GaN层上先生长一层厚度为20nm的AlGaN,Al组分从下到上由5%渐变到30%;再生长一层厚度为10nm,Al组分为30%的AlGaN层。
[0033] 步骤三:生长沟道层。
[0034] 在温度为680℃,压强为5×10-3Pa的工艺条件下,利用分子束外延MBE设备在AlGaN层上生长一层厚度为20nm的N面GaN沟道层,GaN沟道层与AlGaN势垒层形成GaN/AlGaN异质结,GaN/AlGaN异质结界面处形成二维电子气。
[0035] 上述步骤一、步骤二和步骤三的生长结果如图4(b)。
[0036] 步骤四:刻蚀鳍型GaN/AlGaN异质结。
[0037] 在GaN层上涂
光刻胶,利用电子束
光刻机进行曝光,得到鳍型Fin图案,再利用Cl2进行刻蚀,形成宽度为2μm的鳍型GaN/AlGaN异质结,结果如图4(c)。
[0038] 步骤五:制作源、漏电极。
[0039] 在GaN沟道层上涂胶得到光刻胶掩模,利用电子束光刻机曝光形成源、漏区域,并进行金属蒸发,选用Ti/Au做源、漏电极,其中Ti为5nm,Au为20nm,蒸发完成后进行金属剥离;再利用快速热
退火炉在N2氛围中进行退火处理,得到源、漏电极,结果如图4(d)。
[0040] 步骤六:制作栅介质层。
[0041] 利用等离子体增强化学气相淀积PECVD在GaN沟道层上生长一层55nm厚的SiN,然后涂胶,光刻得到栅图形;用SF6刻蚀掉栅区域50nm厚的SiN形成栅槽,剩余5nm厚的SiN作为栅介质层,制作结果如图4(e)。
[0042] 步骤七:制作栅极。
[0043] 在栅槽
位置采用电子束光刻机光刻T型栅形状,然后进行金属蒸发,选用Ti/Au做栅电极,其中Ti为50nm,Au为100nm,然后进行金属剥离,最终形成T型栅金属电极,T型栅的栅颈高度为50nm,栅颈长度为200nm,栅帽的高度为100nm,栅帽的长度为300nm。
[0044] 步骤八:制作钝化层。
[0045] 利用等离子体增强化学气相淀积PECVD在SiN和电极表面淀积厚度为50nm的SiN钝化层;然后在键合点光刻露出互连窗口,使用Cl2刻蚀掉互连窗口处多余的SiN钝化层,并进行金属互连蒸发,完成器件的制备。
[0046] 上述步骤七和步骤八的制作结果如图4(f)。
[0047] 实施例2:制作鳍型GaN/AlGaN异质结宽度为3μm,T型栅的栅颈高度为70nm,栅帽高度为200nm的T栅N面GaN/AlGaN鳍式高电子迁移率晶体管。
[0048] 步骤1:生长缓冲层。
[0049] 在SiC衬底上利用分子束外延MBE生长一层厚度为2μm的N面GaN缓冲层,其生长的工艺条件是:
[0050] 生长温度为680℃,压强为5×10-3Pa。
[0051] 步骤2:生长势垒层。
[0052] 在GaN层上利用分子束外延MBE先生长一层厚度为20nm的AlGaN,Al组分从下到上由5%渐变到30%;再生长一层厚度为8nm,Al组分为30%的AlGaN层,其生长的工艺条件是:
[0053] 生长温度为680℃,压强为5×10-3Pa。
[0054] 步骤3:生长沟道层。
[0055] 在AlGaN层上利用分子束外延MBE生长一层厚度为25nm的N面GaN沟道层,形成GaN/AlGaN异质结,GaN沟道层与AlGaN势垒层的界面处形成二维电子气,其生长的工艺条件是:
[0056] 生长温度为680℃,压强为5×10-3Pa。
[0057] 步骤4:刻蚀鳍型GaN/AlGaN异质结。
[0058] 在GaN层上涂光刻胶,利用电子束光刻机进行曝光,得到鳍型Fin图案,再利用Cl2进行刻蚀,形成宽度为3μm的鳍型GaN/AlGaN异质结。
[0059] 步骤5:制作源、漏电极。
[0060] 本步骤的实现与实施例1的步骤五相同。
[0061] 步骤6:制作栅介质层。
[0062] 本步骤的实现与实施例1的步骤六相同。
[0063] 步骤7:制作栅电极。
[0064] 在栅槽位置采用电子束光刻机光刻栅形状,然后进行金属蒸发,选用Ti/Au做栅电极,其中Ti为70nm,Au为200nm,然后进行金属剥离,最终形成T型栅金属电极,T型栅的栅颈高度为70nm,栅颈长度为300nm,栅帽的高度为200nm,栅帽的长度为400nm。
[0065] 步骤8:制作钝化层。
[0066] 本步骤的实现与实施例1的步骤八相同。
[0067] 实施例3:制作鳍型GaN/AlGaN异质结宽度为2.5μm,T型栅的栅颈高度为90nm,栅帽高度为250nm的T栅N面GaN/AlGaN鳍式高电子迁移率晶体管。
[0068] 步骤A:在衬底上生长缓冲层。
[0069] 利用分子束外延MBE设备在温度为680℃,压强为5×10-3Pa的工艺条件下,在SiC衬底上生长一层厚度为2.5μm的N面GaN缓冲层。
[0070] 步骤B:在缓冲层上生长势垒层。
[0071] 利用分子束外延MBE设备在温度为680℃,压强为5×10-3Pa的工艺条件下,在GaN缓冲层上先生长一层厚度为20nm的AlGaN,Al组分从下到上由5%渐变到30%,再生长一层厚度为5nm,Al组分为30%的AlGaN层。
[0072] 步骤C:在势垒层上生长沟道层。
[0073] 利用分子束外延MBE设备在温度为680℃,压强为5×10-3Pa的工艺条件下,在AlGaN层上生长一层厚度为22nm的N面GaN沟道层,形成GaN/AlGaN异质结,GaN沟道层与AlGaN势垒层的界面处形成二维电子气。
[0074] 步骤D:刻蚀鳍型GaN/AlGaN异质结。
[0075] 在GaN层上涂光刻胶,利用电子束光刻机进行曝光,得到鳍型Fin图案,再利用Cl2进行刻蚀,形成宽度为2.5μm的鳍型GaN/AlGaN异质结。
[0076] 步骤E:制作源、漏电极。
[0077] 本步骤的实现与实施例1的步骤五相同。
[0078] 步骤F:制作栅介质层。
[0079] 本步骤的实现与实施例1的步骤六相同。
[0080] 步骤G:制作栅电极。
[0081] 在栅槽位置采用电子束光刻机光刻栅形状,然后进行金属蒸发,选用Ti/Au做栅电极,其中Ti为90nm,Au为250nm,然后进行金属剥离,最终形成T型栅金属电极,T型栅的栅颈高度为90nm,栅颈长度为400nm,栅帽的高度为250nm,栅帽的长度为500nm。
[0082] 步骤H:制作钝化层。
[0083] 本步骤的实现与实施例1的步骤八相同。