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序号	专利名	申请号	申请日	公开（公告）号	公开（公告）日	发明人
121	一种三阴极等离子喷枪	CN201610157689.8	2016-03-11	CN105722295A	2016-06-29	张楠楠; 林丹阳; 张悦; 李德元; 张广伟; 尤佳庆; 马永亮; 黄靖轩; 王艺涵; 曹文慧
本发明公开了一种三阴极等离子喷枪，包括绝缘主体、送粉管、阴极、阴极载体、冷却夹套、阳极、阳极载体、陶瓷绝缘体、喷嘴、喷嘴载体、气管、进水管和出水管；冷却夹套套设在阳极载体上；喷嘴载体、陶瓷绝缘体固定在冷却夹套上；喷嘴设置在喷嘴载体的中心，阳极设置在阳极载体的中心；阳极的周部斜设有三个阳极通道，绝缘载体的周部斜设有三个阴极载体，阴极载体的中心设置有阴极，阴极等距且相对于主轴中心线成120度角，阴极和阳极通道的中心延长线汇聚于主轴中心线上，阴极与阳极通道之间设置有间隙；进水管设置在冷却夹套上，出水管设置在阴极载体上，气管设置在绝缘主体的圆周上，送粉管设置在绝缘主体的后端。
122	利用控制的气体组合物在包装内部产生杀菌剂	CN201610221567.0	2012-03-09	CN105711965A	2016-06-29	K.M.基纳; J.L.詹森
本发明描述了在具有选定的工作气体和被处理物的密闭容器中，产生大气压非平衡等离子体(ANEP)的仪器和方法。对多种工作气体混合物，包括空气、O2、N2、CO2、He和Ar，结合一系列的电离梯度、电压和ANEP柱长度进行研究，从而利用灭菌样品作为衡量有效性的标准来建立变量的有效范围。发现工作气体、电压梯度、电压以及ANEP柱长度的某些组合具有更好的效果。该方法可用于食品、医疗器械或其中用反应性气体气氛处理是有效的其它物体。
123	操作行波线性加速器的方法及行波线性加速器	CN201410085964.0	2010-01-25	CN103889139B	2016-06-29	P·D·特雷丝; R·H·米勒; J·王
操作行波线性加速器的方法及行波线性加速器。方法包括：将第一电磁波从电磁波源耦合到加速器结构的输入端，第一电磁波在行波线性加速器的加速器结构中具有第一振幅和第一频率；通过利用第一电磁波加速第一电子束从加速器结构的输出端生成具有第一能量的第一电子输出；以及使用与加速器结构的输入端和输出端相接的频率控制器来监测第一电磁波的第一相移，其中频率控制器将第一电磁波在加速器结构的输入端处的相位与第一电磁波在加速器结构的输出端附近的相位相比较，其中基于第一相移，频率控制器将第一信号发送给振荡器，并且其中基于第一电磁波的第一相移的幅度，振荡器使得电磁波源生成第二电磁波，第二电磁波在加速器结构中具有第二频率。
124	用于对离子产生和工艺气体离解具有独立控制的等离子体蚀刻的系统、方法和装置	CN201180010750.1	2011-01-28	CN102771192B	2016-06-29	埃里克·A·赫德森
蚀刻半导体晶片的方法，包括将源气体混合物注入到处理室中，将源气体混合物注入到处理室中包括将所述源气体混合物注入到所述处理室的上电极中的多个空心阴极腔中以及在所述空心阴极腔中的每一个中产生等离子体。在所述空心阴极腔中产生所述等离子体包括将第一偏置信号施加到所述空心阴极腔。将产生的等离子体或激活了的物质种类从所述空心阴极腔的每一个的对应出口输出到所述处理室中的晶片处理区域中。所述晶片处理区域位于所述空心阴极腔的所述出口和待蚀刻的表面之间。将蚀刻剂气体混合物注入到所述晶片处理区域中。等离子体也可被支撑和/或产生于所述晶片处理区域中。
125	一种阴极可更换的电子直线加速器二极电子枪	CN201510979622.8	2015-12-16	CN105657952A	2016-06-08	陆锐锋; 成军; 虞强
一种阴极可更换的电子直线加速器二极电子枪，包括电子枪的阳极、阴极、陶瓷筒外壳以及底座，阳极固定在阳极法兰内，阴极安装于聚束极内，底座盖设在陶瓷筒外壳上端，陶瓷筒外壳内轴向设有阴极支柱，阴极支柱的上端与底座可拆连接、下端与聚束极的上端相可拆连接，阴极支柱内同轴设有互相可拆连接的上电极和下电极，阴极的上端通过阴极引出线与下电极相连接，上电极穿过底座通过接线柱与高压电源相连接，陶瓷筒外壳的外表面缠绕有硅胶带，底座与陶瓷筒外壳的连接处浇筑有用于防止高压爬电的硅橡胶。本发明结构合理，阴极可更换方便，电子枪工作稳定可靠，极大地延长了使用寿命，降低设备使用成本，同时又起到了防止高压爬电的作用。
126	圆形波导内H11模式电磁波对等离子体的加热装置	CN201610165265.6	2016-03-22	CN105657951A	2016-06-08	赵海龙; 张岩; 江楠; 付光杰; 孙志刚; 赵堃
圆形波导内H11模式电磁波对等离子体的加热装置，属于电磁波对等离子体的加热技术领域。本发明用于适应在H11模式电磁波对等离子体的加热所产生的效应的研究中，对于改变微波功率，持续时间来考察不同功率微波对等离子体加速特性的实验需求。波导连接主体的外轮廓呈圆台形，波导连接主体的小端入口与接收管路的出口呈垂直连接；接收管路内设置铁氧体绝缘器；微波发生器向接收管路入口发射的微波信号经铁氧体绝缘器进入波导连接主体的小端入口，波导连接主体的大端出口与圆形波导的入口连通，波导连接主体与圆形波导之间设置真空微波窗，两根管路分别设置在圆形波导的左右两侧，与圆形波导垂直连通。本发明主要用于对等离子体的加热。
127	送丝型电子束增材制造设备用电子枪	CN201610219944.7	2016-04-07	CN105655215A	2016-06-08	韦寿祺; 朱国坤; 黄小东; 张建飞
本发明公开一种送丝型电子束增材制造设备用电子枪，主要由高压电缆、高压电缆引出头、电子枪外壳、绝缘组件、聚束极电极、阴极聚束极组件、阳极、灯丝首端电极、灯丝末端电极和灯丝变压器组成。该灯丝变压器浸没在上腔室的绝缘冷却油中，并由铁芯、一次绕组和二次绕组组成；一次绕组绕在铁芯上，该一次绕组的两端通过引出插头同时引出至电子枪外壳之外，并接至灯丝供电电源；二次绕组同样环绕在铁芯上，该二次绕组的一端与灯丝首端电极相连，另一端与灯丝末端电极相连。聚束极电极与灯丝电极间接有一稳压元件。本发明有利于电子枪灵活移动及延长灯丝寿命，并能够有效抑制电子枪放电电子束流。
128	用于介电蚀刻的阴离子控制	CN201280036074.X	2012-07-09	CN103703870B	2016-06-08	阿列克谢·马拉赫塔诺夫; 米尔扎弗·K·阿巴查夫; 拉金德·丁德萨; 埃里克·赫德森; 安德鲁·D·拜勒
提供了用于电容耦合等离子体室中的半导体处理的装置、方法和计算机程序。室包括底部射频（RF）信号发生器、顶部RF信号发生器和RF 相位控制器。底部RF信号发生器耦合到室中的下电极，而顶部RF信号发生器耦合到上电极。此外，底部RF信号设置在第一相位，而顶部RF信号设置在第二相位。RF相位控制器可操作来接收底部RF信号且可操作来设置第二相位的值。另外，RF相位控制器可操作来跟踪第一相位和第二相位以将顶部RF信号的最大值和底部RF信号的最小值之间的时间差保持在大约预定的恒定值，从而导致至晶片表面的阴离子通量的增加。
129	一种基于驻极体的等离子体密度测量系统及其测量方法	CN201510994161.1	2015-12-25	CN105636328A	2016-06-01	冯跃; 章艳; 娄文忠
本发明公开了一种基于驻极体的等离子体密度测量系统及其测量方法。本发明的等离子体密度测量系统包括：驻极体传感装置、电位测量装置、传动装置和测量控制装置；其中，驻极体传感装置包括驻极体传感器和驻极体底座，驻极体传感器为薄片状，正表面分布有电荷，安装在驻极体底座上；驻极体传感器通过驻极体底座安装在传动装置上；传动装置和电位测量装置分别连接至测量控制装置；待测的等离子体与电位测量装置位于驻极体传感装置的同侧；本发明通过测量驻极体传感器的表面电位，得到表面电荷的改变量，从而测量得到等离子体密度，具有测量成本低、测量过程简单、易于组织、测量准确度高且可对短自由行程的等离子体进行测量等优点。
130	间断粒子源	CN201310240538.5	2008-11-25	CN103347363B	2016-06-01	肯尼思.加尔; 格里特.T.兹沃克
一种同步回转加速器包括用于向一腔提供磁场的磁性结构，用于向该腔提供等离子体柱的粒子源，其中该粒子源具有外壳以保持该等离子体柱，其中该外壳在加速区域处间断从而露出该等离子体柱。电压源配置成向该腔提供射频（RF）电压以在该加速区域处加速来自该等离子体柱的粒子。
131	高频电力供给装置以及点火电压选定方法	CN201380028343.2	2013-06-03	CN104322153B	2016-05-25	让原逸男; 相川谕; 国玉博史
使负载端电压为高电压，选定等离子体负载的负载端电压为用于产生等离子体放电充分高的点火电压。在从高频电源通过供电部进行的向负载的高频电力的供给中，(a)使高频电源部的内部阻抗为比供电部的特性阻抗低的阻抗，(b)将连接高频电源和负载供给高频电力的供电部的电长度LE相对于高频交流的基本波长λ被选定为预定的关系，由此使负载端电压为高电压。关于供电部的电长度LE的选定，使作为负载的输入端的负载端为开路状态时的电长度LE相对于高频交流的基本波长λ为(2n-1)·(λ/4)-k·λ≤LE≤(2n-1)·(λ/4)+k·λ，n为整数，k为{π-2·cos－1(1/K)}/(4π)。
132	在可变电抗电路中使用BJT 开关的阻抗匹配网络	CN201280014097.0	2012-01-12	CN103444078B	2016-05-25	G·范齐尔; G·G·古罗夫
本公开描述了用于对从射频发生器向半导体处理室中的等离子体负载发射的射频功率进行阻抗匹配的系统、方法和设备。经由具有可变电抗电路的匹配网络进行阻抗匹配。可变电抗电路能够包括一个或多个电抗元件，全部都连接到第一端子并经由开关有选择地短接到第二端子。开关能够包括具备偏置电路控制的双极结型晶体管（BJT）或绝缘栅双极型晶体管（IGBT）。在导通状态中，对BJT基极-发射极结进行正向偏置，在集电极端子和基极端子之间传导AC。于是，AC主要从集电极向基极通过BJT，而不是从集电极向发射极通过。此外，可以修改用于真空可变电容器的经典匹配网络拓扑，使得电压不会在修改的拓扑中使BJT过载。
133	碳火花蒸发	CN201280018132.6	2012-03-26	CN103748655B	2016-05-18	J·拉姆; B·维德里希; K·鲁姆
本发明涉及一种用于运行脉冲断续火花放电的方法。火花通过电容器来馈电。在脉冲之间有断开的时间间隔，在断开的时间间隔期间没有火花电流流动。在脉冲之内，即在接通的时间间隔期间在达到电流阈值时电荷输送被停止并且重新开动，使得在脉冲之内出现子脉冲。按照本发明，时间间隔和子脉冲被选择，使得在重新接通电容器时火花放电没有困难地重新点燃。
134	一口出多档能量电子束的花瓣型加速器	CN201610119829.2	2016-03-03	CN105578703A	2016-05-11	罗应雄
本发明涉及一种一口出多档能量电子束的花瓣型加速器，现有花瓣型加速器采用9块磁铁，分别为一号磁铁、二号磁铁、三号磁铁、四号磁铁、五号磁铁、六号磁铁、七号磁铁、八号磁铁和九号磁铁。本发明是在七号磁铁和八号磁铁外侧各增设一块磁铁，用以改变电子轨道和进出加速腔的时间，使电子或受加速或受减速，从而改变电子在出口处的能量，实现一口出多档能量的目的。以增设一块或两块磁铁为代价，省去价格高昂的一套或三套束流引出系统，可以很好地满足实际应用的需要。
135	一种熔蚀式引弧的电极结构	CN201610087007.0	2016-02-16	CN105578702A	2016-05-11	周开根
一种熔断式引弧的电极结构，涉及到电弧等离子体装置的电极，包括圆盘电极和电极安装座，圆盘电极的中心有通孔，圆盘电极的外端有凹槽，电极安装座为中空结构，在电极安装座的后部中心有轴向贯通的熔丝安装口，在电极安装座后端壁体内侧有突起的圆锥凸台，圆锥凸台的中心孔与熔丝安装口贯通；圆盘电极安装在电极安装座的前端，圆盘电极与电极安装座之间的内空间构成环形冷却腔。本发明采取熔断式引弧的措施来使等离子体装置的二个电极之间的空间距离得到延长，加大高温等离子体电弧的能量，提高了效率和节省电能，并且省略了引弧电极的驱动装置，结构简单合理和操作简便。本发明适合处理工业有害气体领域中应用。
136	射频信号相位可调节的射频电源	CN201210497318.6	2012-11-28	CN103855910B	2016-05-11	李勇滔; 李英杰; 夏洋; 王文东
本发明公开了一种射频信号相位可调节的射频电源，所述射频电源包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路和射频功率检测器；所述射频信号发生器包括相位调节电路，所述相位调节电路用于调节外输入射频信号的相位。由于本发明在射频信号发生器内嵌入有相位调节电路，因此能够调节同步接入的射频信号的相位，消除本射频电源与提供射频信号的射频电源之间的信号相位差，避免串扰，提高工艺稳定性。
137	一种轴上电耦合驻波加速管的能量开关	CN201610035248.0	2016-01-19	CN105555009A	2016-05-04	金凯; 何志刚; 裴香涛; 王琳; 黄贵荣
本发明公开了一种轴上电耦合驻波加速管的能量开关，轴上电耦合驻波加速管包括交替布置的多个加速腔和耦合腔，加速腔与耦合腔之间设有阑片，阑片中部设有圆孔，所述能量开关包括板状前端和后端的拉杆，板状前端的中部设有圆孔，板状前端插入到耦合腔中，拉杆从所述耦合腔的侧壁伸出，当板状前端插入到其圆孔与阑片上的圆孔重合位置时，三个圆孔形成圆形波导结构。通过能量开关的插入和拉出，能实现医用电子直线加速器的能量多档可调。
138	一种正电子束流传输系统	CN201510872828.0	2015-12-03	CN105555008A	2016-05-04	谷渝秋; 陈佳; 吴玉迟; 董克攻; 朱斌; 谭放; 张天奎; 王少义; 闫永宏; 于明海
本发明提供了一种正电子束流传输系统,系统中的激光从激光光源发出，进入真空靶室，再由平面反射镜反射到离轴抛物面反射聚焦镜上，激光被聚焦在气体靶组件上方2mm处，钽靶位于气体靶组件后方，瞄准器位于钽靶后方；束流传输系统包括真空管道、螺线圈、二极磁铁、束流垃圾箱、瞄准器、螺线圈，正电子和电子一起进入真空靶室外的真空管道，并被螺线圈聚焦，随后通过二极磁铁，负电子进入束流垃圾箱，正电子通过瞄准器，最后正电子被瞄准器后方的螺线圈将正电子聚焦。
139	一种动态平行板等离子体发生器	CN201610070606.1	2016-02-01	CN105555002A	2016-05-04	左敏; 胡彬; 黎微明; 李翔
本发明公开了一种动态平行板等离子体发生器，技术方案如下，其包括腔体、射频电源一、射频电源二、导电接触装置、第一电极、可移动的第二电极，所述腔体两侧相对位置上各设有开口，所述射频电源一与第一电极相连，所述射频电源二通过导电接触装置与可移动第二电极连接，所述动态的可移动的第二电极与第一电极形成平行板电容式的双频等离子体发生器。
140	电弧等离子体装置	CN201610086992.3	2016-02-16	CN105554996A	2016-05-04	周开根
一种电弧等离子体装置，涉及等离子体设备，包括前端头、第一电极、第二电极、第三电极、支持件和电磁驱动组件，第一电极以嵌入方式安装在前端头之内，第一电极的环内空间构成产物出口；第二电极和第三电极安装在支持件的前端，第三电极置于第二电极的环形体之内，前端头的后端通过围护体连接到第二电极的前端，围护体的内空间构成等离子体发生室；电磁驱动组件安装在支持件的后端，电磁驱动组件由电磁线圈和线圈骨架组成，在线圈骨架中心的轴向孔道中有驱动杆，驱动杆的前部杆体中有引弧电极，引弧电极进行伸缩方式的引弧。本发明先使处理介质进行电离活化，再把处理介质在高温等离子体电弧的作用下进行处理，提高了效率和节省电能。

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