工业用机器人
阅读：1030发布：2020-05-16
专利汇可以提供工业用机器人专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种工业用 机器人 (1)，包括：装载多个搬运对象物(2)的第一手(3)、第二手(4)；分别保持第一手(3)、第二手(4)的第一臂(5)、第二臂(6)；保持第一臂(5)和第二臂(6)的共用臂(7)；作为第一臂(5)、第二臂(6)相对于共用臂(7)转动的各转动中心的第一转动中心部(31)、第二转动中心部(41)；以及保持共用臂(7)的主体部。第一手(3)和第二手(4)配置成在机器人(1)回转动作时重叠，在第一手(3)和第二手(4)上形成有用于防止与第一转动中心部(31)和第二转动中心部(41)产生干涉的避让部(43、44)。由此，工业用机器人(1)能减小回转直径，并能在一次搬入动作或搬出动作中搬运多个搬运对象物(2)。，下面是工业用机器人专利的具体信息内容。
1.一种工业用机器人，从收纳有搬运对象物的收纳部搬出所述搬运对象物和朝所述收纳部搬入所述搬运对象物，其特征在于，包括：
第一手和第二手，该第一手和第二手装载多个所述搬运对象物，该第一手和第二手包括：用于逐片装载所述搬运对象物的第一装载部和第二装载部、以及固定所述第一装载部的基端侧和所述第二装载部的基端侧的固定部，所述第一装载部和所述第二装载部以在与所述搬运对象物的搬运方向正交的正交方向上空开规定间隔的状态固定于所述固定部；
第一臂和第二臂，所述第一臂将所述第一手能转动地保持于一端侧，所述第二臂将所述第二手能转动地保持于一端侧；
共用臂，该共用臂将所述第一臂的另一端侧和所述第二臂的另一端侧能转动地保持；
第一转动中心部和第二转动中心部，所述第一转动中心部作为所述第一臂相对于所述共用臂转动的转动中心，所述第二转动中心部作为所述第二臂相对于所述共用臂转动的转动中心；以及
主体部，该主体部将所述共用臂能转动地保持，
在所述第一臂和所述第二臂相对于所述主体部收缩的状态、即所述第一手和所述第二手的待机状态下，所述第一手与所述第二手重叠配置，
所述共用臂形成为从所述第一臂或所述第二臂相对于所述共用臂转动的转动中心的轴向观察时呈大致三角形，
所述第一转动中心部和所述第二转动中心部分别配置在所述共用臂的不同角部的附近，
所述第一手和所述第二手的所述第一装载部和所述第二装载部在所述正交方向上的宽度大致等于所述共用臂的配置有所述第一转动中心部的角部与所述共用臂的配置有所述第二转动中心部的角部之间的距离，且大于所述第一转动中心部与所述第二转动中心部之间的间隔，并且，所述第一转动中心部与所述第二转动中心部之间的间隔大于所述第一手和所述第二手的所述固定部在所述正交方向上的宽度，
所述第一手和所述第二手形成有用于防止转动时与所述第一转动中心部和所述第二转动中心部产生干涉的避让部，
所述避让部在所述正交方向上形成于所述第一装载部和所述第二装载部的外侧。
2.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，所述第一手和所述第二手在所述待机状态下靠近地相对。
3.一种工业用机器人，从收纳有搬运对象物的收纳部搬出所述搬运对象物和朝所述收纳部搬入所述搬运对象物，其特征在于，包括：
第一手和第二手，该第一手和第二手装载多个所述搬运对象物，该第一手和第二手包括：用于逐片装载所述搬运对象物的第一装载部和第二装载部、以及固定所述第一装载部的基端侧和所述第二装载部的基端侧的固定部，所述第一装载部和所述第二装载部以在与所述搬运对象物的搬运方向正交的正交方向上空开规定间隔的状态固定于所述固定部；
第一臂和第二臂，所述第一臂将所述第一手能转动地保持于一端侧，所述第二臂将所述第二手能转动地保持于一端侧；
共用臂，该共用臂将所述第一臂的另一端侧和所述第二臂的另一端侧能转动地保持；
第一转动中心部和第二转动中心部，所述第一转动中心部作为所述第一臂相对于所述共用臂转动的转动中心，所述第二转动中心部作为所述第二臂相对于所述共用臂转动的转动中心；以及
主体部，该主体部将所述共用臂能转动地保持，
在所述第一臂和所述第二臂相对于所述主体部收缩的状态、即所述第一手和所述第二手的待机状态下，所述第一手和所述第二手从上侧起依次重叠配置，
所述共用臂形成为从所述第一臂或所述第二臂相对于所述共用臂转动的转动中心的轴向观察时呈大致三角形，
所述第一转动中心部和所述第二转动中心部分别配置在所述共用臂的不同角部的附近，
所述第一手和所述第二手的所述第一装载部和所述第二装载部在所述正交方向上的宽度大致等于所述共用臂的配置有所述第一转动中心部的角部与所述共用臂的配置有所述第二转动中心部的角部之间的距离，且大于所述第一转动中心部与所述第二转动中心部之间的间隔，并且，所述第一转动中心部与所述第二转动中心部之间的间隔大于所述第一手和所述第二手的所述固定部在所述正交方向上的宽度，
所述第二手形成有用于防止转动时与所述第一转动中心部产生干涉的避让部，所述避让部在所述正交方向上形成于所述第一装载部和所述第二装载部的外侧。
工业用机器人
[0001] 本发明专利申请是国际申请号为PCT/JP2008/002319，国际申请日为2008年8月27日，进入中国国家阶段的申请号为200880105098.X，名称为“工业用机器人”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
[0002] 本发明涉及一种搬运规定搬运对象物的工业用机器人。
背景技术
[0003] 一直以来，从收纳有搬运对象物的收纳部搬出搬运对象物、并朝收纳部搬入搬运对象物的工业用机器人得到了广泛使用。作为这种工业用机器人，已知有从作为收纳部的真空室搬出作为搬运对象物的半导体晶片等基板、并朝真空室搬入基板的基板搬运机器人(例如参照专利文献1和2)。
[0004] 专利文献1所记载的基板搬运机器人包括：大致L形的第一臂，其顶点部分能转动地保持于收纳有驱动部的驱动箱；第二臂和第三臂，其一端侧分别能转动地保持于第一臂的两端；以及基板保持部(手)，其能转动地保持于第二臂和第三臂各自的另一端侧。
[0005] 上述基板搬运机器人包括用于单独地驱动第一臂～第三臂的三个电动机，在手相对于第二臂转动的转动中心与手相对于第三臂转动的转动中心重叠的状态下，第一臂～第三臂相对于驱动箱回转。因此，上述基板搬运机器人可减小回转直径。另外，上述基板搬运机器人构成为一个手只装载一片基板，在一次搬入动作或搬出动作中只搬运一片基板。
[0006] 另外，专利文献2所记载的基板搬运机器人也与专利文献1所记载的基板搬运机器人大致同样地构成。
[0007] 专利文献1：日本专利特开平10－163296号公报
[0008] 专利文献2：日本专利特开平7－171778号公报
[0009] 发明的公开
[0010] 发明所要解决的技术问题
[0011] 近年来，为了实现生产率的提高，要求工业用机器人在一次搬入动作或搬出动作中搬运多片基板。然而，专利文献1或2所记载的基板搬运机器人在一次搬入动作或搬出动作中只搬运一片基板。即，在专利文献1或2中未公开能减小回转直径并能在一次搬入动作或搬出动作中搬运多片基板的工业用机器人的具体结构。
[0012] 因此，本发明的目的在于提供一种能减小回转直径、并能在一次搬入动作或搬出动作中搬运多个搬运对象物的工业用机器人的具体结构。
[0013] 解决技术问题所采用的技术方案
[0014] 为了解决上述技术问题，本发明工业用机器人从收纳有搬运对象物的收纳部搬出搬运对象物和朝收纳部搬入搬运对象物，其特征是，包括：装载多个搬运对象物的第一手和第二手、将第一手能转动地保持于一端侧的第一臂和将第二手能转动地保持于一端侧的第二臂、将第一臂的另一端侧和第二臂的另一端侧能转动地保持的共用臂、作为第一臂相对于共用臂转动的转动中心的第一转动中心部和作为第二臂相对于共用臂转动的转动中心的第二转动中心部、以及将共用臂能转动地保持的主体部，在第一臂和第二臂相对于主体部收缩的状态、即第一手和第二手的待机状态下，第一手与第二手重叠配置，并且，在第一手和第二手上形成有用于防止转动时与第一转动中心部和第二转动中心部产生干涉的避让部。
[0015] 本发明的工业用机器人包括：第一手，该第一手保持在另一端侧保持于共用臂的第一臂的一端侧；以及第二手，该第二手保持在另一端侧保持于共用臂的第二臂的一端侧，在第一手和第二手的待机状态下，第一手与第二手重叠配置。因此，本发明中，通过设置分别单独驱动共用臂、第一臂和第二臂的驱动源，并在第一手和第二手的待机状态下进行工业用机器人的回转动作，可减小共用臂、第一臂和第二臂等的回转直径(即工业用机器人的回转直径)。
[0016] 另外，本发明的工业用机器人包括装载多个搬运对象物的第一手和第二手，在第一手和第二手上形成有用于防止转动时与第一转动中心部和第二转动中心部产生干涉的避让部。因此，即使为了在一次搬入动作或搬出动作中搬运多个搬运对象物而使第一手和第二手大型化时，也能顺利地进行第一手和第二手等的动作。其结果是，本发明中，可在一次搬入动作或搬出动作中搬运多个搬运对象物。
[0017] 在本发明中，较为理想的是，共用臂形成为从第一臂或第二臂相对于共用臂转动的转动中心的轴向观察时呈大致三角形，第一转动中心部和第二转动中心部分别配置在共用臂的不同角部的附近。这样构成时，可提高共用臂的刚性，并可在共用臂上平衡地配置第一臂和第二臂。
[0018] 在本发明中，较为理想的是，第一手和第二手在待机状态下靠近地相对。这样构成时，可实现工业用机器人的薄型化。
[0019] 在本发明中，较为理想的是，第一手和第二手包括：用于逐片装载搬运对象物的第一装载部和第二装载部、以及固定第一装载部的基端侧和第二装载部的基端侧的固定部，第一装载部和第二装载部以在与搬运对象物的搬运方向正交的正交方向上空开规定间隔的状态固定于固定部，在正交方向上的第一装载部和第二装载部的外侧形成有避让部。这样构成时，第一装载部和第二装载部以在正交方向上空开规定间隔的状态固定于固定部，因此，即使在收纳有装载(或要装载)在第一装载部上的搬运对象物的收纳部与收纳有装载(或要装载)在第二装载部上的搬运对象物的收纳部之间存在分隔物时，也能适当地搬出或搬入搬运对象物。
[0020] 另外，为了解决上述技术问题，本发明的工业用机器人从收纳有搬运对象物的收纳部搬出搬运对象物和朝收纳部搬入搬运对象物，其特征是，包括：装载多个搬运对象物的第一手和第二手、将第一手能转动地保持于一端侧的第一臂和将第二手能转动地保持于一端侧的第二臂、将第一臂的另一端侧和第二臂的另一端侧能转动地保持的共用臂、作为第一臂相对于共用臂转动的转动中心的第一转动中心部和作为第二臂相对于共用臂转动的转动中心的第二转动中心部、以及将共用臂能转动地保持的主体部，在第一臂和第二臂相对于主体部收缩的状态、即第一手和第二手的待机状态下，第一手和第二手从上侧起依次重叠配置，并且，在第二手上形成有用于防止转动时与第一转动中心部产生干涉的避让部。
[0021] 本发明的工业用机器人包括：第一手，该第一手保持在另一端侧保持于共用臂的第一臂的一端侧；以及第二手，该第二手保持在另一端侧保持于共用臂的第二臂的一端侧，在第一手和第二手的待机状态下，第一手与第二手重叠配置。因此，通过设置分别单独驱动共用臂、第一臂和第二臂的驱动源，并在第一手和第二手的待机状态下进行工业用机器人的回转动作，可减小共用臂、第一臂和第二臂等的回转直径。
[0022] 另外，本发明的工业用机器人包括装载多个搬运对象物的第一手和第二手，第一手和第二手从上侧起依次重叠。另外，在配置于下侧的第二手上形成有用于防止转动时与第一转动中心部产生干涉的避让部。因此，即使为了在一次搬入动作或搬出动作中搬运多个搬运对象物而使第一手和第二手大型化时，也能顺利地进行第一手和第二手等的动作。其结果是，本发明中，可在一次搬入动作或搬出动作中搬运多个搬运对象物。
[0023] 发明效果
[0025] 图1是表示本发明的实施方式所涉及的工业用机器人的俯视图。
[0026] 图2是从图1的E－E方向表示工业用机器人的侧视图。
[0027] 图3是从图1的F－F方向表示工业用机器人的侧视图。
[0028] 图4是表示装有图1所示的工业用机器人的半导体制造系统的概略结构的俯视图。
[0029] 图5是图1所示的共用臂的俯视图。
[0031] 图7是图1所示的第一手的俯视图。
[0032] 图8是用于说明图1所示的工业用机器人的概略动作的图，图8(A)表示工业用机器人的返回原点状态，图8(B)表示工业用机器人的第一臂部伸缩动作时的状态。
[0033] (符号说明)
[0034] 1 机器人(工业用机器人)
[0035] 2 晶片(搬运对象物)
[0036] 3 第一手
[0037] 4 第二手
[0038] 5 第一臂
[0039] 6 第二臂
[0040] 7 共用臂
[0041] 7b 角部
[0042] 8 主体部
[0043] 13 交接室(收纳部)
[0044] 14 处理室(收纳部)
[0045] 18 第一装载部
[0046] 19 第二装载部
[0047] 20 固定部
[0048] 31 第一转动中心部
[0049] 41 第二转动中心部
[0050] 43、44 避让部
[0051] X 搬运方向
[0052] Y 正交方向
具体实施方式
[0053] 下面，根据附图来说明本发明的实施方式。
[0054] (工业用机器人的概略结构)
[0055] 图1是表示本发明的实施方式所涉及的工业用机器人1的俯视图。图2是从图1的E－E方向表示工业用机器人1的侧视图。图3是从图1的F－F方向表示工业用机器人1的侧视图。图4是表示装有图1所示的工业用机器人1的半导体制造系统12的概略结构的俯视图。图5是图1所示的共用臂7的俯视图。图6是用于说明图1所示的工业用机器人1的动力传递机构的概略结构的概念图。
[0056] 本实施方式的工业用机器人1(下面称为“机器人1”)是用于搬运作为搬运对象物的薄圆盘状半导体晶片2(下面称为“晶片2”)的机器人。如图1～图3所示，该机器人1包括：可装载两片晶片2的第一手3、可装载两片晶片2的第二手4、将第一手3能转动地保持于前端侧(一端侧)的第一臂5、将第二手4能转动地保持于前端侧(一端侧)的第二臂6、将第一臂5的基端侧(另一端侧)和第二臂6的基端侧(另一端侧)能转动地保持的共用臂7、以及将共用臂7能转动地保持的主体部8。本实施方式中，第一臂5和共用臂7构成了第一臂部9，第二臂6和共用臂7构成了第二臂部10。另外，图3中，第一手3的一部分和第二手4的一部分未图示。
[0057] 另外，本实施方式的机器人1例如装到如图4所示的半导体制造系统12中使用。具体而言，机器人1装到包括在半导体制造系统12与外部装置(未图示)之间进行晶片2的交接的交接室13、对晶片2进行规定处理的处理室14、以及配置机器人1的移送室15的半导体制造系统12中使用。
[0058] 如图4所示，半导体制造系统12中，移送室15形成为大致长方体状。在移送室15的一个侧面相邻配置有例如两个交接室13，在移送室15的其它三个侧面分别相邻配置有例如两个处理室14。相邻的交接室13之间以及处理室14之间形成有分隔壁16。另外，在交接室13或处理室14与移送室15之间配置有用于进行晶片2的出入的闸门(未图示)。
[0059] 配置于移送室15的机器人1从交接室13或处理室14搬出晶片2，并朝交接室13或处理室14搬入晶片2。即，第一臂部9和第二臂部10相对于主体部8进行伸缩，使晶片2出入交接室13和处理室14。
[0060] 具体而言，在搬入晶片2时，收缩的第一臂部9或第一臂部10伸展，第一手3或第二手4经过闸门，进入交接室13或处理室14的内部。另外，在搬出晶片2时，进入交接室13或处理室14内部而伸展的第一臂部9或第一臂部10收缩，第一手3或第二手4经过闸门，返回到移送室15中。
[0061] 另外，处理晶片2时交接室13内的压力、处理室14内的压力和移送室15内的压力均为大气压。即，本实施方式的机器人1在大气压下使用。另外，本实施方式中，交接室13和处理室14是收纳搬运对象物即晶片2的收纳部。
[0062] 第一手3和第二手4包括：用于逐片装载晶片2的第一装载部18和第二装载部19、以及固定第一装载部18的基端侧和第二装载部19的基端侧的固定部20。上述第一手3和第二手4的详细结构将在后面说明。
[0063] 如图1所示，第一臂5和第二臂6形成为从上下方向(图1的纸面垂直方向，图2、图3的上下方向)观察时的形状呈田径比赛用的跑道那样的形状。另外，第一臂5和第二臂6形成为空心状。
[0064] 共用臂7形成为从上下方向(即第一臂5或第二臂6相对于共用臂7转动的转动中心的轴向)观察时的形状呈大致三角形。具体而言，如图5所示，共用臂7形成为从上下方向观察时的形状呈大致等腰三角形。本实施方式中，与顶角部7a及顶角部7a以外的两个角部7b对应的部分形成为大致曲面状。另外，共用臂7形成为空心状。顶角部7a的角度θ1(参照图5)约75°。另外，将作为第一臂5相对于共用臂7转动的转动中心的后述第一转动中心部31的中心C1和后述共用臂7的转动中心C连接的线段、将作为第二臂6相对于共用臂7转动的转动中心的后述第二转动中心部41的中心C2和转动中心C连接的线段所形成的角度θ2(参照图5)约106°。
[0065] 如上所述，第一手3的基端侧能转动地与第一臂5的前端侧连结，第二手4的基端侧能转动地与第二臂6的前端侧连结。另外，第一臂5和第二臂6的基端侧能转动地与共用臂7连结。具体而言，第一臂5和第二臂6在两个角部7b(参照图5)附近分别能转动地与共用臂7连结。共用臂7能转动地与主体部8连结。具体而言，在从上下方向观察时比共用臂7的中心位置稍微接近顶角部7a的位置(转动中心C，参照图5)，共用臂7能转动地与主体部8连结。另外，在上下方向上，第一臂5、第一手3、第二手4、第二臂6、共用臂7和主体部8从上侧起依次配置。
[0066] 主体部8形成为外形呈大致圆柱状。如图6所示，该主体部8包括：配置于径向中心部的实心转轴22；以覆盖实心转轴22的外周面的方式与实心转轴22同心状配置的第一空心转轴23；以覆盖第一空心转轴23的外周面的方式与实心转轴22同心状配置的第二空心转轴21；用于使实心转轴22、第一空心转轴23和第二空心转轴21分别转动的三个驱动电动机(未图示)；以及用于使实心转轴22、第一空心转轴23和第二空心转轴21一起升降的升降机构(未图示)。
[0067] 第二空心转轴21、实心转轴22和第一空心转轴23可彼此相对旋转。本实施方式中，第二空心转轴21起到使共用臂7相对于主体部8转动的功能，实心转轴22起到使第一臂5相对于主体部8和共用臂7转动的功能，第一空心转轴23起到使第二臂6相对于主体部8和共用臂7转动的功能。
[0068] 在第二空心转轴21的上端侧固定着共用臂7。具体而言，共用臂7以第二空心转轴21的轴中心与转动中心C一致的方式固定在第二空心转轴21的上端侧。另外，实心转轴22的上端侧和第一空心转轴23的上端侧配置在共用臂7的内部。
[0069] 在实心转轴22的上端侧固定有配置在共用臂7内部的带轮24。在第一臂5基端侧的底面固定有带轮55，在第一臂5前端侧的内部固定有固定轴26。另外，在共用臂7内部的一个角部7b附近固定有固定轴27。在该固定轴27的上端固定有配置在第一臂5内部的带轮25。带轮55配置在共用臂7的内部。该带轮55被固定轴27插通，带轮55相对于固定轴27能转动。在带轮24与带轮55之间架设有皮带28。
[0070] 在第一手3基端侧的上表面固定有带轮29。带轮29配置在第一臂5前端侧的内部。另外，带轮29被固定轴26插通，带轮29相对于固定轴26能转动。在带轮29与带轮25之间架设有皮带30。
[0071] 本实施方式中，带轮25、55和固定轴27等构成了作为第一臂5相对于共用臂7转动的转动中心的第一转动中心部31。如图3所示，该第一转动中心部31包括覆盖带轮55与第一臂5间的连结部的盖构件32，该盖构件32配置在共用臂7的一个角部7b附近。另外，图6中，盖构件32未图示。
[0072] 在第一空心转轴23的上端侧固定有配置在共用臂7内部的带轮34。从该带轮34到第二手4的动力的传递机构与从带轮24到第一手3的动力的传递机构大致同样地构成。即，固定在第二臂6基端侧的底面上的带轮65被固定轴37插通，该固定轴37固定在共用臂7内部的另一角部7b附近，带轮65相对于固定轴37能转动。该带轮65配置在共用臂7的内部。另外，在固定轴37的上端固定有配置在第二臂6内部的带轮35。在带轮65与带轮34之间架设有皮带38。另外，在第二手4基端侧的底面固定有带轮39，该带轮39配置在第二臂6前端侧的内部。带轮39被固定轴36插通，该固定轴36固定在第二臂6前端侧的内部，带轮39相对于固定轴36能转动。另外，在带轮35与带轮39之间架设有皮带40。
[0073] 本实施方式中，带轮35、65和固定轴37等构成了作为第二臂6相对于共用臂7转动的转动中心的第二转动中心部41。如图3所示，该第二转动中心部41包括覆盖第二臂6的上表面侧的盖构件42，该盖构件42配置在共用臂7的另一角部7b附近。另外，图6中，盖构件42未图示。
[0074] 在此，本实施方式中，带轮24、25的带轮间间距、带轮25、29的带轮间间距、带轮34、35的带轮间间距和带轮35、39的带轮间间距相等。另外，带轮24的直径与第二带轮部25b的直径之比以及带轮34的直径与第二带轮部35b的直径之比为2：1，第一带轮部25a的直径与带轮29的直径之比以及第一带轮部35a的直径与带轮39的直径之比为1：2。
[0075] 因此，本实施方式中，在后述的伸缩动作时，第一手3与第一臂5构成的角度以及第一臂5与共用臂7构成的角度发生变化，但第一手3以方向恒定的状态在将带轮24的中心(即主体部8的中心)与带轮29的中心(即第一手3的转动中心)连接的虚拟直线上移动。同样地，在伸缩动作时，第二手4与第二臂6构成的角度以及第二臂6与共用臂7构成的角度发生变化，但第二手4以方向恒定的状态在将带轮34的中心与带轮39的中心连接的虚拟直线上移动。
[0076] (第一手和第二手的结构)
[0077] 图7是图1所示的第一手3的俯视图。
[0078] 如上所述，第一手3和第二手4包括第一装载部18、第二装载部19和固定部20。该第一手3和第二手4中，基端侧的宽度相对于前端侧变窄(即，基端侧缩小)，第一手3和第二手4整体形成为大致T形。如图7所示，第一装载部18和第二装载部19以空开规定间隔的状态固定于固定部20。具体而言，第一装载部18和第二装载部19以在与上述虚拟直线的方向即晶片2的搬运方向(图7的左右方向)X正交的正交方向(图7的上下方向)Y上空开规定间隔的状态，固定于固定部20。
[0079] 第一装载部18是薄板状的构件，例如用陶瓷形成。在该第一装载部18的前端侧装载晶片2。另外，如图7所示，在正交方向Y上的第一装载部18前端侧的宽度比基端侧的宽度宽。
[0080] 具体而言，从上下方向(图7的纸面垂直方向)观察时正交方向Y上的第一装载部18的内侧，由与搬运方向X平行的直线部18a、朝正交方向Y的外侧倾斜的倾斜部18b、与搬运方向X平行的直线部18c构成。直线部18a、倾斜部18b和直线部18c从基端侧朝着前端侧依次形成。直线部18a和倾斜部18b由圆弧部18d圆滑地连接，倾斜部18b和直线部18c由圆弧部18e圆滑地连接。
[0081] 另一方面，从上下方向观察时正交方向Y上的第一装载部18的外侧，由与搬运方向X平行的直线部18f、朝着正交方向Y的外侧以比倾斜部18b大的角度倾斜的倾斜部18g、与搬运方向X平行的直线部18h构成。直线部18f、倾斜部18g和直线部18h从基端侧朝着前端侧依次形成。直线部18f和倾斜部18g由圆弧部18j圆滑地连接，倾斜部18g和直线部18h由圆弧部18k圆滑地连接。
[0082] 本实施方式中，倾斜部18g和圆弧部18j成为用于防止第一手3相对于第一臂5转动时第一手3与第二转动中心部41产生干涉的避让部43。同样地，倾斜部18g和圆弧部18j成为用于防止第二手4相对于第二臂6转动时第二手4与第二转动中心部41产生干涉的避让部43。
[0083] 另外，第一装载部18的前端侧(直线部18c与直线部18h之间)形成为大致E形。另外，本实施方式中，如图7等所示，在第一装载部18的前端侧形成有用于吸附晶片2的吸附部18n。具体而言，以装载于第一装载部18的晶片2的中心与吸附部18n大致一致的方式形成吸附部18n。
[0084] 第二装载部19与第一装载部18同样地形成，且相对于正交方向Y上的固定部20的中心线以与第一装载部18呈对称配置的方式固定于固定部20。因此，省略第二装载部19的详细说明。另外，第二装载部19的直线部19a、倾斜部19b、直线部19c、圆弧部19d、19e、直线部19f、倾斜部19g、直线部19h、圆弧部19j、19k、吸附部19n分别相当于第一装载部18的直线部18a、倾斜部18b、直线部18c、圆弧部18d、18e、直线部18f、倾斜部18g、直线部18h、圆弧部18j、18k、吸附部18n。
[0085] 另外，本实施方式中，倾斜部19g和圆弧部19j成为用于防止第一手3相对于第一臂5转动时第一手3与第一转动中心部31产生干涉的避让部44。同样地，倾斜部19g和圆弧部
19j成为用于防止第二手4相对于第二臂6转动时第二手4与第一转动中心部31产生干涉的避让部44。
19j成为用于防止第二手4相对于第二臂6转动时第二手4与第一转动中心部31产生干涉的避让部44。
[0086] 固定部20形成为大致三角形，构成第一手3或第二手4的基端侧部分。在第一手3的固定部20的上表面固定有带轮29。另外，在第二手4的固定部20的底面固定有带轮39。
[0087] 本实施方式中，正交方向Y上的第一手3和第二手4的宽度(直线部18h与直线部19h间的距离)H(参照图7)与两个角部7b间的距离L(参照图5)大致相等。
[0088] (机器人的概略动作)
[0089] 图8是用于说明图1所示的机器人1的概略动作的图，图8(A)表示机器人1的返回原点状态，图8(B)表示机器人1的第一臂部9伸缩动作时的状态。
[0090] 本实施方式中，如图8(A)所示，第一臂部9和第二臂部10收缩的状态成为机器人1的初始状态(返回原点状态)。即，第一臂5和第二臂6相对于主体部8收缩的返回原点状态成为第一手3和第二手4的待机状态。
[0091] 在返回原点状态下，第一手3和第二手4配置成在上下方向上重叠。具体而言，在返回原点状态下，如图8(A)所示，在第一臂5和第二臂6相对于正交方向Y上的机器人1的中心线呈对称配置的状态下，第一手3的下表面与第二手4的上表面靠近地相对。另外，在此状态下，第一手3和第二手4以第一手3的外形与第二手4的外形大致一致的方式在上下方向上重叠。
[0092] 此外，在此状态下，共用臂7的两个角部7b相对于正交方向Y上的机器人1的中心线呈对称配置。即，第一手3的基端侧与第二手4的基端侧的重叠部分、转动中心C、顶角部7a依次配置于正交方向Y上的机器人1的中心线上。在返回原点状态下，第一臂5的前端侧和第二臂6的前端侧配置于最远离转动中心C的位置。
[0093] 另外，本实施方式中，第二空心转轴21的驱动电动机、实心转轴22的驱动电动机和第一空心转轴23的驱动电动机旋转，第二空心转轴21、实心转轴22和第一空心转轴23在相同的旋转速度下旋转相同的旋转角度时，在第一手3及第二手4与主体部8的相对位置恒定的状态(即，第一臂部9和第二臂部10相对于主体部8未伸缩的状态)下，共用臂7以转动中心C为中心相对于主体部8相对旋转。即，通过驱动电动机的作用，第二空心转轴21、实心转轴22和第一空心转轴23在相同的旋转速度下旋转相同的旋转角度时，机器人1进行回转动作。
[0094] 此时，机器人1以返回原点状态进行回转动作。因此，第一臂5的前端侧和第二臂6的前端侧沿着以转动中心C为中心的虚拟圆R移动。
[0095] 另外，如图8(A)所示，回转动作时机器人1的最大直径(回转直径)D为第一臂5的前端侧及第二臂6的前端侧与转动中心C间的距离的两倍。
[0096] 另一方面，在实心转轴22的驱动电动机停止的状态下，第二空心转轴21的驱动电动机和第一空心转轴23的驱动电动机旋转，第二空心转轴21和第一空心转轴23在相同的旋转速度下旋转相同的旋转角度时，第一臂部9相对于主体部8伸缩。即，如图8(B)所示，在实心转轴22停止的状态下第二空心转轴21和第一空心转轴23在相同的旋转速度下旋转相同的旋转角度时，机器人1进行第一臂部9的伸缩动作。
[0097] 由于第一手3形成有避让部43、44，因此在上述伸缩动作时，第一手3可在不与第一转动中心部31及第二转动中心部41产生干涉的情况下顺畅地移动。另外，在上述伸缩动作时，第二手4和第二臂6在保持相对于共用臂7的相对位置恒定的状态下与共用臂7一起转动。另外，在第一臂部9伸展、第一手3进入交接室13内或处理室14内的状态下，如图8(B)所示，在第一装载部18与第二装载部19之间配置有分隔壁16。
[0098] 同样地，在第一空心转轴23的驱动电动机停止的状态下，第二空心转轴21的驱动电动机和实心转轴22的驱动电动机旋转，第二空心转轴21和实心转轴22在相同的旋转速度下旋转相同的旋转角度时，第二臂部10相对于主体部8伸缩。即，在第一空心转轴23停止的状态下第二空心转轴21和实心转轴22在相同的旋转速度下旋转相同的旋转角度时，机器人1进行第二臂部10的伸缩动作。该伸缩动作时，第一手3和第一臂5在保持相对于共用臂7的相对位置恒定的状态下与共用臂7一起转动。
[0099] 在此，为了在组装时等情况下使机器人1成为返回原点状态(为了进行机器人1的返回原点)，本实施方式的机器人1包括：检测实心转轴22相对于第二空心转轴21的相对转动位置的第一非接触式传感器(未图示)、以及检测第一空心转轴23相对于第二空心转轴21的相对转动位置的第二非接触式传感器(未图示)。第一非接触式传感器在第一臂部9收缩时成为接通状态，第二非接触式传感器在第二臂部10收缩时成为接通状态。
[0100] 本实施方式中，在第一非接触式传感器和第二非接触式传感器中的一方成为接通状态时，是第一臂部9和第二臂部10中的一方伸展、另一方收缩的适当状态，推定为是可返回原点的状态，进行机器人1的返回原点。另一方面，在第一非接触式传感器和第二非接触式传感器两者成为断开状态时，无法掌握第一臂部9和第二臂部10的状态，因此，推定为是无法返回原点的状态时，在通过单独操作使第一非接触式传感器和第二非接触式传感器中的一方成为接通状态后，进行返回原点。
[0101] (本实施方式的主要效果)
[0102] 如上所述，本实施方式的机器人1包括：第一手3，该第一手3保持在另一端侧保持于共用臂7的第一臂5的一端侧；以及第二手4，该第二手4保持在另一端侧保持于共用臂7的第二臂6的一端侧，在机器人1回转动作时，第一手3与第二手4重叠配置。因此，可减小机器人1的回转直径D。
[0103] 另外，机器人1包括分别装载两片晶片2的第一手3和第二手4，在第一手3和第二手4上形成有用于防止伸缩动作时与第一转动中心部31和第二转动中心部41产生干涉的避让部43、44。因此，即使在为了在一次搬入动作或搬出动作中搬运两片晶片2而使第一手3和第二手4大型化时，也能使第一手3和第二手4顺畅地动作。其结果是，本实施方式中，可在一次搬入动作或搬出动作中适当地搬运两片晶片2。
[0104] 本实施方式中，共用臂7形成为从上下方向观察时呈大致三角形，第一转动中心部31和第二转动中心部41分别配置在共用臂7的不同角部7b的附近。因此，可提高共用臂7的刚性，并在共用臂7上平衡地配置第一臂5和第二臂6。
[0105] 本实施方式中，在返回原点状态下，第一手3与第二手4靠近地相对。
[0106] 因此，可实现机器人1的薄型化。
[0107] 本实施方式中，第一装载部18和第二装载部19以在正交方向Y上空开规定间隔的状态固定于固定部20。因此，即使在相邻的两个交接室13之间或处理室14之间形成有分隔壁16时，也能相对于两个交接室13或处理室14同时且适当地进行晶片2的搬出或搬入。
[0108] (其它实施方式)
[0109] 上述实施方式是本发明的较为理想的实施方式的一例，但并不局限于此，可在不变更本发明的主旨的范围内进行各种变形实施。
[0110] 上述实施方式中，第一手3和第二手4两者形成有避让部43、44。除此之外，例如在第一手3与第二转动中心部41不会产生干涉时，也可以在第一手3上只形成避让部44。另外，在第一手3配置于第一臂5的上方、第一转动中心部31及第二转动中心部41与第一手3不会产生干涉时，也可以只在第二手4上形成避让部43、44。此外，在第二手4与第二转动中心部41不会产生干涉时，也可以在第二手4上只形成避让部44。即使是这些情况下，也能减小回转直径并能在一次搬入动作或搬出动作中搬运多个晶片2。
[0111] 上述实施方式中，第一手3和第二手4分别能装载两片晶片2。除此之外，例如也可将第一手3和第二手4构成为能装载三片以上的晶片2。
[0112] 上述实施方式中，共用臂7形成为从上下方向观察到的形状呈大致三角形，但共用臂7也可形成为从上下方向观察到的形状呈大致三角形以外的多边形或L形。
[0113] 上述实施方式中，机器人1是在大气中使用的所谓的大气机器人，但机器人1也可以是在真空状态下使用的所谓的真空机器人。即，应用本发明的结构的机器人不限定于大气机器人。另外，上述实施方式中，机器人1所搬运的搬运对象物是圆盘状的晶片2，但机器人1所搬运的搬运对象物既可以是晶片2以外的形成为圆盘状的基板，也可以是形成为矩形等多边形的基板等。
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