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工业 机器人

阅读：559发布：2020-05-13

专利汇可以提供工业机器人专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供一种工业机器人，能改变供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的多个装载部在上下方向上的间隔，并能容易地调节多个装载部各自在上下方向上的位置。在上述工业机器人中，基板装载机构包括：具有供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的装载部(12～15)的多个手(18～21)；以及改变多个装载部(12～15)在上下方向上的间隔的间距改变机构(30)。间距改变机构(30)包括成为手(18～21)与柄构件(41)的连接部的手连接部(42)，手连接部(42)包括：能旋转地安装于柄构件(41)的辊(44)；以及安装于手(18～21)并且朝水平方向引导辊(44)的引导构件(45)。引导构件(45)安装成能相对于手(18～21)在上下方向上调节位置。，下面是工业机器人专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种工业机器人，
从以规定间距层叠收容有多个基板的收容部搬出所述基板，其特征在于，包括基板装载机构，所述基板装载机构供多个所述基板装载，
所述基板装载机构包括：多个手，多个所述手具有装载部，所述装载部供所述基板装载并且配置成在上下方向上重叠；底座构件，所述底座构件在从所述收容部搬出所述基板时与多个所述手一起移动；以及间距改变机构，所述间距改变机构改变多个所述装载部在上下方向上的间隔，
所述手能相对于所述底座构件在上下方向上相对移动，
所述间距改变机构包括：支点轴，所述支点轴配置成以所述基板从所述收容部搬出的搬出方向为轴向；柄构件，所述柄构件供多个所述手连接，并且以所述支点轴为转动中心转动；多个手连接部，多个所述手连接部配置于沿所述柄构件的长边方向离开所述支点轴规定距离的位置，并且成为所述手与所述柄构件的连接部；以及驱动机构，所述驱动机构用于使所述柄构件转动，
所述驱动机构包括直动构件，所述直动构件在上下方向上直线移动，
所述柄构件随着所述直动构件的上下移动以所述支点轴为中心转动，
所述手连接部包括：辊，所述辊能旋转地安装于所述柄构件并且以所述搬出方向为旋转的轴向旋转；以及引导构件，所述引导构件安装于所述手并具有引导部，所述引导部朝与所述搬出方向和上下方向正交的方向引导所述辊，
所述引导构件安装成能相对于所述手在上下方向上调节位置。
2.如权利要求1所述的工业机器人，其特征在于，
所述引导构件被固定用螺钉固定于所述手，
所述引导构件形成有插通孔，所述插通孔供所述固定用螺钉的轴部插通，所述插通孔是内径比所述固定用螺钉的轴部的外径大的圆孔，或是以上下方向为长边方向的长孔。
3.如权利要求1或2所述的工业机器人，其特征在于，
所述基板装载机构包括调节用螺钉，所述调节用螺钉用于对所述引导构件相对于所述手在上下方向上的位置进行调节。
4.如权利要求3所述的工业机器人，其特征在于，
所述基板装载机构包括螺钉保持构件，所述螺钉保持构件固定于所述手，并且对所述调节用螺钉进行保持，
所述螺钉保持构件配置于比所述引导构件靠上侧的位置，
所述引导构件形成有螺纹孔，所述螺纹孔供所述调节用螺钉螺合。
5.如权利要求1至4中任一项所述的工业机器人，其特征在于，
所述手形成有引导槽，所述引导槽用以朝上下方向引导所述引导构件。
6.如权利要求1至5中任一项所述的工业机器人，其特征在于，
包括：第一臂和第二臂；主体部，所述第一臂的基端侧和所述第二臂的基端侧能转动地连接于所述主体部；以及第二手，所述第二手具有第二装载部，所述第二装载部供所述基板装载，并且能配置成与所述装载部在上下方向上重叠，
所述底座构件能转动地连接于所述第一臂的前端侧，
所述第二手能转动地连接于所述第二臂的前端侧。
7.如权利要求6所述的工业机器人，其特征在于，
所述基板装载机构包括多个上手和多个下手以作为所述手，其中，多个所述上手具有配置于比所述第二装载部靠上侧的位置的所述装载部，多个所述下手具有配置于比所述第二装载部靠下侧的位置的所述装载部。
8.如权利要求1至7中任一项所述的工业机器人，其特征在于，
所述驱动机构包括：马达；螺纹轴，所述螺纹轴利用所述马达的动力旋转；以及螺母，所述螺母安装于所述直动构件并与所述螺纹轴卡合。

说明书全文

工业机器人

技术领域

[0001] 本发明涉及搬运半导体晶片等基板的工业机器人。

背景技术

[0002] 一直以来，已知一种基板搬运装置，其在以规定间距层叠收容有多个半导体晶片的盒子与对半导体晶片进行规定处理的半导体制造装置内的收容部之间同时搬运多个半导体晶片(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的基板搬运装置包括：基板保持装置，上述基板保持装置对半导体晶片进行保持；以及机器人，上述机器人使基板保持装置移动。基板保持装置包括五个保持体，上述五个保持体具有供半导体晶片装载的叶片。

[0003] 在专利文献1所记载的基板保持装置中，五个保持体配置成五个叶片在上下方向上重叠。此外，基板保持装置包括连杆机构，上述连杆机构用于改变五个叶片在上下方向上的间隔。连杆机构包括：从动连杆构件，上述从动连杆构件分别能转动地连接于除了配置于上下方向的中心的保持体之外的四个保持体；以及驱动连杆构件，上述驱动连杆构件能转动地连接于四根从动连杆构件。在驱动连杆构件的中心经由齿轮组连接有马达，驱动连杆构件能以基板保持装置在盒子与收容部之间搬运半导体晶片时的移动方向为转动的轴向而转动。

[0004] 此外，两根从动连杆构件以能在从驱动连杆构件的中心向驱动连杆构件的长边方向一侧隔开规定间隔的状态下以基板保持装置的移动方向为转动的轴向转动的方式连接于驱动连杆构件，剩余的两根从动连杆构件以能在从驱动连杆构件的中心向驱动连杆构件的长边方向的另一侧隔开规定间隔的状态下以基板保持装置的移动方向为转动的轴向转动的方式连接于驱动连杆构件。在专利文献1所记载的基板保持装置中，当驱动连杆构件通过马达的动力转动时，连接有从动连杆构件的四个保持体会对应驱动连杆构件的转动量上下移动。

[0005] 现有技术文献

[0006] 专利文献

[0007] 专利文献1：日本专利特开2005－116807号公报

[0008] 在专利文献1所记载的基板保持装置中，叶片相对于驱动连杆构件的转动中心在上下方向上的位置可能会由于构成保持体的零件的偏差等影响而发生偏差。若叶片相对于驱动连杆构件的转动中心在上下方向上的位置的偏移变大，五个叶片中的至少一个叶片配置于在上下方向上偏离规定范围的位置，则在盒子与收容部之间搬运半导体晶片时盒子或收容部可能会与叶片发生干涉。因而，若存在配置于在上下方向上偏离规定范围的位置的叶片，则需要对上述叶片在上下方向上的位置进行调节。

[0009] 然而，在专利文献1所记载的基板保持装置中，为了对供从动连杆构件连接的四个保持体的叶片各自在上下方向上的位置进行调节，需要改变从动连杆构件与驱动连杆构件的连接位置或从动连杆构件与保持体的连接位置，或是改变从动连杆构件的长度。因而，在专利文献1所记载的基板保持装置中，难以对供从动连杆构件连接的四个保持体的叶片各自在上下方向上的位置进行调节。

发明内容

[0010] 因而，本发明的技术问题在于提供一种工业机器人，能改变供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的多个装载部在上下方向上的间隔，并能容易地调节多个装载部各自在上下方向上的位置。

[0011] 为了解决上述技术问题，本发明的工业机器人从以规定间距层叠收容有多个基板的收容部搬出基板，其特征是，包括基板装载机构，上述基板装载机构供多个基板装载，基板装载机构包括：多个手，多个上述手具有装载部，上述装载部供基板装载并且配置成在上下方向上重叠；底座构件，上述底座构件在从收容部搬出基板时与多个手一起移动；以及间距改变机构，上述间距改变机构改变多个装载部在上下方向上的间隔，手能相对于底座构件在上下方向上相对移动，间距改变机构包括：支点轴，上述支点轴配置成以基板从收容部搬出的搬出方向为轴向；柄构件，上述柄构件供多个手连接，并且以支点轴为转动中心转动；多个手连接部，多个上述手连接部配置于沿柄构件的长边方向离开支点轴规定距离的位置，并且成为手与柄构件的连接部；以及驱动机构，上述驱动机构用于使柄构件转动，驱动机构包括直动构件，上述直动构件在上下方向上直线移动，柄构件随着直动构件的上下移动以支点轴为中心转动，手连接部包括：辊，上述辊能旋转地安装于柄构件并且以搬出方向为旋转的轴向旋转；以及引导构件，上述引导构件安装于手并具有引导部，上述引导部朝与搬出方向和上下方向正交的方向引导辊，引导构件安装成能相对于手在上下方向上调节位置。

[0012] 在本发明的工业机器人中，改变多个装载部在上下方向上的间隔的间距改变机构包括手连接部，上述手连接部成为手与柄构件的连接部，手连接部包括：辊，上述辊能旋转地安装于柄构件并以搬出方向为旋转的轴向旋转；以及引导构件，上述引导构件安装于手并具有引导部，上述引导部朝与搬出方向和上下方向正交的方向引导辊。此外，在本发明中，引导构件安装成能相对于手在上下方向上调节位置。

[0013] 因而，在本发明中，能通过对引导构件相对于手在上下方向上的位置进行调节这样简单的调节对多个手各自在上下方向上的位置(具体而言，各个手相对于杆构件在上下方向上的位置)进行调节。即，在本发明中，能通过对引导构件相对于手在上下方向上的位置进行调节这样简单的调节对多个装载部各自在上下方向上的位置进行调节。因而，在本发明中，能改变供基板装载的多个装载部在上下方向上的间隔，并能容易地调节多个装载部各自在上下方向上的位置。

[0014] 在本发明中，例如，引导构件被固定用螺钉固定于手，引导构件形成有插通孔，上述插通孔供固定用螺钉的轴部插通，插通孔是内径比固定用螺钉的轴部的外径大的圆孔，或是以上下方向为长边方向的长孔。

[0015] 在本发明中，较为理想的是，基板装载机构包括调节用螺钉，上述调节用螺钉用于对引导构件相对于手在上下方向上的位置进行调节。根据如上所述构成，能容易地对引导构件相对于手在上下方向上的位置进行微调。即，能容易地对装载部在上下方向上的位置进行微调。

[0016] 在本发明中，例如，基板装载机构包括螺钉保持构件，上述螺钉保持构件固定于手，并且对调节用螺钉进行保持，螺钉保持构件配置于比引导构件靠上侧的位置，引导构件形成有螺纹孔，上述螺纹孔供调节用螺钉螺合。

[0017] 在本发明中，较为理想的是，手形成有引导槽，上述引导槽用以朝上下方向引导引导构件。根据如上所述构成，在对引导构件在上下方向上的位置进行调节时引导构件不易在水平方向上发生偏移。因而，装载部在上下方向上的位置调节变得更容易。

[0018] 在本发明中，较为理想的是，工业机器人包括：第一臂和第二臂；主体部，第一臂的基端侧和第二臂的基端侧能转动地连接于上述主体部；以及第二手，上述第二手具有第二装载部，上述第二装载部供上述基板装载，并且能配置成与装载部在上下方向上重叠，底座构件能转动地连接于第一臂的前端侧，第二手能转动地连接于第二臂的前端侧。根据如上所述构成，能使用第二手仅搬运一块基板。此外，根据如上所述构成，例如，能使用安装于第二手的传感器对收容于盒子的多块基板的位置进行检测。

[0019] 在本发明中，例如，基板装载机构包括多个上手和多个下手以作为手，其中，多个上述上手具有配置于比第二装载部靠上侧的位置的装载部，多个上述下手具有配置于比第二装载部靠下侧的位置的装载部。

[0020] 在本发明中，例如，驱动机构包括：马达；螺纹轴，上述螺纹轴利用马达的动力旋转；以及螺母，上述螺母安装于直动构件并与螺纹轴卡合。

[0021] 如上所述，在本发明的工业机器人中，能改变供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的多个装载部在上下方向上的间隔，并能容易地调节多个装载部各自在上下方向上的位置。附图说明

[0022] 图1是本发明实施方式的工业机器人的第二臂伸展的状态的立体图。

[0023] 图2是图1所示的工业机器人的第一臂和第二臂伸展的状态的立体图。

[0024] 图3是图1所示的基板装载机构和第二手的立体图。

[0025] 图4是从图3所示的基板装载机构和第二手上拆下驱动机构后的状态的立体图。

[0026] 图5是在图4所示的基板装载机构中改变了装载部的间隔时的立体图。

[0027] 图6是用于说明图4所示的间距改变机构的图。

[0028] 图7是表示在图6所示的间距改变机构中改变了装载部的间隔后的状态的图。

[0029] 图8是用于说明图3所示的驱动机构的结构的立体图。

[0030] 图9是用于说明图6的E部分的结构的放大图。

[0031] (符号说明)

[0032] 1 机器人(工业机器人)；

[0033] 2 晶片(半导体晶片、基板)；

[0034] 3 基板装载机构；

[0035] 4 手(第二手)；

[0036] 5 第一臂；

[0037] 6 第二臂；

[0038] 7 主体部；

[0039] 12～15 手叉(装载部)；

[0040] 16 手叉(第二装载部)；

[0041] 18、19 手(上手)；

[0042] 20、21 手(下手)；

[0043] 28 底座构件；

[0044] 30 间距改变机构；

[0045] 32a～35a 引导槽；

[0046] 40 支点轴；

[0047] 41 柄构件；

[0048] 42 手连接部；

[0049] 43 驱动机构；

[0050] 44 辊；

[0051] 45 引导构件；

[0052] 45a 引导槽(引导部)；

[0053] 45b 螺纹孔；

[0054] 47 固定用螺钉；

[0055] 50 马达；

[0056] 51 螺纹轴；

[0057] 52 螺母；

[0058] 56 插通孔；

[0059] 58 直动构件；

[0060] 59 调节用螺钉；

[0061] 60 螺钉保持构件；

[0062] X2 基板的搬出方向。

具体实施方式

[0063] 以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。

[0064] (工业机器人的概略结构)

[0065] 图1是本发明实施方式的工业机器人1的第二臂6伸展的状态的立体图。图2是图1所示的工业机器人1的第一臂5和第二臂6伸展的状态的立体图。

[0066] 本实施方式的工业机器人1(以下，称作“机器人1”)是水平多关节型的机器人。此外，机器人1是用于搬运基板即半导体晶片2(以下，称作“晶片2”)的机器人。具体而言，机器人1是用于从以规定间距层叠收容有多个晶片2的收容部搬出晶片2的机器人。

[0067] 上述机器人1例如从以规定间距层叠收容有多个晶片2的盒子(省略图示)中同时搬出多个晶片2，并将从盒子搬出的多个晶片2搬入构成半导体制造系统(省略图示)的规定的处理装置中。此外，机器人1从以规定间距层叠收容有多个晶片2的处理装置同时搬出多个晶片2，并将上述搬出的多个晶片2搬入盒子中。在本实施方式中，收容于盒子的晶片2的间距与收容于处理装置的晶片2的间距不同。

[0068] 机器人1包括：基板装载机构3，上述基板装载机构3供多个晶片2装载；手4，上述手4作为供一块晶片2装载的第二手；第一臂5，基板装载机构3能转动地连接于第一臂5；第二臂6，手4能转动地连接于第二臂6；主体部7，第一臂5和第二臂6能转动地连接于主体部7；以及升降机构部(省略图示)，上述升降机构部将主体部7保持成能升降。第一臂5和第二臂6由连接成彼此能转动的两个臂部构成。

[0069] 基板装载机构3能转动地连接于第一臂5的前端侧。基板装载机构3相对于第一臂5的前端侧以上下方向为转动的轴向转动。手4能转动地连接于第二臂6的前端侧。手4相对于第二臂6的前端侧以上下方向为转动的轴向转动。主体部7包括：回旋部8，第一臂5的基端侧和第二臂6的基端侧能转动地连接于回旋部8；以及支承部9，上述支承部9将回旋部8支承成能转动。

[0070] 第一臂5的基端侧与第二臂6的基端侧以在水平方向上相邻的方式能转动地连接于回旋部8。第一臂5的基端侧和第二臂6的基端侧相对于回旋部8以上下方向为转动的轴向转动。此外，第一臂5和第二臂6相对于回旋部8单独在水平方向上伸缩。回旋部8相对于支承部9以上下方向为转动的轴向转动。升降机构部包括供支承体9固定的固定构件和使上述固定构件升降的升降机构，并使支承部9上下移动。

[0071] 如后所述，基板装载机构3包括多个手18、19、20、21，多个上述手18、19、20、21具有手叉12、13、14、15，上述手叉12、13、14、15配置成以隔开规定间隔的状态在上下方向上重叠。此外，如上所述，在本实施方式中，收容于盒子的晶片2的间距与收容于处理装置的晶片2的间距不同，因而如后所述，基板装载机构3包括间距改变机构30，上述间距改变机构30改变多个手叉12～15在上下方向上的间隔。基板装载机构3的详细构成将会在后面叙述。

[0072] 手4包括：手叉16，上述手叉16作为供晶片2装载的第二装载部；以及叉支承构件25，上述叉支承构件25对手叉16进行支承。叉支承构件25能转动地连接于第二臂6的前端侧。手叉16形成为平板状。此外，手叉16的形状呈大致Y形，手叉16的前端侧形成为双叉状。

[0073] 在手叉16的前端部安装有传感器24(参照图3等)，上述传感器24用于对收容于盒子等的内部的晶片2的位置等进行检测。传感器24为具有发光元件和受光元件的透射型的光学式传感器。为了在机器人1从盒子等搬出晶片2之前对收容于盒子等的晶片2的位置等进行检测，机器人1仅伸展第二臂6使手4在将手叉16的前端部配置于盒子等所收容的晶片2的前方的状态下上下移动。即，传感器24是所谓的测绘(mapping)用的传感器。

[0074] (基板装载机构的结构)

[0075] 图3是图1所示的基板装载机构3和手4的立体图。图4是从图3所示的基板装载机构3和手4上拆下驱动机构43后的状态的立体图。图5是在图4所示的基板装载机构3中改变了手叉12～15的间隔时的立体图。图6是用于说明图4所示的间距改变机构30的图。图7是表示在图6所示的间距改变机构30中改变了手叉12～15的间隔后的状态的图。图8是用于说明图
3所示的驱动机构43的结构的立体图。图9是用于说明图6的E部分的结构的放大图。

[0076] 在以下的说明中，将与上下方向正交的方向设为“前后方向”，将与上下方向和前后方向正交的方向设为“左右方向”。前后方向的一侧即图3等的X1方向侧是基板装载机构3的前端侧，其相反侧即图3等的X2方向侧是基板装载机构3的基端侧，因而在以下的说明中将X1方向侧设为“前端”侧或“前”侧，将X2方向侧设为“基端”侧或“后(后方)”侧。此外，在以下的说明中，将左右方向的一侧即图3等的Y1方向侧设为“右”侧，将其相反侧即图3等的Y2方向侧设为“左”侧。

[0077] 在本实施方式中，X1方向是将晶片2搬入盒子、处理装置时的晶片2的搬入方向，X2方向是从盒子、处理装置搬出晶片2时的晶片2的搬出方向。即，前后方向是晶片2相对于盒子、处理装置的搬运方向。另外，图3等的Z1方向侧是“上”侧，其相反侧即图3等的Z2方向侧是“下”侧。

[0078] 基板装载机构3包括四个手18～21，四个上述手18～21具有作为供晶片2装载的装载部的手叉12～15。即，基板装载机构3包括：手18，上述手18具有手叉12；手19，上述手19具有手叉13；手20，上述手20具有手叉14；以及手21，上述手21具有手叉15。此外，基板装载机构3包括底座构件28，上述底座构件28能转动地连接于第一臂5的前端侧。底座构件28在从盒子、处理装置搬出晶片2时与手18～21一起移动。

[0079] 手叉12～15形成为与手叉16相同的形状，手叉12～15的形状呈大致Y形。四个手叉12～15配置成在上下方向上重叠。此外，手叉12～15配置成手叉12、手叉13、手叉14、手叉15从上依次重叠。手叉12与手叉13在上下方向上的间隔等于手叉14与手叉15在上下方向上的间隔。另一方面，手叉13与手叉14在上下方向上的间隔是手叉12与手叉13在上下方向上的间隔的两倍。

[0080] 手4的手叉16在上下方向上配置于手叉13与手叉14的中心位置，并能配置成与四个手叉12～15在上下方向上重叠。在五个手叉12～16在上下方向上重叠的状态下，五个手叉12～16等间距配置。本实施方式的手18、19是具有手叉12、13的上手，其中，手叉12、13配置于比手叉16靠上侧的位置，手20、21是具有手叉14、15的下手，上述手叉14、15配置于比手叉16靠下侧的位置。

[0081] 如图2所示，在机器人1中，通过使第一臂5和第二臂6在使五个手叉12～16在上下方向上重叠的状态下一起伸缩，能通过五个手叉12～16同时搬运五块晶片2。此外，如图1所示，通过仅使第二臂6伸缩，能通过手叉16搬运一块晶片2。另外，通过仅使第一臂5伸缩，还能通过四个手叉12～15同时搬运四块晶片2。

[0082] 如上所述，机器人1在被收容的晶片2的间距不同的盒子与处理装置之间进行晶片2的搬运，因而具有手叉12～15的手18～21能相对于底座构件28在上下方向上相对移动。此外，基板装载机构3包括：间距改变机构30，上述间距改变机构30改变手叉12～15在上下方向上的间隔；以及四个引导机构31，四个上述引导机构31用于分别在上下方向上引导手12～15。

[0083] 手18除了包括手叉12之外还包括供手叉12固定的固定构件32。手19除了包括手叉13之外还包括供手叉13固定的固定构件33。手20除了包括手叉14之外还包括供手叉14固定的固定构件34。手21除了包括手叉15之外还包括供手叉15固定的固定构件35。在固定构件
32～35各自的前端侧分别固定有手叉12～15的后端部(基端部)。

[0084] 引导机构31由导轨36和导块37构成，其中，上述导轨36固定于底座构件28，上述导块37与导轨36卡合。导块37分别固定于固定构件32～35。导轨36固定于底座构件28的右端侧的两个部位和底座构件28的左端侧的两个部位。此外，在底座构件28的左右两端侧中的每一侧，两个导轨36配置成在前后方向上相邻。

[0085] 在本实施方式中，对手18、20进行引导的导轨36固定于底座构件28的左端侧，对手19、21进行引导的导轨36固定于底座构件28的右端侧。此外，对手18、21进行引导的导轨36配置于后方侧，对手19、20进行引导的导轨36配置于前侧。

[0086] 间距改变机构30包括：支点轴40，上述支点轴40配置成以前后方向为轴向；柄构件41，上述柄构件41与四个手18～21连接，并且以支点轴40为转动中心转动；四个手连接部
42，四个上述手连接部42成为各手18～21与柄构件41的连接部；以及驱动机构43，上述驱动机构43用于使柄构件41转动。间距改变机构30配置于比引导机构31靠后方侧的位置。

[0087] 支点轴40以支点轴40的轴向与前后方向一致的方式固定于底座构件28。柄构件41形成为直线状，柄构件41的中心部被支点轴40支承成能转动。上述柄构件41以前后方向为转动的轴向转动。柄构件41以如下方式支承于支承轴40：柄构件41的一端侧配置于比支点轴40靠左侧的位置，柄构件41的另一端侧配置于比支点轴40靠右侧的位置。手连接部42包括：四个辊44，四个上述辊44能旋转地安装于柄构件41；以及四个引导构件45，四个上述引导构件45朝左右方向引导辊44。

[0088] 辊44被固定于柄构件41的固定轴46支承成能旋转。固定轴46以固定轴46的轴向与前后方向一致的方式固定于柄构件41，辊44以前后方向为旋转的轴向旋转。此外，固定轴46以向前侧突出的方式固定于柄构件41，辊44配置于柄构件41的前侧。

[0089] 四个引导构件45分别安装于各个手18～21。具体而言，四个引导构件45分别通过固定用螺钉47从后方侧固定于固定构件32～35各自的后端部(参照图6、图7)。在本实施方式中，引导构件45被两个固定用螺钉47固定于固定构件32～35。引导构件45形成有引导槽45a，上述引导槽45a与辊44卡合，并且作为在左右方向上引导辊44的引导部。引导槽45a形成于引导构件45的下端部。此外，引导槽45a形成为后表面和左右两端开口的角槽状。辊44从后方侧与引导槽45a卡合，辊44的至少一部分配置于引导槽45a中。

[0090] 手连接部42配置于沿柄构件41的长边方向离开支点轴40规定距离的位置。即，四个辊44配置于沿柄构件41的长边方向离开支点轴40规定距离的位置。四个辊44中的两个辊44配置于比支点轴40靠左侧的位置，剩余的两个辊44配置于比支点轴40靠右侧的位置。

[0091] 将安装于柄构件41的左端侧的辊44设为第一辊44，将在支点轴40与第一辊44之间安装于柄构件41的辊44设为第二辊44，将安装于柄构件41的右端侧的辊44设为第三辊44，将在支点轴40与第三辊44之间安装于柄构件41的辊44设为第四辊44，则第一辊44与第二辊44之间的距离、第二辊44与支点轴40之间的距离、第四辊44与支点轴40之间的距离、第三辊
44与第四辊44之间的距离相等。

[0092] 在本实施方式中，固定于手18的引导构件45和固定于手19的引导构件45配置于比支点轴40靠左侧的位置，固定于手20的引导构件45和固定于手21的引导构件45配置于比支点轴40靠右侧的位置。从左侧向右侧依次配置有固定于手18的引导构件45、固定于手19的引导构件45、支点轴40、固定于手20的引导构件45和固定于手21的引导构件45。

[0093] 如图8所示，驱动机构43包括：作为驱动源的马达50；螺纹轴51，上述螺纹轴51利用马达50的动力旋转；以及螺母52，上述螺母52与螺纹轴51卡合。此外，驱动机构43包括直动构件58，上述直动构件58供螺母52安装，并且在上下方向上直线移动。马达50、螺纹轴51和螺母52配置于比间距改变机构30靠后方侧的位置。

[0094] 螺纹轴51配置成螺纹轴51的轴向与上下方向一致。马达50的动力经由带轮53和带54传递至螺纹轴51。直动构件58形成为前后方向上细长的大致长方体的块状。在直动构件
58的后端部固定有螺母保持构件55，上述螺母保持构件55对螺母52进行保持。直动构件58的前端部固定于固定构件32的后端部。即，直动构件58固定于手18。另外，直动构件58的前端部也可以固定于引导构件45，上述引导构件45固定于固定构件32。即，直动构件58也可以隔着引导构件45固定于手18。

[0095] 在本实施方式中，当螺纹轴51利用马达50的动力旋转而使螺母52和直动构件58升降时，供直动构件58固定的手18升降。当手18升降时，固定于手18的引导构件45升降，因而柄构件41以支点轴40为支点转动。即，柄构件41随着直动构件58的上下移动而转动。当柄构件41转动时，固定于手19～21的引导构件45升降，因而如图4、图5所示，手叉12～15的间隔发生变化。

[0096] 如上所述，引导构件45被固定用螺钉47固定于固定构件32～35。固定构件32～35形成有插通孔56，上述插通孔56供固定用螺钉47的轴部插通(参照图9)。即，手18～21形成有插通孔56。固定用螺钉47的轴部从后方侧插通于插通孔56。固定用螺钉47与形成于固定构件32～35的螺纹孔螺合。

[0097] 插通孔56成为内径比固定用螺钉47的轴部的外径大的大圆孔。因而，在本实施方式中，引导构件45能相对于手18～21在上下方向上调节位置。即，引导构件45安装成能相对于手18～21在上下方向上调节位置。另外，固定构件32～35形成有配置孔57，上述配置孔57供固定用螺钉47的头部配置(参照图9)。配置孔57的内径比固定用螺钉47的头部的外径大。

[0098] 基板装载机构3包括调节用螺钉59，上述调节用螺钉59用于对引导构件45相对于手18～21在上下方向上的位置进行调节。此外，基板装载机构3包括螺钉保持构件60，上述螺钉保持构件60对调节用螺钉59进行保持。螺钉保持构件60固定于固定构件32～35。即，螺钉保持构件60固定于手18～21。螺钉保持构件60配置于比引导构件45靠上侧的位置。

[0099] 螺钉保持构件60形成有贯穿孔60a，上述贯穿孔60a供调节用螺钉59的轴部插通(参照图9)。贯穿孔60a在上下方向上贯穿螺钉保持构件60。调节用螺钉59的轴部从上侧插通于贯穿孔60a，调节用螺钉59的头部与螺钉保持构件60的上表面接触。引导构件45的上表面形成有螺纹孔45b，调节用螺钉59与螺纹孔45b螺合。在本实施方式中，通过在松开固定用螺钉47的状态下旋转调节用螺钉59，从而对引导构件45相对于手18～21在上下方向上的位置进行微调。

[0100] 固定构件32～35分别形成有朝上下方向对引导构件45进行引导的引导槽32a、33a、34a、35a(参照图6、图7)。即，手18～21形成有朝上下方向对引导构件45进行引导的引导槽32a～35a。引导槽32a～35a至少形成于螺钉保持构件60的下侧。此外，引导槽32a～35a形成为后表面和上下两端开口的较浅的角槽状。引导构件45从后方侧与引导槽32a～35a卡合。

[0101] (本实施方式的主要效果)

[0102] 如以上说明那样，在本实施方式中，手18～21与柄构件41的连接部即手连接部42包括：辊44，上述辊44能旋转地安装于柄构件41，并且以前后方向为旋转的轴向旋转；以及引导构件45，上述引导构件45形成有引导槽45a，上述引导槽45a在左右方向上引导辊44。此外，在本实施方式中，引导构件45安装成能相对于手18～21在上下方向上调节位置。

[0103] 因而，在本实施方式中，能通过对引导构件45相对于手18～21在上下方向上的位置进行调节这样简单的调节对四个手18～21各自在上下方向上的位置(各个手相对于杆构件41在上下方向上的位置)进行调节。即，在本实施方式中，能通过对引导构件45相对于手18～21在上下方向上的位置进行调节这样简单的调节对四个手叉12～15各自在上下方向上的位置进行调节。因而，在本实施方式中，能改变四个手叉12～15在上下方向上的间隔，并能容易地调节四个手叉12～15各自在上下方向上的位置。

[0104] 在本实施方式中，基板装载机构3包括调节用螺钉59，上述调节用螺钉59用于对引导构件45相对于手18～21在上下方向上的位置进行调节，通过在松开固定用螺钉47的状态下旋转调节用螺钉59，从而对引导构件45相对于手18～21在上下方向上的位置进行微调。因而，在本实施方式中，能容易地对引导构件45相对于手18～21在上下方向上的位置进行微调，其结果是，能容易地对手叉12～15在上下方向上的位置进行微调。

[0105] 在本实施方式中，手18～21形成有朝上下方向对引导构件45进行引导的引导槽32a～35a。因而，在本实施方式中，在松开固定用螺钉47并对引导构件45在上下方向上的位置进行调节时引导构件45不易在水平方向上偏移。因而，在本实施方式中，更容易调节手叉
12～15在上下方向上的位置。

[0106] 在本实施方式中，基板装载机构3连接于第一臂5，并且手4连接于第二臂6。因而，在本实施方式中，如上所述，通过仅使第二臂6伸缩，能通过手叉16搬运一块晶片2。此外，在本实施方式中，如上所述，通过在机器人1从盒子等搬出晶片2之前仅伸展第二臂6而使手4在将手叉16的前端部配置于盒子等所收容的晶片2的前方的状态下上下移动，能通过传感器24对收容于盒子等的晶片2的位置等进行检测。

[0107] (其它实施方式)

[0108] 上述实施方式是本发明的优选实施方式的一例，但并不限定于此，可在不改变本发明宗旨的范围内进行各种变形。

[0109] 在上述实施方式中，支点轴40也可以能转动地支承于底座构件28。在这种情况下，柄构件41固定于支点轴40，并能以支点轴40为转动中心与支点轴40一起转动。此外，在上述实施方式中，插通孔56也可以是以上下方向为长边方向的长孔。在这种情况下，例如配置孔57也为以上下方向为长边方向的长孔。

[0110] 在上述实施方式中，螺钉保持构件60也可以配置于比引导构件45靠下侧的位置。在这种情况下，与调节用螺钉59螺合的螺纹孔形成为在上下方向上贯穿螺钉保持构件60，调节用螺钉59的头部配置于螺钉保持构件60的下侧。此外，在这种情况下，调节用螺钉59的轴部的前端与引导构件45的下表面接触。此外，在上述实施方式中，基板装载机构3不包括调节用螺钉59亦可。此外，在上述实施方式中，固定构件32～35不形成引导槽32a～35a亦可。

[0111] 在上述实施方式中，既可以将手叉14配置在手叉16的上侧，也可以将手叉13配置于手叉16的下侧。在这种情况下，四个辊44中的三个辊44配置于比支点轴40靠左侧或右侧的位置。此外，既可以将手叉14、15配置在手叉16的上侧，也可以将手叉12、13配置于手叉16的下侧。在这种情况下，四个辊44配置于比支点轴40靠左侧或右侧的位置。

[0112] 在上述实施方式中，只要手18～21因自身重量顺利地下降，则形成于引导构件45的引导部(朝左右方向引导辊44的引导部)也可以仅由与辊44的上端抵接的抵接部构成。此外，在上述实施方式中，既可以使用供直动构件58固定的齿条和利用马达50的动力旋转的小齿轮使直动构件58在上下方向上直线移动，也可以使用供直动构件58固定的带和利用马达50的动力旋转的带轮使直动构件58在上下方向上直线移动。此外，也可以使用气缸等使直动构件58在上下方向上直线移动。

[0113] 在上述实施方式中，手4也可以固定于底座构件28。在这种情况下，机器人1不包括第二臂6亦可。此外，在上述实施方式中，机器人1不包括手4亦可。在这种情况下，例如，手叉12～15以在上下方向上等间距的方式配置。此外，在上述实施方式中，基板装载机构3所包括的手的数量既可以是两个或三个，也可以是五个以上。此外，在上述实施方式中，机器人1所搬运的基板也可以是晶片2之外的基板。例如，机器人1所搬运的基板也可以是液晶显示器用的玻璃基板等。

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