一种硅片翻转机构
专利汇可以提供一种硅片翻转机构专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种 硅 片 翻转机构，其特征在于：包括传送 履带 、转动轴、 电机 、气站、翻转板和若干 吸盘 ，其中，所述转动轴设置于传送履带的下方，电机和气站分别设置于转动轴的两端，翻转板设置于转动轴上，吸盘均匀设置于翻转板的同一面上，吸盘连接气站，气站驱动吸盘作 吸附 或释放 硅片 的动作。本实用新型的设计精巧，翻片效果好，同时能够实现硅片以两两背靠背的方式组合，配合生产工艺，有效提高生产效率，自动化程度高，且不易损伤硅片，节约大量人 力 ，值得推广应用。，下面是一种硅片翻转机构专利的具体信息内容。
1.一种硅片翻转机构，其特征在于：包括传送履带(10)、转动轴(1)、电机(2)、气站(3)、翻转板(4)和若干吸盘(5)，其中，
所述转动轴(1)设置于传送履带(10)的下方，转动轴(1)的轴向垂直于传送履带(10)的传输方向；
所述电机(2)和气站(3)分别设置于转动轴(1)的两端，电机(2)驱动转动轴(1)转动，气站(3)用于连接气源；
所述翻转板(4)设置于转动轴(2)上，随转动轴(2)的转动翻转；
所述吸盘(5)均匀设置于翻转板(4)的同一面上，吸盘(5)连接气站(3)，气站(3)驱动吸盘(5)作吸附或释放硅片的动作。
2.根据权利要求1所述的硅片翻转机构，其特征在于：所述翻转板(4)的数量为两个。
3.根据权利要求2所述的硅片翻转机构，其特征在于：所述翻转板(4)上设置2~4个吸盘(5)。
一种硅片翻转机构
技术领域
背景技术
具体实施方式
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