用于硅片的中、精抛布的活化方法
专利汇可以提供用于硅片的中、精抛布的活化方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种活化方法，尤其涉及一种用于 硅 片 的中、精抛布的活化方法。按以下步骤进行：先用界面活性剂手动刷洗 抛光 布 ，使抛光布充分浸润；再用抛光头对圆盘刷施加一定压 力 ，然后使贴有抛光布的下定盘按一定转速旋转，边通入抛光配比液，边旋转刷洗抛光布，对抛光布进行活化。降低不良率，提升产品品质。，下面是用于硅片的中、精抛布的活化方法专利的具体信息内容。
1.一种用于硅片的中、精抛布的活化方法，其特征在于按以下步骤进行：先用界面活性剂手动刷洗抛光布，使抛光布充分浸润；再用抛光头对圆盘刷施加一定压力，然后使贴有抛光布的下定盘按一定转速旋转，边通入抛光配比液，边旋转刷洗抛光布，对抛光布进行活化。
2.根据权利要求1所述的用于硅片的中、精抛布的活化方法，其特征在于：
步骤一：换好新的中、精抛布后，不能马上加工产品，先用高压水刀刷洗抛光布3min；
步骤二：然后抛光机定盘保持低速转动，边倒界面活性剂边用小刷子手动刷洗抛光布
15min，界面活性剂体积与纯水体积比为1：10；
步骤三：活化中抛布时，将圆盘刷放置在其中一个抛光头下，选择刷洗程序，刷洗的液体改为中抛配比液，抛光头下降并对圆盘刷施加压力，下定盘按设定转速旋转，开始刷洗
20min，原液与纯水的比例为1：20；
步骤四、活化精抛布时，将圆盘刷放置在其中一个抛光头下，选择刷洗程序，刷洗的液体改为精抛配比液，抛光头下降并对圆盘刷施加压力，下定盘按设定转速旋转，开始刷洗
20min，原液与纯水的比例分别为1：15。
3.根据权利要求1所述的用于硅片的中、精抛布的活化方法，其特征在于：使用圆盘刷加抛光配比液，将圆盘刷放置在其中一个抛光头下，选择刷洗程序，刷洗的液体改为抛光配比液，抛光头下降并对圆盘刷施加压力，下定盘按设定转速旋转，开始刷洗。
4.根据权利要求1所述的用于硅片的中、精抛布的活化方法，其特征在于：步骤二中，在大烧杯中加入500mL的界面活性剂原液和5L的纯水，并搅拌均匀；
步骤三中，中抛配比液：每次抽取中抛液原液桶中3L的原液和纯水桶中60L的纯水，添加到配比液桶中，边搅拌边自循环使配比液溶合充分，然后提供给中抛机；
步骤四中，精抛配比液：每次抽取精抛液原液桶中4L的原液和纯水桶中60L的纯水，添加到配比液桶中，边搅拌边自循环使配比液溶合充分，然后提供给精抛机。
用于硅片的中、精抛布的活化方法
技术领域
背景技术
发明内容
15min，界面活性剂体积与纯水体积比为1：10；
步骤三：活化中抛布时，将圆盘刷放置在其中一个抛光头下，选择刷洗程序，刷洗的液体改为中抛配比液，抛光头下降并对圆盘刷施加压力，下定盘按设定转速旋转，开始刷洗
20min，原液与纯水的比例为1：20；
步骤四、活化精抛布时，将圆盘刷放置在其中一个抛光头下，选择刷洗程序，刷洗的液体改为精抛配比液，抛光头下降并对圆盘刷施加压力，下定盘按设定转速旋转，开始刷洗
20min，原液与纯水的比例分别为1：15。
步骤四中，精抛配比液：每次抽取精抛液原液桶中4L的原液和纯水桶中60L的纯水，添加到配比液桶中，边搅拌边自循环使配比液溶合充分，然后提供给精抛机。
具体实施方式
步骤二：然后抛光机定盘保持低速转动，边倒界面活性剂边用小刷子手动刷洗抛光布
15min，界面活性剂体积与纯水体积比为1：10；
步骤三：活化中抛布时，将圆盘刷放置在其中一个抛光头下，选择刷洗程序，刷洗的液体改为中抛配比液，抛光头下降并对圆盘刷施加压力，下定盘按设定转速旋转，开始刷洗
20min，原液与纯水的比例为1：20；
步骤四、活化精抛布时，将圆盘刷放置在其中一个抛光头下，选择刷洗程序，刷洗的液体改为精抛配比液，抛光头下降并对圆盘刷施加压力，下定盘按设定转速旋转，开始刷洗
20min，原液与纯水的比例分别为1：15。
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