专利汇可以提供一种研抛设备的自动分液排放和循环装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型属于 硅 片 研磨 抛光 设备领域,具体涉及一种研抛设备的自动分液排放和循环装置。包括分液盒,分液盒底部有两个分隔开的排液孔,分别固定两个 管接头 分液盒顶部盖设有安装板,安装板上设有通孔用于导入 抛光液 ,分液盒下部设有安装 块 ;安装块与连接 支架 相连,连接支架通过销轴与 气缸 连接。分液 转轴 横向贯穿分液盒,分液盒内的分液转轴中段设有分液扇,其中一端部与设于分液盒外的 连杆 一端相连;连杆另一端通过连接座气缸头部相连。本实用新型节约设备使用成本,减少废液污染,结构简单,只需通过一个气缸来控制分液扇转动,即可实现可循环抛光液与废液的分离,可靠性高,运行 稳定性 强。,下面是一种研抛设备的自动分液排放和循环装置专利的具体信息内容。
1.一种研抛设备的自动分液排放和循环装置,其特征在于,包括分液盒、分液转轴和分液扇;
所述分液盒底部有两个分隔开的排液孔,分别固定两个管接头,两个排液孔间的分液盒底板上设有竖向分隔板;分液盒顶部盖设有安装板,安装板上设有通孔用于导入抛光液,分液盒下部设有安装块;安装块与连接支架相连,连接支架通过销轴与气缸连接;
所述分液转轴横向贯穿分液盒,分液盒内的分液转轴中段设有分液扇,分液转轴一端与设于分液盒外的连杆一端相连;连杆另一端通过连接座与所述气缸头部相连。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述气缸上安装两个调速阀,用于调节气缸运行速度。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述分液盒与安装板之间设有硅胶密封垫。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述分液转轴两端通过油封、端盖、滑动轴承和卡簧与分液盒相连,用来保证转轴转动灵活和密封。
5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述端盖与分液盒之间设有O型圈,从而实现密封。
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