专利汇可以提供基于硅微机械加工的毫米波径向多路功率分配器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种基于 硅 微 机械加工 的毫米波径向多路 功率分配器 ,分配器由上层 硅片 和下层硅片组成,其中上层硅片包括一根基于圆 波导 高次模的输入传输线、径向波导上片、输出传输波导上片和若干输出矩形波导口;下层硅片包括圆柱凸台、径向波导下片和输出波导下片;上硅片和下硅片通过微机械键合工艺实现完整径向功分器。本发明基于硅微机械加工的毫米波径向功率分配器具有更高的加工 精度 、更紧凑的结构,后续安装适合采用微组装技术,可以获得更高集成度,主要用于毫米波及以上频段的功率分配及合成。,下面是基于硅微机械加工的毫米波径向多路功率分配器专利的具体信息内容。
1.一种基于硅微机械加工的毫米波径向多路功率分配器,其特征在于,整个分配器由上层硅片(1)和下层硅片(2)组成,所述上层硅片(1)和下层硅片(2)通过微机械键合的方式连接;
上层硅片(1)包括一根高次模圆波导输入传输线(3),与圆波导同心的径向波导上片(4),数个输出传输波导上片(5)以及数个输出矩形波导口(6);所述输入高次模圆波导输入传输线(3)与径向波导上片(4)的中心直接连接;所述输出传输波导上片(5)以圆波导为中心呈径向分布;
下层硅片(2)包括一个圆柱凸台(7),与圆波导同心的径向波导下片(8),数个输出传输波导下片(9);所述的圆柱凸台(7)处于径向波导下片的中心位置,位于高次模圆波导输入传输线(3)的正下方;所述输出传输波导下片(9)以圆柱凸台中心(7)呈径向分布。
2.根据权利要求1所述的基于硅微机械加工的毫米波径向多路功率分配器,其特征在于,输入圆波导口(3)和全部输出矩形波导口(6)均在分配器的同一表面。
3.根据权利要求1所述的基于硅微机械加工的毫米波径向多路功率分配器,其特征在于,高次模圆波导输入传输线(3)的圆波导的工作模式为TM01模。
4.根据权利要求1所述的基于硅微机械加工的毫米波径向多路功率分配器,其特征在于,高次模圆波导输入传输线(3)的圆波导的工作模式为TE01模。
5.根据权利要求1所述的基于硅微机械加工的毫米波径向多路功率分配器,其特征在于,上层硅片(1)和下层硅片(2)均采用硅湿法腐蚀或干法等离子体腐蚀技术进行深硅刻蚀,形成硅表面的波导腔体结构。
6.根据权利要求1所述的基于硅微机械加工的毫米波径向多路功率分配器,其特征在于,输出传输波导上片(5)与输出矩形波导口(6)的数量相同,输出矩形波导口(6)设置在对应输出传输波导上片(5)端部。
7.根据权利要求1所述的基于硅微机械加工的毫米波径向多路功率分配器,其特征在于,输出传输波导上片(5)与输出传输波导下片(9)数量相同。
8.根据权利要求1所述的基于硅微机械加工的毫米波径向多路功率分配器,其特征在于,输出传输波导上片(5)均匀分布在径向波导上片(4)外周。
9.根据权利要求1所述的基于硅微机械加工的毫米波径向多路功率分配器,其特征在于,输出传输波导下片(9)均匀分布在径向波导下片(8)外周。
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