专利汇可以提供一种硅片清洗装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 申请 公开了一种 硅 片 清洗装置,包括清洗筐、以及阵列放置于所述清洗筐内的9个清洗花篮,所述清洗花篮的长边与所述清洗筐的长边平行,所述清洗花篮的短边与所述清洗筐的短边平行。本 发明 的优点在于:(1)、改善前单槽清洗批量由8盒/筐200片转变改善后单槽清洗批量9盒/筐225片,单项改善产量提升12.5%。(2)、改善了清洗花篮工装的用量从而节省物料的成本。(3)、保证了单框清洗运行的 稳定性 。,下面是一种硅片清洗装置专利的具体信息内容。
1.一种硅片清洗装置,其特征在于,包括清洗筐、以及阵列放置于所述清洗筐内的9个清洗花篮,所述清洗花篮的长边与所述清洗筐的长边平行,所述清洗花篮的短边与所述清洗筐的短边平行。
2.根据权利要求1所述的硅片清洗装置,其特征在于:所述清洗框包括矩形的底部边框、相对设置的第一侧边框、以及相对设置的第二侧边框,所述第一侧边框固定于所述底部边框的边缘且位于竖直方向,所述第二侧边框连接于所述第一侧边框之间,所述相对设置的第二侧边框之间的间距大于所述底部边框短边的长度。
3.根据权利要求1所述的硅片清洗装置,其特征在于:所述清洗花篮的材质为PFA聚偏氟乙烯。
4.根据权利要求1所述的硅片清洗装置,其特征在于:所述每个清洗花篮中装载有25片硅片。
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