本发明涉及通过图像处理方式确定反射光量不同的区域之间 的边界线用的边界线检测方法，以及采用这种检测方法在诸如硬 盘装置等中用的磁头主体和诸如承载臂等支撑部件间进行位置确 定用的位置确定方法和位置确定装置。

图8A为表示现有的磁头位置确定装置用的平面图，图8B为 其侧面图。

磁头主体1可用于硬盘装置等，它由滑动体、设置在这种滑 动体的后沿侧端部处的、呈薄膜结构的记录部和再生部构成。作 为支撑这种磁头主体1的支撑部件的承载臂2由板簧材料构成。 在承载臂2的前端部分处通过作为所谓的制动安全销的薄形板簧 支撑着磁头主体1。在承载臂2的前部形成有呈凹球面形状的枢 轴3，枢轴3的顶点与磁头主体的上侧面呈点接触，从而使磁头 主体1以枢轴3的顶点作为支点，在朝向转动方向和节距方向等 各个方向以可摇摆的方式支撑着。

现有的磁头主体1与承载臂2间的位置确定过程，其各个步 骤为在沿着L方向间断移动的托架4的上面处，形成处于直角位 置的台阶部4a和4b，并通过夹具将磁头主体1上的滑动体2的 侧面挤压在前述的台阶部4a和4b处，以保持为定位设置。保持 磁头主体1用的托架4要通过预定工序定位位置定位设置在托架 位置确定部件5和5之间，并通过这一工序定位位置将承载臂2 设置在托架4上。

在托架4的上面处突起设置有一对位置确定销4c和4d，将 形成在承载臂2上的位置确定孔2a和2b嵌入至前述的位置确定 销4c和4d中，便可以将承载臂2定位设置在托架4上。承载臂2 可通过夹具保持为定位设置在托架4上的状态。而且在这种状态 下，将设置在承载臂2前端处的制动安全销与磁头主体1粘接固 定。

对于这种磁头，磁头主体1与枢轴3间的相对位置对磁头主 体1在硬盘等记录媒体上的浮起状态的影响相当大。然而使用如 图8A和图8B所示的位置确定装置的位置确定方法，对磁头主体 1与枢轴3间的相对位置确定的精度是有一定限制的。

换句话说就是，承载臂2是以位置确定孔2a和2b作为基准 而实施设置位置确定的，但是承载臂2上的位置确定孔2a、2b 与枢轴3间的相对位置加工公差，会产生枢轴3在托架4上的位 置误差。由于磁头主体1是以托架4上的台阶部4a和4b为基准 进行位置确定的，所以就枢轴3和磁头主体1间的相对误差而言， 除了前述的加工公差之外，还存在有托架4上的台阶部4a、4b 与位置确定销4c、4d之间的位置尺寸公差，以及位置确定销 4c、4d与位置确定孔2a、2b间的嵌合间隙公差等。

因此，磁头主体1上的设计时预定的与枢轴3间的接触位置， 与实际上枢轴3与磁头主体1相接触的位置之间，会产生最大可 达±20μm左右的公差。当磁头主体1处于在硬盘等记录媒体 上浮起的状态时，前述的枢轴位置处的±20μm左右的误差， 会在沿转动方向的浮起距离中产生±7.8nm左右的误差，在沿节 距方向的浮起距离中产生±1.6nm左右的误差。

而且在将磁头主体1与承载臂2组装起来而形成组合体，并 组装至硬盘装置等中时，由于位于记录媒体上的磁头主体1的静 止状态和承载臂的弹簧压力变动的影响，将在磁头主体1的浮起 距离上产生±7.6nm左右的公差。

由于上述的磁头主体1和承载臂2间的位置确定误差所产生 的前述浮起距离的变动，和由于静止状态和弹簧压力等产生的浮 起距离的变动，即使简单地叠加也是相当大的，所以会出现磁头 主体1的浮起距离超过变动的允许值的不良制品，进而会使废品 率上升。

近年来随着记录密度增大、磁头主体1上的滑动体小型化， 使得浮起距离缩短，其允许范围变窄，进而需要对前述的浮起距 离进行更精确的控制。

在分析前述的浮起距离变动的主要因素时，可知产生静止状 态和弹簧压力的变动原因是由整个磁头的结构构成形式制约着 的，为了减小浮起距离的变动，就必须精确地对磁头主体1和形 成在承载臂2上的枢轴3间的相对位置进行位置确定。

为了确定磁头主体1和枢轴3间的相对位置，可以用摄像机 对承载臂2和磁头主体1的结合部周边进行放大摄影，在图像上 求解出磁头主体1上的滑动体边缘部与枢轴3上的中心位置间的 距离，并分析这一距离是否位于允许误差的范围之内。

然而，对于用摄像机摄影获得的图像，不能用比诸如CCD等 光检测元件的配置节距更短的距离实施分析，因此在确定诸如磁 头主体1上的滑动体边缘部等时，也不能用比光检测元件的配置 节距更短的尺寸实施位置确定。

本发明就是要解决上述问题，其目的是要能够高精度地确定 磁头主体与支撑部件之间的相对位置。

本发明的目的还在于要能够用比摄像机中的光检测元件的配 置节距更为精细的尺寸检测出诸如磁头主体等的边界部。

本发明提供了一种使用配置有若干个光检测元件的摄像机检 测光反射率不同的区域之间的边界线用的检测方法，其特征在于 根据由各个光检测元件检测出的检测光量进行图像处理，在图像 上将出现有与各个光检测元件相对应的辉度的区域设定为单位区 域，并比较沿预定方向配置的若干个单位区域的辉度，从而确定 出位于一个单位区域内的所述实际边界线的位置。

如果举例来说，当对沿预定方向配置的若干个单位区域间的 辉度进行微分，对辉度微分值为最高的单位区域和与其相邻接的 若干个单位区域的辉度进行比较，从而确定出位于一个单位区域 内的所述实际边界线的位置时，则更好些。

本发明并不仅限于采用微分方式。当不采用微分方式，而是 通过对相邻接的各单位区域间的辉度进行比较的方式，也可以确 定出预测的实际边界线的位置。然而当采用微分方式时，可以使 各单位区域之间的辉度变化和噪音相抵消，故当通过测定辉度的 峰值位置的方式确定出边界线时，可以提高边界线的确定精度。

本发明可以用比辉度一定的单位区域的配置节距，即CCD摄 像机用的光检测元件的配置节距更小的尺寸，确定出边界线。

而且，对于所述边界线为直线的场合，还可以对沿着与所述 边界线延伸方向的平行方向配置的单位区域中的行列中的各单位 区域的辉度进行叠加，并求解出其平均值，对若干列进行这种计 算，并且对各列间的辉度微分值进行叠加，并比较其平均值，对 沿着与所述边界线相交叉的方向上的叠加值和平均值的峰值位置 进行预测，从而可以利用这种峰值位置确定出所述边界线的位 置。

而且，当包含着所述边界线的区域中的相邻接的各个单位区 域中的辉度微分值为ai(其中i为正整数)，各个单位区域的位置坐 标为Xi(或Yi)时，也可以通过∑(ai×Xi)/∑ai(或∑(ai×Yi)/∑ ai)而确定出边界线的X坐标位置(Y坐标位置)。

而且，对于所述边界线为圆弧线或曲线轨迹的情况，当包含 着所述边界线的区域中的相邻接的各个单位区域中的辉度微分值 为ai(其中i为正整数)，各个单位区域的X坐标上的位置为Xi， 各个单位区域的Y坐标上的位置为Yi时，可以通过∑(ai×Xi)/ ∑ai和∑(ai×Yi)/∑ai确定位于一个单位区域内的辉度微分值为 峰值时的位置，连接各个单位区域之间的所述峰值位置，便可以 对所述的边界线进行预测。

因此，对于所述边界线为圆弧线的情况，可以通过连接各个 单位区域之间的所述峰值位置的方式确定出圆弧，进而根据这一 圆弧对圆的中心位置进行预测。

而且，本发明还提供了一种对朝向记录媒体的磁头主体和支 撑这一磁头主体的支撑部件间实施位置确定用的方法，其特征在 于包括：

向所述磁头主体和支撑部件的组合部位施加光，利用配置有 若干个光检测元件的摄像机检测反射光；

采用如前面所述的任一种边界线检测方法，检测所述的磁头 主体的边缘部的步骤；

采用前面所述的检测边界线为圆弧线的方法，通过连接各个 单位区域之间的所述峰值位置的方式确定出圆弧，根据这一圆弧 对圆的中心位置进行预测，以此检测作为设置在所述支撑部件处 的磁头主体的摇摆支点的、呈凹入状的枢轴的中心点的步骤；

按照使由前述步骤获得的所述磁头主体的边缘部与枢轴的中 心点之间的距离位于允许范围之内的方式，调整磁头主体与支撑 部件间的相对位置的步骤；

在进行所述的调整之后，将磁头主体与支撑部件相对固定的 步骤。

而且，本发明还提供了一种对朝向记录媒体的磁头主体和支 撑这一磁头主体的支撑部件间实施位置确定用的装置，其特征在 于包括：

向所述磁头主体和支撑部件的组合部位施加光用的光照射组 件；

检测来自所述磁头主体和支撑部件的反射光用的、配置有若 干个光检测元件的摄像机；

对于由各个光检测元件检测出的图像进行处理用的图像处理 装置；

按照由这一图像处理装置检测出的、磁头主体的边缘部与设 置在所述支撑部件处的、作为磁头主体的摇摆支点的、呈凹入状 的枢轴的中心点间的距离位于允许范围之内的方式，调整磁头主 体与支撑部件间的相对位置用的调整组件；

并且用所述的图像处理装置将在图像上出现的与各个光检测 元件相对应的辉度区域设定为单位区域，对沿预定方向配置的若 干个单位区域间的辉度进行比较，从而确定出位于一个单位区域 内的所述磁头主体的边缘部和所述枢轴的中心位置。

而且，在前述的磁头位置确定方法和位置确定装置中可以使 磁头主体1固定，使支撑部件移动而进行相对位置的调整，也可 以使支撑部件固定，使磁头主体移动而进行相对位置的调整。

本发明的边界线检测方法不仅仅适用于如前所述的磁头位置 确定方法和位置确定装置，由于它可以检测出光反射率不同的区 域的边界线，所以还可以应用于其它的检测部件之间距离的场 合。

图1为表示本发明的磁头位置确定装置的侧面图。

图2为表示磁头主体和支撑部件的组合体的平面图。

图3A、图3B、图3C为表示检测磁头主体边缘部用的图像 处理的示意性说明图。

图4为表示确定磁头主体边缘部位置用的检测方法的一个实 例的示意性说明图。

图5A、图5B、图5C为表示检测设置在支撑部件处的枢轴 中心用的图像处理的示意性说明图。

图6A、图6B、图6C、图6D为确定检测枢轴中心用的检测 方法的一个实例的示意性说明图。

图7为表示确定枢轴的椭圆部分中的圆形轮廓用的示意性说 明图。

图8A为表示现有的磁头位置确定装置用的平面图，图8B为 其侧面图。

下面参考附图说明本发明的最佳实施例。

如上所述的本发明的边界线检测方法，可以用非常高的精度 检测出光反射辉度不同的区域间的边界线，从而可以用比象素的 配置节距更精细的尺寸确定边界线的位置。

而且，当采用这种检测方法对磁头和支撑部件实施位置确定 时，可以高精度地确定磁头主体的位置，从而可以使其浮起距离 稳定化。

图1为表示本发明的磁头位置确定装置用的侧面图。

这种磁头位置确定装置可以对如图2所示的诸如硬盘装置等 中使用的磁头装置实施位置确定。

正如图2所示，这种磁头装置由具有滑动体、呈薄膜结构的 记录部和再生部的磁头主体1，以及通过作为所谓的制动安全销 的薄形板簧支撑在磁头主体1上的、作为支撑部件的承载臂2构 成。在承载臂2的前部形成有呈凹球面形状的枢轴3，磁头主体1 由这一枢轴3的顶点支撑着，以这一支撑点作为支点的磁头主体1 还可以通过前述制动安全销的弹性变形而朝向转动方向和节距方 向等各个方向摇摆。

正如图1所示，在托架4的上面设置有确定磁头主体1的位 置用的位置确定部件和保持磁头主体固定用的夹具。

调整用滑动体10以可以在X-Y平面内自由移动的方式支 撑在托架4的上方，调整销11a和11b固定在这一调整用滑动体 10上。位于承载臂2上的前述位置确定孔2a和2b以嵌入方式保 持在调整销11a和11b处。

前述的调整用滑动体10可通过沿X轴方向的动作器12x和沿 Y轴方向的动作器12y在X-Y平面内作微小的距离移动，这样 便可以相对于磁头主体1调整承载臂2的相对位置。

前述的沿X轴方向的动作器12X和沿Y轴方向的动作器12y 可以由移动调整用滑动体10用的滚动螺钉和转动这种滚动螺钉 用的步进电动机构成，也可以由可使调整用滑动体10在X-Y 平面内作轻微移动的压电元件等构成。

与磁头主体1和承载臂2的前部的组合体相对的位置还与摄 像机13的位置相对。在这一摄像机13上组装有放大透镜14，利 用摄像机13内的诸如CCD等光检测元件，可以获得放大后的图 像。由摄像机13获得的图像可由图像处理装置15进行图像处理。 这种图像处理装置15可以由计算机中的软件实施运行。可以根据 这一图像处理结果驱动控制器16，并控制动作器12x和12y作用 于调整用滑动体10的传送量。

图3A、图3B、图3C为说明对磁头主体1和承载臂2的前 部的组合部的图像进行图像处理用的示意性说明图，图4为说明 确定磁头主体1的边缘部位置的过程的示意性说明图。

图3A示出了由光照射装置向承载臂2的前部和磁头主体1 的组合部照射从正上方发出的平行光，并且由放大透镜14放大、 由摄像机13捕捉到的图像。

在承载臂2的两个侧部处形成有折曲部2c、2c，这些折曲 部2c、2c的端面为由冲压机形成的断裂面，故光的反射率相当 低。因此如图3A所示的图像，它在承载臂2上的平面部2d的辉 度比较高，在折曲部2c、2c的端面处的辉度比较低。

由于形成在承载臂2处的枢轴3呈凹球面状，所以由上方射 入的平行光将在凹球面的内面处形成漫反射。因此整个枢轴3的 辉度比较低。仅仅在枢轴3中的凹球面的顶点(底点)处，由于光将 向正上方反射，从而会在这一顶点3a的小直径圆圈的范围内具有 比较高的辉度。

磁头主体1支撑在承载臂2的前部处，在滑动体1a的后沿侧 端面处还安装有薄膜元件1b，这种薄膜元件1b构成为电感结构 的记录部和在MR元件等中使用的再生部。在如图3A所示的图像 中，来自滑动体1a上侧面的反射光最强，故其上侧面的辉度最高。 薄膜元件1b上的辉度比较高，而其周围处比较暗。

通过这种图像处理可确定滑动体1a的沿X方向的侧面边缘 部X0和沿Y方向的侧面边缘部Y0，并且可确定枢轴3的顶点3a 处的中心点O，由此可以测定出滑动体1a的边缘部X0和Y0与 枢轴3的顶点处的中心点O间的距离。当这一距离位于允许范围 之外时，可以使沿X轴方向的动作器12x和沿Y轴方向的动作器 12y动作，在X-Y平面内轻微移动调整用滑动体10和承载臂2 的位置，进而调整磁头主体1与承载臂2间的相对位置。而且在 当滑动体1a上的边缘部X0和Y0与枢轴3上的顶点处的中心点O 间的距离位于允许范围之内时，将磁头主体1粘接固定在承载臂2 的制动安全销处。

下面对通过图像处理方式确定磁头主体1的边缘部X0的操 作步骤进行说明。

首先在如图3A所示的图像中，在包含有滑动体1a上的边缘 部X0部分处设定窗口Wx，在包含边缘部Y0的部分处设定窗口 Wy。

对前述窗口Wx中的沿X方向上的辉度变化进行微分，对前 述窗口Wy中的沿Y方向上的辉度变化进行微分。这样，辉度发 生最急剧变化的部分将出现有辉度峰值Px和峰值Py、Py’(参 见图3B)。

前述的峰值Py’为薄膜元件1b的后沿侧端面处的边界线， 将其除去，便可以获得如图3C所示的峰值Px和峰值Py。按说 应该可以用峰值Px表示滑动体1a上的沿X方向的侧面边缘部X0 的边界线，用峰值Py表示滑动体1a上的沿Y方向的侧面边缘部 Y0的边界线。然而在实际上，在放大承载臂2的前部与磁头主体 1的组合部并获取其图像时，并不能用比摄像机13上的CCD(光 检测元件)的间隔更短的精度确定滑动体1a的边界线。

如果举例来说就是，用摄像机13获得由放大透镜14放大后 的图像时，并且使一个光检测元件(象素)的宽度与滑动体1a的尺 寸相对应时，由一个光检测元件检测出的范围为4μm左右。在 这种情况下，当将图像的辉度二进制化，并且用二进制方式确定 出辉度的峰值Px或Py时，在峰值Px或Py的位置上会产生有± 4μm的误差。这一误差与采用如图8所示的现有的机械或位置 确定方法中存在的、在磁头主体1与枢轴3间的相对位置公差± 20μm相比，是相当小的，因此利用二进制化的辉度峰值确定滑 动体1a上的边缘部X0和Y0，便可以获得比原来更高的位置确 定精度。

而且这一实施形式还可以用比光检测元件(象素)的宽度(比如 说4μm)更小的值来确定滑动体上的边缘部的边界线。

图4中图像放大部分为图3C所示的图像中的辉度为峰值Px 的部分的放大示意图。其中的图像的单位区域G表示的是用摄像 机13中的一个光检测元件检测出的图像的区域，它沿X方向和Y 方向的宽度可以为如上所述的4μm。而且在图4的图像放大部 分，象素(单位区域G)沿X轴方向的坐标位置分别由151～157 表示。

所进行的图像处理为对设定有窗口Wx的区域中的辉度变化 沿X轴方向微分，而且对各单位区域G的微分后的辉度不用二进 制表示，而是用模拟变化的多进制表示。

在如图4的图像放大部分所示的图像中，辉度为峰值的单位 区域在坐标上将产生一定的偏置，辉度为峰值的单位区域G大体 位于X坐标上的位置“154”处，对于作为由M所示的部分的两 个单位区域G，在X坐标上的“155”处的辉度为峰值。

本发明的边界线检测方法通过对出现有峰值的各单位区域和 与其相邻接的单位区域的辉度进行比较，从而确定出滑动体1a的 边缘部X0的实际边界线。比如说可以对X坐标上的位置“154” 处的辉度为峰值的单位区域的数目，和X坐标上的位置“155” 处的辉度为峰值的单位区域的数目进行比较，从而确定滑动体1a 上的边缘部X0的位置。如果举例来说就是，由于在图4中，X 坐标上的位置“154”处的辉度为峰值的单位区域的数目为 “8”,X坐标上的位置“155”处的辉度为峰值的单位区域的 数目为“2”，所以可以确定在X坐标为154+(8/10)=154.8的 位置处存在有边缘部X0的边界线。

而且正如图4中辉度数值列部分所示，通过对沿着滑动体1a 上的边缘部X0的边界线延伸方向平行延伸的一列单位区域G中 的各个辉度实施叠加的方式，也可以确定辉度的峰值位置。在图4 中的辉度数值列部分，使与X坐标上的位置“157”处沿Y方向 并列的各个单位区域的辉度数值化，并对X坐标上的位置“157” 处的一列上的各个辉度实施叠加。正如图4中辉度数值列部分所 示，在X坐标上的位置“157”处的单位区域的辉度由上侧起为 “23”、“19”、“19”、…等数值化的值，所以当对该列上 的各个辉度实施叠加时，其叠加值为“207”。

对前述的沿Y方向并列的各个单位区域的X坐标为“151’、 “152”、…的各个列，即图像上的位于峰值位置处的列和与其 相邻接的各个列上的单位区域的辉度进行叠加。

图4中辉度微分值的叠加曲线图部分以曲线图的方式示出了 沿Y方向并列的各个列上的辉度的叠加值。在X坐标为“151”、 “152”、“153”、…的各个列中，对辉度实施叠加，并且对 各个列的叠加值进行比较。在图4中辉度微分值的叠加曲线图部 分示出了连接各个叠加值的曲线，这一曲线的峰值位置(峰值预测 位置)确定着滑动体1a上的边缘部X0的边界线的位置。

而且，通过求解沿Y方向延伸的各个列上的各单位区域(象素) 的辉度的平均值，求解如图4中辉度微分值的叠加曲线图部分所 示的曲线，也可以由这种峰值确定出边缘部X0的位置。

通过在如图3A所示的窗口Wy中，对沿X方向并列的各个列 上单位区域中的象素的辉度实施叠加并求解平均值的方式，便可 以与图4所示的相类似，确定出滑动体1a上的沿Y方向的边缘部 Y0的边界线。

下面参考图5A、图5B、图5C、图6A、图6B、图6C、 图6D和图7，对确定形成在承载臂2处的枢轴3上的顶点3a处 的中心点的图像处理方法进行说明。

首先如图5B所示，在包含有枢轴3上的顶点3a的小直径、 高辉度的圆形区域内设定窗口Wo。这时将预定大小的圆形区域 之外的辉度变化，即如图5B中的“×”所示的部分略去。通过求 解如图5B所示的窗口Wo内的圆形部分的曲率中心的方式，便可 以确定出枢轴3上的顶点3a处的中心点O，但在下面的实例中， 为了更正确地确定中心点O，还如图5C所示，对顶点3a的圆形 部分的轮廓(边界线)附近的辉度变化进行微分，以获得辉度微分 值为峰值的圆。

然而由于辉度的微分值为峰值的圆的直径非常小，所以比如 说如图7所示，用图像上辉度微分值为最高值的象素并不能形成 一个标准的圆。这将对圆形中心点O的确定精度产生一定的限 制。

通过进行如图6所示的图像处理的方式，可以在一个象素(单 位区域G)内确定现有的辉度微分值为峰值的位置，即可确定出穿 过现有的圆形轨迹的点。

首先如图6A所示，沿着圆的轮廓，确定出各个部分通过圆的 轮廓的点。图6B为图6A中示出的Wo1部分的放大示意图。对 于通过圆的部分Wo1，象素(单位区域G)位置的X坐标位置Xi 为“135”、“136”、“137”，Y坐标位置Yi为“311”、 “312”、“313”。

在图6B中，位于中心位置(Xi,Yi)=(136,312)的坐标位置 处的单位区域G(136,312)的辉度微分值比较高。因此通过圆形 轮廓的点Gg被确定位于单位区域G(136,312)之内。

首先对单位区域G(136,312)和与这一单位区域相邻接的单 位区域沿X轴方向的辉度微分值的变化，以及沿Y轴方向的辉度 微分值的变化进行比较。

对于X轴而言，是对单位区域G(136,312)和与其左侧相邻 接的单位区域G(135,312)、与其右侧相邻接的单位区域 G(137,312)的辉度微分值进行比较。图6C以数值化的形式示 出了各个单位区域的辉度微分值ai。单位区域G(136,312)的辉 度微分值ai为“121”，单位区域G(135,312)的辉度微分值ai 为“56”，单位区域G(137,312)的辉度微分值ai为“135”。

当计算∑(ai×Xi)/∑ai时，有{(56×135)+(121×136)+ (135×137)}/(56+121+135)=136.25。它就是在单位区域 G(136,312)内的、辉度微分值为峰值的位置，即穿过圆形轮廓 的点Gg的X坐标位置。

对于Y轴而言，是对单位区域G(136,312)和与其上方相邻 接的单位区域G(136,311)、与单位区域G(136,312)的正下 方相邻接的单位区域G(136,313)的辉度微分值进行比较。正如 图6C所示，单位区域G(136,312)的辉度微分值ai为“121”， 单位区域G(136,311)的辉度微分值ai为“90”，单位区域 G(136,313)的辉度微分值ai为“70”。

当计算∑(ai×Yi)/∑ai时，有{(90×311)+(121×312)+ (70×313)}/(90+121+70)=311.92。它就是在单位区域 G(136,312)内的、辉度微分值为峰值的位置，即穿过圆形轮廓 的点Gg的Y坐标位置。

由上可知，位于单位区域G(136,312)内的、通过实际边界 线的圆形轮廓的点Gg的坐标为Gg(136.25,311.92)。

可以由这些点求解出在各个辉度微分值比较高的单位区域中 的各个点Gg的坐标，连接这些点Gg，便可以确定出枢轴3上的 顶点3a的轮廓，它是如图7所示的正圆。通过计算出这一圆的曲 率中心的方式，便可以确定出顶点3a的中心点O。

如图1所示的位置确定装置通过使滑动体1a上的边缘部X0 和Y0与顶点3a上的中心点O间的X坐标距离和Y坐标距离位于 允许范围之内的方式，便可以确定磁头主体1与承载臂2间的预 定位置，并将磁头主体1相对固定在承载臂2上。

采用前述的图像处理方式，可以在大约4μm见方的单位区 域(象素)G内确定出辉度的边界(由微分所获得的峰值)的位置，所 以可以使磁头主体1的边缘部X0和Y0的位置和枢轴3的中心点 O的坐标误差在±1μm以下，从而可以高精度地实施磁头主体 1与承载臂2间的位置确定。

当枢轴的中心点坐标误差在±1μm以下时，可以使沿转动 方向的浮起距离的变化在±0.39nm以下。这仅为原来沿转动方 向的浮起变化(±7.8nm)的大约1/20。而且，沿节距方向的浮起 距离的变化将在±0.08nm以下。这也仅为原来沿节距方向的浮 起变化(±1.6nm)的大约1/20。