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极紫外光微影设备、工艺控制方法及评估焦距控制的方法 | 2020-09-21 | 1019 |
半导体器件和制备半导体器件的方法 | 2020-09-19 | 525 |
一种图形化精细导电薄膜及其制作方法 | 2020-09-24 | 150 |
一种纳米尺度EUV掩模的制备方法 | 2020-09-23 | 951 |
相变材料呈环形的相变存储器器件单元及制备方法 | 2020-09-17 | 1018 |
金属硅化物纳米线及其制作方法 | 2020-09-18 | 915 |
双面布线基板的制作方法 | 2020-09-22 | 910 |
光刻设备的对准基准板及其制造工艺方法 | 2020-09-20 | 144 |
采用硫系化合物纳米材料制备相变存储器器件单元的方法 | 2020-09-25 | 901 |
半导体器件和制备半导体器件的方法 | 2020-09-18 | 26 |
半导体晶圆加工方法、系统及系统的清洁方法 | 2020-09-20 | 160 |
一种半导体器件及其制造方法、电子装置 | 2020-09-19 | 835 |
采用硫系化合物纳米材料制备相变存储器器件单元的方法 | 2020-09-27 | 68 |
掩膜结构及其制法 | 2020-09-18 | 103 |
永久修复光刻掩模的材料缺损的缺陷的方法和装置 | 2020-09-29 | 315 |
掩膜结构及其制法 | 2020-09-20 | 89 |
由纳米级沟道的平面阵列构成的筛分介质及其制造和使用方法 | 2020-09-30 | 555 |
垂直磁各向异性磁性纳米点阵列器件、制备方法及其应用 | 2020-09-19 | 608 |
集成电路IC虚拟制造系统及其实现方法 | 2020-09-28 | 386 |
由纳米级沟道的平面阵列构成的筛分介质及其制造和使用方法 | 2020-09-26 | 468 |
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极紫外光刻工艺和掩模 | 2020-05-11 | 443 |
极紫外光刻光源收集及照明系统 | 2020-05-13 | 115 |
极紫外光刻光源收集镜污染测量装置 | 2020-05-14 | 938 |
一种极紫外光刻投影物镜设计方法 | 2020-05-14 | 590 |
用于极紫外光刻的反射光学元件 | 2020-05-15 | 40 |
极紫外光刻掩模台静电卡盘冷却器 | 2020-05-16 | 810 |
极紫外光刻机光源系统及极紫外曝光方法 | 2020-05-12 | 865 |
极紫外光刻光源收集及照明系统 | 2020-05-18 | 832 |
极紫外光刻精密磁悬浮工件台 | 2020-05-19 | 90 |
极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架 | 2020-05-21 | 630 |
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