极紫外光刻
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| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| EUV反射镜和包括EUV反射镜的光学系统 | 2020-10-24 | 936 |
| EUV反射镜布置、包括EUV反射镜布置的光学系统以及操作包括EUV反射镜布置的光学系统的方法 | 2020-11-03 | 907 |
| 用于投射曝光系统的具有至少一个磁体的致动器、致动器的制造方法、以及具有磁体的投射曝光系统 | 2020-11-05 | 313 |
| EUV反射镜布置、包括EUV反射镜布置的光学系统以及操作包括EUV反射镜布置的光学系统的方法 | 2020-11-06 | 204 |
| 相变材料呈环形的相变存储器器件单元及制备方法 | 2020-10-29 | 92 |
| 金属化叠层及其制造方法及包括金属化叠层的电子设备 | 2020-11-04 | 419 |
| 用于后段工艺(BEOL)互连件的借助光桶的自对准过孔和插塞图案化 | 2020-10-23 | 908 |
| 用于EUV的自由电子激光器辐射源 | 2020-11-07 | 586 |
| EUV反射镜和包括EUV反射镜的光学系统 | 2020-10-27 | 132 |
| 检查方法和设备 | 2020-10-28 | 81 |
| 用于投射曝光系统的具有至少一个磁体的致动器、致动器的制造方法、以及具有磁体的投射曝光系统 | 2020-11-09 | 831 |
| 用于从所制造组件识别的图案缺陷的系统性及随机性表征的系统、方法及计算机程序产品 | 2020-10-30 | 708 |
| EUV微光刻的投射镜头、膜元件及制造包含膜元件的投射镜头的方法 | 2020-11-01 | 662 |
| 用于产生极紫外辐射的模块和方法 | 2020-11-08 | 321 |
| SOI衬底制备方法和SOI衬底 | 2020-11-02 | 266 |
| 半导体器件的形成方法 | 2020-10-25 | 1034 |
| 金属化叠层及其制造方法及包括金属化叠层的电子设备 | 2020-10-21 | 621 |
| 辐射源 | 2020-10-26 | 852 |
| 半导体器件的形成方法 | 2020-10-31 | 198 |
| 引导装置和相关联的系统 | 2020-10-22 | 152 |
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 极紫外光刻掩模缺陷检测系统 | 2020-05-13 | 498 |
| 极紫外光刻胶曝光检测装置与方法 | 2020-05-14 | 127 |
| 用于极紫外光刻的反射光学元件 | 2020-05-15 | 40 |
| 极紫外光刻掩模台静电卡盘冷却器 | 2020-05-15 | 1026 |
| 极紫外光刻机光源系统及极紫外曝光方法 | 2020-05-13 | 598 |
| 极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架 | 2020-05-21 | 630 |
| 一种极紫外光刻掩模优化方法 | 2020-05-22 | 231 |
| 一种极紫外光刻波纹板照明系统 | 2020-05-22 | 230 |
| 一种极紫外光刻掩模和其制造方法 | 2020-05-18 | 792 |
| 极紫外光刻精密磁悬浮工件台 | 2020-05-19 | 90 |
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