技术领域
[0001] 本
发明涉及极紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)光刻光源收集镜的刀架加工技术。技术背景
[0002] 以光刻宽度处于100nm以下的光刻技术，称为
极紫外光刻技术。其中，实现22nm～45nm的刻线，已经作为了我国极紫外光刻光源到2020年的发展目标。目前国际上实现这一目标主要有激光
等离子体(LPP)和
放电等离子体(DPP)极紫外光刻光源两种，此两种方案通过Xe或Sn介质产生高温高
密度等离子体实现13.5nm(2％带宽)
辐射光输出。DPP光源主要由毛细管放电、中空
阴极管、等离子体焦点等技术方案，其中的毛细管放
电极紫外光刻光源由于结构简单、等离子状态稳定等优势，是目前发展的一种很重要的光源方案。
[0003] 毛细管放电极紫外光刻光源，是指采用Xe或Sn介质，在毛细管放电Z箍缩机制下获得的13.5nm(2％带宽)的辐射光输出。所述的13.5nm
波长辐射光的具体形成过程为：在毛细管放电过程中，高
电压会使毛细管内沿着内表壁形成一层Xe或Sn等离子体壳层，主脉冲放电时，通过等离子体的强
电流受自身
磁场作用，会产生强大的洛仑兹
力，使等离子体沿径向箍缩，称之为Z箍缩。在等离子体压缩的过程中，等离子体同时受到排斥力和欧姆加热，使得等离子体
温度升高，碰撞Xe或Sn离子产生更高价态的离子，当等离子体压缩到半径最小时，约为300μm，此时将会实现EUV辐射光输出。等离子体压缩到最小半径时毛细管内的等离子体是一个很细的等离子体柱，这个等离子体柱中的每一个微小段均可视为一个点光源，这个点光源将向四周4π立体
角范围内均匀的辐射EUV辐射光。毛细管放电形成的EUV辐射光，必须经过后续的极紫外光学收集系统，成像在中间焦点IF点，从而实现了IF点一定功率的13.5nm波长的辐射光输出。由于13.5nm辐射光处于极紫外波段，因此必须在掠入射方案条件下实现较小的入射角，同时表面粗糙度小于1nm，以获得较高的收集效率。同时收集镜壁要求不能遮挡过多的光，这样就要求收集镜壁很薄，此外，为了获得IF点较高的功率，提高收集效率，收集镜收集角应该较大。经过设计，收集镜应该为Wolter-I型结构多层嵌套式收集镜结构，最外层直径一般要达500mm以上，壁厚不能大于3mm，
单层收集镜为椭球面加双曲面组成。
[0004] 在利用金刚石
车床对Φ300以上薄壳结构的镜片加工时，存在一个很大的难题，即使刀片行进速度调整到最佳，进刀尺度尽量小，在加工中由于车刀颤抖，使加工的收集镜表面出现波纹，表面粗糙度大于50nm，表面粗糙度达不到要求。
发明内容
[0005] 本发明为了解决在加工中由于车刀颤抖，使加工表面出现波纹，表面粗糙度达不到要求的问题，从而提供极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架。
[0006] 极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，它包括刀座、深斜孔、一号螺丝孔、二号螺丝孔。
[0007] 刀架分成两部分，一部分为刀座，另一部分为一个长方体；所述刀座是一个圆柱体，在圆柱体的
侧壁上开一个通孔，形成深斜孔，该深斜孔的轴线与圆柱体的轴线相交，二者的夹角为α，α≠90°；圆柱体的一个端面固定在长方体的一个侧面上，在长方体的上表面加工出两个镜像对称的凹槽，所述两个凹槽在X方向上均延伸至与所述侧面相对的侧面，两个凹槽分别沿Y方向和-Y方向延伸至长方体的另外两个侧面，在两个凹槽的底面上各向下加工一个
螺纹通孔，分别形成一号螺丝孔和二号螺丝孔，所述X方向与圆柱体的轴线方向平行，由圆柱体向长方体为正，Z方向为与长方体上表面垂直的方向。
[0008] 它还包括N个一号减重槽，在圆柱体上车削N个凹槽，形成N个一号减重槽。
[0009] 上述一号减重槽为四个，四个一号减重槽在圆柱体上对称分布。
[0010] 上述极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架的材质为45﹟不锈
钢材料。
[0011] 上述α的值为45°。
[0012] 上述一号螺丝孔和二号螺丝孔的尺寸均为M5。
[0013] 上述刀座与长方体为一体件。
[0014] 本发明所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，四个一号减重槽保证了刀座有足够的自重，同时又避免了装卸不方便，为了保证刀具的安装在刀座上加工一个深斜孔，一号螺丝孔和二号螺丝孔用来固定刀架。本刀座在加工中可保证车刀前进的平稳和加工表面的光滑，可达到金刚石对小口径
工件加工所达到的表面粗糙度，保证了加工的要求，达到了预期加工效果，适用于大口径、薄壳结构工件精加，尤其适用于极紫外光刻光源收集镜的加工。采用上述刀架加工的收集镜的表面粗糙度可达到0.0055nm。
附图说明
[0015] 图1是具体实施方式一和具体实施方式二中的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架的立体图。
[0016] 图2具体实施方式一中的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架的主视图。
[0017] 图3为图2的俯视图。
[0018] 图4为图2沿A-A方向的剖视图。
具体实施方式
[0019] 具体实施方式一：参照图1至图4具体说明本实施方式，本实施方式所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，它包括刀座1、深斜孔2、一号螺丝孔3、二号螺丝孔4。
[0020] 刀架分成两部分，一部分为刀座1，另一部分为一个长方体；所述刀座1是一个圆柱体，在圆柱体的侧壁上开一个通孔，形成深斜孔2，该深斜孔2的轴线与圆柱体的轴线相交，二者的夹角为α，α≠90°；圆柱体的一个端面固定在长方体的一个侧面上，在长方体的上表面加工出两个镜像对称的凹槽，所述两个凹槽在X方向上均延伸至与所述侧面相对的侧面，两个凹槽分别沿Y方向和-Y方向延伸至长方体的另外两个侧面，在两个凹槽的底面上各向下加工一个螺纹通孔，分别形成一号螺丝孔3和二号螺丝孔4，所述X方向与圆柱体的轴线方向平行，由圆柱体向长方体为正，Z方向为与长方体上表面垂直的方向。
[0021] 本刀座在加工中可保证车刀前进的平稳和加工表面的光滑，保证了加工的要求，达到了预期加工效果，表面粗糙度用样板检测可达到3nm，再经过
抛光可以进一步提高表面粗糙度。
[0022] 具体实施方式二：结合图1具体说明本实施方式，本实施方式是对具体实施方式一所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，它还包括N个一号减重槽5，在圆柱体上车削N个凹槽，形成N个一号减重槽5。
[0023] 具体实施方式三：本实施方式是对具体实施方式二所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，一号减重槽5为四个，四个一号减重槽5在圆柱体上对称分布。
[0024] 具体实施方式四：本实施方式是对具体实施方式一所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架的材质为45﹟
不锈钢材料。
[0025] 具体实施方式五：本实施方式是对具体实施方式一所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，α的值为45°。
[0026] 具体实施方式六：本实施方式是对具体实施方式五所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，一号螺丝孔3和二号螺丝孔4的尺寸均为M5。
[0027] 具体实施方式七：本实施方式是对具体实施方式一所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，刀座1与长方体为一体件。
[0028] 具体实施方式八：本实施方式是对具体实施方式一所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，将刀座1的一个角车削掉，车削角度为45°，形成缺口6。
[0029] 缺口6保证了刀座有足够的自重，同时又避免了装卸不便。
[0030] 具体实施方式九：本实施方式是利用具体实施方式一所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架进行加工的方法，该方法包括以下步骤：
[0031] 第一步、首先将金钢石车床原有的可调刀架拆下；
[0032] 因为可调刀架钢性差，且对安装新刀架进刀有障碍，所以将金钢石车床原有的可调刀架拆下。
[0033] 第二步、将研制的刀架安装到金钢石车床的溜板上，确保刀体与
主轴平行，便于准确装刀；
[0034] 第三步、将金钢石刀具装到刀架上，用薄
铜皮调整刀具高度，与主轴轴饯高度一致；
[0035] 第四步、用金钢石车床自身的刀具探测器探测刀具在机床
坐标系中的
位置，给出初始刀具零位置；
[0036] 第五步、初始加工(也可称粗加工)：切削深度0.04mm-0.05mm，每分钟进给速度为15mm，主轴转速为每分钟400转-500转；
[0037] 第六步、半精加工，共加工两次，切削深度分别为8微米和5微米，每分钟进给速度为15mm，主轴转速为每分钟400-500转；
[0038] 第七步、精加工，切削深度为2微米，进给速度为每分钟2mm，主轴转速为每分钟400-500转；
[0039] 第八步、观查表面
质量，如尚有不足，再重复精加工一遍；
[0040] 第九步、加工时注意冷却油不能间断，且给油量加大，确保精车质量；
[0041] 第十步、采用同样加工程序和参数加工测试样板，经PGl 1240轮廓仪测表面粗糙度为0.0055nm。
