标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
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EUV微光刻的投射镜头、膜元件及制造包含膜元件的投射镜头的方法 | 2020-10-12 | 591 |
将来自物体的辐射成像到探测装置上的方法和用于检查物体的检查装置 | 2020-10-01 | 701 |
相变存储器存储单元及其制备方法 | 2020-10-02 | 409 |
相变存储器存储单元及其制备方法 | 2020-10-03 | 92 |
一种基于相变材料的动态可调结构色器件及其制备方法 | 2020-10-05 | 343 |
光学隔离模块 | 2020-10-19 | 113 |
一种定位工艺缺陷的方法及装置 | 2020-10-07 | 383 |
一种光刻机投影物镜波像差现场测量方法 | 2020-10-16 | 889 |
检查方法和设备 | 2020-10-08 | 862 |
一种纳米相变存储器器件单元的制备方法 | 2020-10-17 | 322 |
半导体制造中的间隔物限定的直接图案化方法 | 2020-10-14 | 720 |
用于半导体器件的图案化方法和由此产生的结构 | 2020-10-09 | 25 |
光谱纯度滤光片、光刻设备以及制造光谱纯度滤光片的方法 | 2020-10-10 | 865 |
用于调制电桶敏感度的差异化硬掩模 | 2020-10-11 | 879 |
互连结构的形成方法 | 2020-10-18 | 205 |
一种消除旁瓣图案的集成电路制造方法 | 2020-10-04 | 231 |
用于后段工艺(BEOL)互连件的借助光桶的自对准过孔和插塞图案化 | 2020-10-06 | 915 |
一种自旋转移矩磁存储单元 | 2020-10-15 | 46 |
具有各种线宽的半导体器件及其制造方法 | 2020-10-13 | 538 |
用于极高分辨率图案形成的扫描EUV干涉成像 | 2020-10-20 | 928 |
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
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极紫外光刻工艺和掩模 | 2020-05-11 | 443 |
极紫外光刻光源收集及照明系统 | 2020-05-13 | 115 |
极紫外光刻光源收集镜污染测量装置 | 2020-05-14 | 938 |
一种极紫外光刻投影物镜设计方法 | 2020-05-14 | 590 |
用于极紫外光刻的反射光学元件 | 2020-05-15 | 40 |
极紫外光刻掩模台静电卡盘冷却器 | 2020-05-16 | 810 |
极紫外光刻机光源系统及极紫外曝光方法 | 2020-05-12 | 865 |
极紫外光刻光源收集及照明系统 | 2020-05-18 | 832 |
极紫外光刻精密磁悬浮工件台 | 2020-05-19 | 90 |
极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架 | 2020-05-21 | 630 |
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