| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 内部温度传感器 | CN201480062132.5 | 2014-12-12 | CN105745518B | 2017-11-24 | 中川慎也; 清水正男; 滨口刚 |
| 本发明是一种能够以精度以及响应性良好的形式测量测量对象的内部温度的内部温度传感器。内部温度传感器(20)具有：基材(21)以及(22)，当测量对象的内部温度的测量时，使其一个面与测量对象的被测量面接触；热流量传感器(30)，设于基材的另一个面上并通过MEMS工艺制造，具有薄膜部，该薄膜部具有第一测温部以及第二测温部，该薄膜部形成有检测第一测温部与第二测温部之间的温度差的热电堆(32)的薄膜部，利用热传导性构件以第一测温部与基材之间存在空间且薄膜部与基材平行的方式来支撑薄膜部，该热传导性构件将从测量对象经由基材流入的热量传导至第二测温部；温度传感器(41)，用于测量与基材的热传导性构件接触的部分的温度。 | ||||||
| 2 | 用于微流体系统的一次性盒 | CN201480000796.9 | 2014-01-06 | CN104144748B | 2017-09-26 | D·霍夫梅耶; T·雷; T·李 |
| 本发明公开了一种用于在底层(3)的第一疏水性表面(17’)和至少一个一次性盒(2)的第二疏水性表面(17”)之间的间隙(6)内操纵试样液滴的备选的数字微流体系统(1)。本发明还公开了包括主体(47)和/或刚性盖板(12)的多个一次性盒(2)。每个一次性盒(2)的底层(3)是密封地附接到主体(47)或刚性盖板(12)的柔性膜。一次性盒(2)没有在第一疏水性表面(17’)和第二疏水性表面(17”)之间的间隔件(5)。当使用这些一次性盒(2)时，配置为用于在其上操纵试样液滴(23)的工作膜的底层(3)被放置在数字微流体系统(1)的盒容纳站(8)的电极阵列(9)上。电极阵列(9)包括多个单独的电极(10)。数字微流体系统(1)也包括中央控制单元(14)，以用于控制电极阵列(9)的单独的电极(10)的选择并且用于为这些电极(10)提供用于通过电润湿在盒(2)的间隙(6)内操纵液滴的各个电压脉冲。 | ||||||
| 3 | 磁性封装微机器人及其制备方法 | CN201610973129.X | 2016-10-28 | CN106517081A | 2017-03-22 | 李晖; 陈静; 张南南; 王磊 |
| 一种生物相容性封装的磁性微机器人的制备方法，包括：提供硅片，在硅片上制备Omnicoat牺牲层；在Omnicoat牺牲层上旋涂SU-8光刻胶形成SU-8基层；得到第一预制层结构；进行烘烤；进行图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；在SU-8基层上涂覆磁性复合材料，进行烘烤；进行图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；进行显影操作,去离子水清洗，风干；涂覆SU-8光刻胶；进行烘烤；图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；进行显影操作，去离子水清洗，风干；得到生物相容性封装的磁性微机器人。上述磁性封装微机器人生物相容性和耐化学性较好。 | ||||||
| 4 | 图形化平面磁芯双层平面螺旋结构薄膜微电感及制备方法 | CN201610682038.0 | 2016-08-17 | CN106298180A | 2017-01-04 | 陈明明; 丁桂甫; 朱小敏; 刘哲 |
| 本发明提供一种图形化平面磁芯双层平面螺旋结构薄膜微电感及制备方法，包括：由底层薄膜磁芯和顶层薄膜磁芯组成的薄膜磁芯，由上层平面螺旋线圈和下层平面螺旋线圈组成的双层平面螺旋结构线圈，两个引线，两个引脚，以及绝缘材料；方法为：溅射Cr/Cu种子层、甩胶、光刻、显影、电镀、制作薄膜磁芯结构；甩聚酰亚胺并烘干固化、抛光；溅射Cr/Cu种子层、甩胶、光刻、显影、电镀、制作双层平面螺旋结构线圈、两个引线及两个引脚；甩聚酰亚胺并烘干固化、抛光；溅射Cr/Cu种子层、甩胶、光刻、显影、电镀、制作图形化磁芯结构。本发明大大降低了微电感器件的高频损耗，有效提高了器件的高频性能。 | ||||||
| 5 | 一种高强度微型导电组合机构 | CN201610653318.9 | 2016-08-11 | CN106276769A | 2017-01-04 | 高峰 |
| 本发明公开了一种高强度微型导电组合机构，包括导电片和设置在导电片两端的连接柱，所述连接柱包括若干连接片，所述连接片与连接片等间隙环绕呈圈构成连接柱，且所述连接片的顶部为倾斜面。 | ||||||
| 6 | 一种仿猪笼草单方向液体铺展表面织构设计及其制作方法 | CN201610388100.5 | 2016-06-02 | CN105905864A | 2016-08-31 | 陈华伟; 张力文; 李欣; 张德远 |
| 一种仿猪笼草单方向液体铺展表面织构设计，其基本结构单元为倾斜弧形微坑沟槽，将其并列排布，中间由隔墙隔开，即形成倾斜弧形微坑沟槽表面；该基本结构单元由倾斜弧形微坑、倾斜弧形微凸台和微沟槽构成；该“微坑”的弧形为圆弧形、椭圆弧形、抛物线弧形、二次曲线弧形以及其余高次曲线弧形；该“微凸台”是由一列中两个倾斜弧形微坑之间间隔自然形成；该“微沟槽”位于每列微坑和微凸台的正上方；其制作方法是通过两步光刻操作分别完成倾斜弧形微坑和倾斜弧形微凸台，以及微沟槽和隔墙的制作；本发明设计的表面织构简单实用，工艺性好，低成本、效率高、能大面积的制作。能得到不同材料的单方向液体铺展表面，具有推广应用价值。 | ||||||
| 7 | 一种片上集成硫化砷微盘腔及其制作方法 | CN201610116421.X | 2016-03-01 | CN105731352A | 2016-07-06 | 姜校顺; 陈远; 赵明霄; 肖敏 |
| 本发明实施例公开了一种片上集成硫化砷微盘腔及其制作方法，其中，该微盘腔包括：自上而下层叠的微盘和支撑结构；所述微盘的尺寸大于所述支撑结构的尺寸。本发明实施例提供的片上集成硫化砷微盘腔及其制作方法能够提高片上集成硫化砷微盘腔的品质因子。 | ||||||
| 8 | 一种锥形纳米碳材料功能化针尖及其制备方法 | CN201610091160.0 | 2016-02-18 | CN105712281A | 2016-06-29 | 徐建勋; 赵宇亮 |
| 本发明提供一种锥形纳米碳材料功能化针尖，是纳米碳材料通过共价键，与针尖的材料结合而成；所述针尖的材料为金属，选自钨、铁、钴、镍、钛中的一种或多种。本发明还提供所述锥形纳米碳材料功能化针尖的制备方法。本发明提出的锥形纳米材料功能化针尖具有良好的界面接触，且锥形纳米材料的取向与金属针尖的轴向匹配；提出的制备方法避免了其他制备方法中在沉积碳或钨等固定材料时对纳米材料可能造成的污染。 | ||||||
| 9 | 一种MEMS锚区结构及其制备方法 | CN201511016396.X | 2015-12-29 | CN105621341A | 2016-06-01 | 赵成龙 |
| 本发明涉及一种MEMS锚区结构及其制备方法，该锚区结构包括下结构层，以及依次设置在所述下结构层上的牺牲层和上结构层，所述上结构层中设有释放孔，所述牺牲层中嵌设有若干释放阻挡件，阻隔牺牲层的部分与所述释放孔的连通、形成保留区。本发明的MEMS锚区结构，通过在牺牲层设置释放阻挡件，形成保留区，从而在器件结构区释放长度较大或者牺牲层释放腐蚀速率的误差也比较大的情况下，能有效减少且精确控制腐蚀剂对锚区牺牲层材料的腐蚀量，从而可以不用增加锚区面积设计，有利于器件小型化及确保整体结构强度。 | ||||||
| 10 | 传感器的微凸状氧化层结构及其制造方法 | CN201510672491.9 | 2015-10-19 | CN105399041A | 2016-03-16 | 杨涛 |
| 本发明公开了一种传感器的微凸状氧化层结构及其制造方法，包括衬底Si和氧化层SiO2，所述氧化层SiO2附着在所述衬底Si上，所述氧化层SiO2形成一向上拱起的凸包位于所述衬底Si的上面，使用光刻胶PR烘烤技术，搭配刻蚀技术，利用光刻胶PR和氧化层SiO2的刻蚀选择比完成一定角度的微凸块的氧化层结构的加工，该传感器的微凸状氧化层结构及其制造方法与其它加工方式相比能够缩短研发周期，降低生产成本。 | ||||||
| 11 | 一种内嵌式纳米森林结构及其制备方法 | CN201510808468.8 | 2015-11-19 | CN105384145A | 2016-03-09 | 毛海央 |
| 本发明公开了一种内嵌式纳米森林结构及其制备方法，包括：提供衬底；在所述衬底之上形成具有开口的刻蚀阻挡层；在所述衬底表面之上形成纳米掩模结构；进行各向异性刻蚀，在所述衬底的开口处形成内嵌式纳米森林结构；去除所述纳米掩模结构及所述刻蚀阻挡层。由于内嵌式纳米森林结构的顶部可以与另一衬底的平整表面无缝贴合，且所述纳米掩模结构能完全覆盖所述开口区域，进行各向异性刻蚀后形成的内嵌式纳米森林结构的边缘部分不会存在空缺，避免DNA分子从纳米森林结构与微流道的间隙流过。 | ||||||
| 12 | 具有T形微结构的高分子材料表面及其制备方法和应用 | CN201510623594.6 | 2015-09-25 | CN105345984A | 2016-02-24 | 黄汉雄; 陈安伏 |
| 本发明公开一种具有T形微结构的高分子材料表面及其制备方法和应用，高分子材料表面上分布有有序排列的T形微柱，T形微柱头部的顶面分布有纳米沟槽。根据T形微柱的结构，制造相应的柔性模板；根据T形微柱头部顶面纳米沟槽的结构，在注塑模具型腔上加工相应的沟槽结构；将柔性模板安装于注塑模具型腔上；将高分子材料熔融后注入模具型腔中，熔体填充模具流道以及柔性模板中的微结构和注塑模具型腔上的沟槽结构，从而成型表面上具有T形微结构的高分子材料制品。具有T形微结构的高分子材料表面呈现稳健的润湿特性和适度的水粘附特性，可用于制作微流控器件，实现微液滴的定量体积收集、无损输送或混合。 | ||||||
| 13 | 离心微流碟片及自样本分离目标物的方法 | CN201310050608.0 | 2013-02-08 | CN103240187B | 2015-09-16 | 胡文聪; 陈贞伶; 杨正伟; 连伟豪 |
| 本发明提供一种离心微流碟片及自样本分离目标物的方法，以及利用密度梯度在此离心微流圆分离与收集目标物或细胞的方法。 | ||||||
| 14 | 带有开槽金属的基板及相关方法 | CN200780050940.X | 2007-12-05 | CN101657747B | 2014-12-10 | A·S·莫里斯三世; D·德鲁斯; S·J·坎宁哈姆 |
| 提供了带有开槽金属的基板及其方法。依照一个方面，附加在基板的开槽金属可包括加工出槽图案的金属，所述槽小于或约等于2微米，其中所述槽使得线宽近似为未形成图案层中单个冶金颗粒的尺寸。 | ||||||
| 15 | 用于MEMS装置的阳极接合 | CN201280025974.4 | 2012-06-07 | CN103608283A | 2014-02-26 | 弗朗索瓦·比安基 |
| 本发明涉及一种装置，包括彼此固定的包括硅区域的晶片和包括玻璃区域的晶片，由此形成在晶片之间的该固定区定义了多层结构，该多层结构包括保护硅不受由于表面侵蚀引起的物理变化的第一层，该层覆盖硅区域，和保护玻璃不受由于表面侵蚀引起的物理变化的第二层，该层覆盖玻璃区域；所述多层结构还包括能够在两个保护层之间实现阳极接合的至少一个附加层；所述装置包含由所述保护层保护的并且能够暂时容纳溶液的至少一个流体通道。 | ||||||
| 16 | 用于操纵带电分子的纳米线设备 | CN201280016657.6 | 2012-02-01 | CN103443023A | 2013-12-11 | L.萨米尔森; J.蒂根菲尔德特 |
| 本发明涉及一种用于操纵带电分子的纳米线设备，包括：管状纳米线，具有贯穿通道；多个可个别寻址的围栅电极，布置于所述管状纳米线周围，并且在每两个相邻围栅电极之间具有间距；以及，用于将围栅电极连接到电压源的装置。本发明还涉及一种包括至少一个纳米线设备的纳米线系统，以及一种用于操纵在管状纳米线的贯穿通道内的带电分子的方法。 | ||||||
| 17 | 用于分离或者捕获目标物质的柱结构 | CN200680008871.1 | 2006-03-16 | CN101142023B | 2012-05-23 | 山道淳太; 小川美纪; 中西和树 |
| 一种具有与内部空间相连通的开口的结构，适合用于分离或者捕获从开口引入内部空间的物质。该结构包括具有带开口的内部空间的中空构件以及互相分离地放置在内部空间中的多个柱。该柱由包含无机氧化物的材料形成，并且在组成上不同于中空构件，所述柱在两端直接连接到所述中空构件的上内壁和下内壁，或者所述中空构件的内部空间包括所述柱和三维网状多孔区域。 | ||||||
| 18 | 纤维状柱状结构体集合体和使用该集合体的粘合部件 | CN200980113567.7 | 2009-03-31 | CN102007071A | 2011-04-06 | 前野洋平; 中山喜万; 平原佳织 |
| 本发明提供一种具有优异的机械特性、高比表面积、优异的粘合特性的纤维状柱状结构体集合体。本发明还提供一种具有优异的耐热性、高比表面积、在从室温至高温的温度条件下具有优异的粘合特性的纤维状柱状结构体集合体。本发明还提供一种具有高比表面积、对表面自由能不同的附着体的粘合力不发生变化(无附着体选择性)的粘合特性的纤维状柱状结构体集合体。本发明还提供一种使用这样的纤维状柱状结构体集合体得到的粘合部件。本发明的纤维状柱状结构体集合体(1)具备具有多个直径的纤维状柱状结构体，该具有多个直径的纤维状柱状结构体的直径分布的分布宽度为10nm以上，该直径分布的最频值的相对频度为30％以下。 | ||||||
| 19 | 在一个超微结构或显微结构的表面上控制一种液体的运动用的方法和装置 | CN200410031498.4 | 2004-03-30 | CN1534312B | 2011-03-16 | 阿维诺姆·科恩布利特; 季莫费·N·克劳片金; 玛丽·L·曼迪奇; 托比亚斯·M·施奈德; 约瑟夫·A·泰勒; 杨澍 |
| 公开一种方法和装置，其中设置在一个超微结构或显微结构的表面上的一个液滴的运动是取决于超微结构的特征图案的至少一个特征，或者液滴的至少一个特征。在一个实施例中，液滴的横向的运动取决于超微结构的特征图案的至少一个特征，这样使液滴在一个希望的方向上沿着一个超微结构的特征图案运动。在另一个实施例中，液滴的运动取决于或者超微结构特征图案的至少一个特征，或者液滴的至少一个特征，以这样一种方式使液滴在一个希望的区域渗透特征图案以及变成基本上不移动的。 | ||||||
| 20 | 具有图案式表面的Ⅲ族元素氮化物层 | CN200810094959.0 | 2004-03-25 | CN101261936A | 2008-09-10 | 阿里夫·乔杜里; 黄福明; 理查特·埃利奥特·斯拉歇尔 |
| 用一种制造方法形成III族元素氮化物的图案层。该方法包括形成晶体底衬，并在该底衬的平表面上形成第一III族元素氮化物的第一层。该第一层具有单一极性，还具有孔或者沟槽的图案，这些孔或者沟槽露出一部分底衬。该方法还包括在第一层和露出的底衬部分上外延生长第二III族元素氮化物的第二层。该第一和第二III族元素氮化物具有不同的合金组份，该方法还包括用碱的水溶液处理第二层，从而使第二层形成图案。 | ||||||
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