序号 专利名 申请号 申请日 公开(公告)号 公开(公告)日 发明人
21 具备末端执行器机器人及其运行方法 CN201080011613.5 2010-01-29 CN102349144B 2015-11-25 桥本康彦; 吉田哲也
发明末端执行器构成为安装在机器人机械臂上,其特征在于,具备:多个托板部件,构成为能够分别保持基板,并能够改变托板部件彼此的托板间隔;托板支撑部,支撑多个托板部件,与多个托板部件一体地被机器人驱动;以及托板驱动单元,使多个托板部件中的至少一个相对于其它的托板部件移动,改变托板间隔。
22 晶片处理装置 CN201480014139.X 2014-03-11 CN105009271A 2015-10-28 保罗·E·佩敢堵; 查理斯·T·卡尔森
所公开的是晶片支撑及校准设备。晶片支撑及校准设备包括适用于固定、校准及支撑晶片的晶片支撑元件。晶片支撑元件包括至少一个平坦部分以支撑晶片、至少一个校准边缘部分从至少一个平坦部分向上突出以及由至少一个基座部分的一部分雕刻而成的至少一个凹陷袋区。至少一个凹陷袋区适用于接收至少一个垫。
23 末端执行器 CN201380067954.8 2013-12-25 CN104854690A 2015-08-19 吉田哲也; 芝田武士
根据本发明末端执行器(1)具备:手部(10);设置于手部(10)基板保持部(11);设置于手部的梢端部(10b)以及(10c)映射检测部(12);设置于手部(10),产生检测光的发光部(13);设置于手部(10),且接受检测光后将该检测光转换成电输出的受光部(14);和以从发光部(13)发射的检测光通过其中并入射至受光部(14)的形式的光路(15);光路(15)形成为如下结构:由映射检测部(12)检测出的卡匣(6)内的基板(W)遮挡检测光(B1),且保持于基板保持部(11)的基板(W)遮挡检测光(B2)。
24 一种升降装置以及升降系统 CN201410488332.9 2014-09-23 CN104238158A 2014-12-24 王江; 林沛; 李彦泽; 柳开郎; 丁一鹏; 陈敬华
发明实施例公开了一种升降装置以及升降系统,其中该升降装置包括一承接机构,设置有导向孔;一升降针,贯穿于导向孔内;一承接底座,与升降针的下端连接固定,使得当承接底座在外作用下向上移动时,升降针在导向孔内向上移动;一电磁控制装置,通过电磁控制线与承接底座连接,电磁控制装置用于通过电磁控制线向承接底座发送电磁控制信号,使得升降针在电磁控制信号控制下在导向孔内向下移动。本发明通过电磁控制装置在升降针下降时进行电磁吸附,以保证升降针能下降到原点位置,减少制程不良的问题以及破片险。
25 夹持装置及工件输送机械手 CN201310228855.5 2013-06-08 CN103779260A 2014-05-07 占部雄士; 三重野靖理
发明提供一种能够以较高的位置精度保持工件及解除该保持状态、并且耐振性较强的夹持装置。夹持装置(101)能够在工件保持台(31)上保持工件(W)及解除该保持状态,该夹持装置(101)构成为:在工件保持台(31)上包括:顶端侧固定(41、42),其设于该工件保持台(31)的顶端(31b)侧;基端侧固定块(51、52),其以隔着工件(W)的方式设于与顶端侧固定块(41、42)相对的基端(31a)侧;以及可动块(61),其配置于靠近基端侧固定块(51、52)的位置处,且被设为能够隔着工件(W)相对于顶端侧固定块(41、42)侧进退。
26 机器人系统及其机器人手、生产方法以及制品 CN201310294996.7 2013-07-15 CN103568010A 2014-02-12 高田浩志
发明涉及机器人系统及其机器人手、生产方法以及制品。提供了一种用于接收、处理和放置工件的机器人手。该机器人手被构造为在传送机的下侧接收由所述传送机传送的工件、处理工件并将经处理的所述工件放置在预定位置
27 工业用机器人 CN201180045722.3 2011-09-06 CN103124617A 2013-05-29 矢泽隆之; 增泽佳久; 中江孝郎
一种工业用机器人,即便在搬运对象物被配置成沿上下方向不重叠的第二配置位置与工业用机器人之间配置有闸部,也能减小手部相对于主体部的回旋半径,并能防止手部与闸门部的干涉。工业用机器人(1)包括第一手部(3)、第二手部(4)、臂(5)及主体部(6)。第一手部(3)的基端部及第二手部(4)的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于臂(5)的前端部。第一手部(3)和第二手部(4)能相对于臂(5)个别地旋转,且从上下方向观察时能相对于臂(5)以共同的旋转中心(C1)为中心进行旋转。另外,第一手部(3)及第二手部(4)从上下方向观察时弯曲,且从上下方向观察时相对于穿过旋转中心(C1)的规定的假想线形成为大致线对称。
28 INTEGRATED GRIPPER FOR WORKPIECE TRANSFER PCT/IB2007054654 2007-11-15 WO2008059454A3 2008-07-24 REBSTOCK LUTZ
An integrated grip arm for transfer reticles and carrier boxes is disclosed for improving throughput, yield and reliability of transport equipment. The integrated grip arm comprises a plurality of grippers to accommodate a plurality of reticles and carrier boxes without the need of separate arm or gripper changes. The integrated grip arm can further comprise sensor or means to select the right gripper for the right reticles or carrier boxes.
29 ウェーハ‐ハンドリング・エンドエフェクタ JP2018107770 2018-06-05 JP2018157221A 2018-10-04 ロビー イングラム‐ゴブル; マイケル イー シモンズ; フィリップ ウォルフ; ライアン ガリソン; クリストファー ストーム
【課題】撓んだウエーハを搬送するエンドエフェクタを提供する。
【解決手段】エンドエフェクタ100は、エンドエフェクタ本体110とエンドエフェクタ本体によって支持され、かつ、ウェーハ50との少なくとも部分的な対面接触を形成するように構成される複数のウェーハ接触面120とを含む。エンドエフェクタは、さらに、エンドエフェクタ本体のロボット近位端112と複数のウェーハ接触面との間に延在する真空分配マニホールド180を含む。エンドエフェクタは、複数のウェーハ接触面内に画定され、かつ、複数のウェーハ接触面と真空分配マニホールドとの間に延在する複数の真空開口部190も含む。エンドエフェクタはさらに、複数の密封構造体を含み、各密封構造体は複数のウェーハ接触面のそれぞれ1つに関連付けられている。
【選択図】図2
30 塗装システムおよび固定式操作ロボット JP2017022157 2017-02-09 JP2018126831A 2018-08-16 吉野 勝彦; 末吉 智; 梅崎 剛宏; 伊藤 毅
【課題】設置スペースを削減すること。
【解決手段】塗装システムは、複数の塗装ロボットと、固定式操作ロボットとを備える。複数の塗装ロボットは、塗装ブース内に固定され、所定の搬送向きに搬送される車両を塗装する。固定式操作ロボットは、搬送向きについて複数の塗装ロボットの上流側または下流側で塗装ブース内に固定され、車両における前または後の開閉部材を操作する。また、固定式操作ロボットは、鉛直軸まわりに旋回する第1アームを備える。
【選択図】図1
31 ロボットシステム及び傾斜検出方法 JP2017521467 2015-06-05 JPWO2016194219A1 2018-03-29 勝田 信一; 南 孝
ロボットシステム1は、複数のワークWを多段に収容したカセット30に対してワークWを出し入れするためのハンド21と、ワークWを検出するセンサ22と、複数のワークWが並ぶZ軸方向及びZ軸方向と交差するX軸方向において、センサ22とカセット30との相対的な位置を変更する移動機構15と、第一位置にセンサ22を配置し、Z軸方向においてセンサ22を走査させるように移動機構15を制御し、Z軸方向におけるワークWの配置を示す第一マッピングデータを取得する第一走査制御部51と、X軸方向において第一位置と異なる第二位置にセンサ22を配置し、Z軸方向においてセンサ22を走査させるように移動機構15を制御し、Z軸方向におけるワークWの配置を示す第二マッピングデータを取得する第二走査制御部52と、第一マッピングデータ及び第二マッピングデータに基づいてワークWの傾斜を検出する傾斜検出部55と、を備える。
32 板状物搬送装置及び加工装置 JP2016164029 2016-08-24 JP2018032747A 2018-03-01 寺田 一貴
【課題】装置の各部位の位置を調整するための所要工数を増加させることなく、装置の破損を抑制することができる板状物搬送装置及び加工装置を提供すること。
【解決手段】板状物搬送装置1は、被加工物を保持する保持ユニット2と、保持ユニット2を移動させる移動機構とを備える。保持ユニット2は、被加工物の外周縁を保持する少なくとも2個の保持部材10と、被加工物の外周縁に近接または離間する接離方向に保持部材10を移動可能に支持する支持プレート部20と、保持部材10を接離方向に移動させる移動ユニット30とを有する。保持部材10は、支持プレート部20に上下動可能に垂下するロッド部11と、ロッド部11の下端外周に形成され被加工物の外周縁に係合する係合部12と、ロッド部11の下面11aから保持面に向かって流体を噴射し被加工物を保持面から浮上させるノズル部13とを備える。
【選択図】図5
33 フレキシブル基板のスタックを処理する方法およびロボットセル JP2017502564 2015-03-19 JP2017519648A 2017-07-20 クリスチャンセン、ヘンリク
本発明は、グリッパ(8)の手段によるフレキシブル基板(14)のスタック(20)の処理方法の他に、前記方法を実行するためのロボットセル(1)に関する。前記グリップ(8)は、ロボット(2)のアーム(6)に配置され、かつ下段指および対応する上段指を有する。前記方法は、前記下段指を基台に静止するスタックの底部基板(14)の下方に、および上段指を前記スタックの上部基板(14)の上方に挿入する、および下段指と上段指の間のスタックを締め付けることによってスタック(20)を把持する、工程を含む。それから、前記グリッパ(8)の手段によって前記スタック前部で開始し、全てのスタックは懸垂状態に持ち上げられ、支持体(16)に移動する。前記支持体(16)で、前記スタック前部と反対であるスタック後部が前記支持体(16)と接触する状態になるように、前記スタックを下に向かわせる。最後に、グリッパ(8)を前記スタックから取り外す前に、下から上の基板方向で前記グリッパ(8)を平に位置しながら、さらに下に向かわせることによって、全ての前記スタック(20)は上に向かう前記底部基板(14)と共に前記支持体(16)上に配列される。【選択図】図1
34 グリッパ JP2017502563 2015-03-19 JP2017511263A 2017-04-20 ゲネフケ、ボ
本発明は、パイルに供されるフレキシブル基板を処理するための自動システムに使用されるべく適合されるグリッパ(1)に関する。前記グリッパ(1)は、ロボットの腕(6)に回転可能に配置され、かつ下段指(7)および上段指(8)を備える。前記下段指(7)は前記パイルの基板間への前記下段指(7)の挿入を可能にするために適合される、鋭い楔形端(14)を備える。前記下段指(7)は丸い先端(11)を有し、当該丸い先端は前記下段指(7)の少なくとも1つの側面に延出し、かつなだらかな楔形端(15)を形成し、前記鋭い楔形端(14)は前記先端(11)から遠い前記少なくとも1つの側面に配置され、かつ本質的に同じ高さであるが、前記なだらかな楔形端(15)よりさらに突出している。【選択図】図2
35 エンドエフェクタ JP2012286697 2012-12-28 JP6088243B2 2017-03-01 吉田 哲也; 芝田 武士
36 ロボットハンドを用いたコンテナ搬送装置 JP2014041715 2014-03-04 JP5860083B2 2016-02-16 石川 敬史; 小田 勝
37 搬送装置およびセラミック部材 JP2014503464 2013-02-28 JPWO2013132803A1 2015-07-30 要 三輪; 丹羽 倫規; 倫規 丹羽; 淳 倉野
セラミック部材(200)は、絶縁性を有し、一体焼成された複数のセラミック層(291−297)と;第1のセラミック層(296)上に形成され、静電によって誘電体を吸着可能に構成された電極である吸着電極(372,374,376,378)と;セラミック部材(200)の外部から吸着電極(372,374,376,378)に対する電力の供給を受け付ける給電口(312,316)と;第2のセラミック層(295)上に形成され、給電口を通じて受電可能に構成された導体であるランド(332,336)と;複数のセラミック層の少なくとも1つを貫通して吸着電極(372,374,376,378)とランド(332,336)との間を電気的に接続する導体であるビア(352,354,356,358)とを備える。
38 ロボットシステム、ロボットハンド、ロボット JP2012253580 2012-11-19 JP5717007B2 2015-05-13 滝沢 克己
39 産業用ロボット JP2010213334 2010-09-24 JP5610952B2 2014-10-22 矢澤 隆之; 隆之 矢澤; 佳久 増澤; 孝郎 中江
40 Robot systems, robot hand, robot JP2012253580 2012-11-19 JP2014100757A 2014-06-05 TAKIZAWA KATSUMI
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a robot system, a robot hand, and a robot, which can efficiently transfer container contents.SOLUTION: A robot system 1 includes: a robot 10; a hand 60 which is mounted in the robot 10, and can hold a container 2 having an opening 2o through which an article 3 can be taken in and out; and a controller 20 for controlling operation of the robot 10 and the hand 60. The controller 20 causes: the hand 60 to move to a holding position and to perform an operation of holding the container 2; the hand 60 to move to an ejection position and to perform an operation of tilting the container 2 and ejecting the article 3 from the opening 2o; and the hand 60 to move to a placing position and to perform an operation of releasing the holding of the container held by the hand 60.
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