| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 具备末端执行器的机器人及其运行方法 | CN201510663580.7 | 2010-01-29 | CN105415346B | 2017-08-01 | 桥本康彦; 吉田哲也 |
| 本发明的末端执行器构成为安装在机器人的机械臂上，其特征在于，具备：多个托板部件，构成为能够分别保持基板，并能够改变托板部件彼此的托板间隔；托板支撑部，支撑多个托板部件，与多个托板部件一体地被机器人驱动；以及托板驱动单元，使多个托板部件中的至少一个相对于其它的托板部件移动，改变托板间隔。 | ||||||
| 2 | 硅片传输系统 | CN201510270081.1 | 2015-05-24 | CN106292194A | 2017-01-04 | 刘凯; 胡松立; 姜杰 |
| 本发明公开了一种硅片传输系统，包括：双臂机械手、上片直线手和下片直线手；其中，所述双臂机械手从硅片存储装置中将待曝光的硅片取出并移送到预对准装置上，并从缓存台将曝光完成的硅片取下放回硅片存储装置中；上片直线手用于将预对准后的硅片移动至工件台，下片直线手将曝光完成后的硅片移动至缓存台。所述双臂机械手、上片直线手和下片直线手可以并行动作，达到节省硅片传输时间的目的。 | ||||||
| 3 | 机器人手臂 | CN201310093944.3 | 2013-03-22 | CN103358318B | 2016-12-28 | 木村康友 |
| 本发明提供一种机器人手臂，在使用机器人手臂搬送加工前和加工后的板状工件的情况下，使加工屑不会附着到加工前的板状工件，并且在加工后的板状工件的面也不会形成接触痕迹。在机器人手臂的一个面设置的抽吸保持部抽吸保持板状工件，在机器人手臂的另一个面设置的外周保持部保持板状工件的外周缘且不与其面接触。通过利用抽吸保持部保持加工前的板状工件、利用外周保持部保持加工后的板状工件这样分开使用，能够防止加工屑附着于加工前的板状工件，防止发生加工不合格。而且，通过利用外周保持部保持加工后的板状工件，机器人手臂不会接触到加工后的板状工件的面，因此不会在板状工件的面形成接触痕迹。 | ||||||
| 4 | 具备末端执行器的机器人及其运行方法 | CN201510663580.7 | 2010-01-29 | CN105415346A | 2016-03-23 | 桥本康彦; 吉田哲也 |
| 本发明的末端执行器构成为安装在机器人的机械臂上，其特征在于，具备：多个托板部件，构成为能够分别保持基板，并能够改变托板部件彼此的托板间隔；托板支撑部，支撑多个托板部件，与多个托板部件一体地被机器人驱动；以及托板驱动单元，使多个托板部件中的至少一个相对于其它的托板部件移动，改变托板间隔。 | ||||||
| 5 | 工业用机器人 | CN201180045722.3 | 2011-09-06 | CN103124617B | 2015-05-27 | 矢泽隆之; 增泽佳久; 中江孝郎 |
| 一种工业用机器人，即便在搬运对象物被配置成沿上下方向不重叠的第二配置位置与工业用机器人之间配置有闸门部，也能减小手部相对于主体部的回旋半径，并能防止手部与闸门部的干涉。工业用机器人(1)包括第一手部(3)、第二手部(4)、臂(5)及主体部(6)。第一手部(3)的基端部及第二手部(4)的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于臂(5)的前端部。第一手部(3)和第二手部(4)能相对于臂(5)个别地旋转，且从上下方向观察时能相对于臂(5)以共同的旋转中心(C1)为中心进行旋转。另外，第一手部(3)及第二手部(4)从上下方向观察时弯曲，且从上下方向观察时相对于穿过旋转中心(C1)的规定的假想线形成为大致线对称。 | ||||||
| 6 | 机器人手臂 | CN201310093944.3 | 2013-03-22 | CN103358318A | 2013-10-23 | 木村康友 |
| 本发明提供一种机器人手臂，在使用机器人手臂搬送加工前和加工后的板状工件的情况下，使加工屑不会附着到加工前的板状工件，并且在加工后的板状工件的面也不会形成接触痕迹。在机器人手臂的一个面设置的抽吸保持部抽吸保持板状工件，在机器人手臂的另一个面设置的外周保持部保持板状工件的外周缘且不与其面接触。通过利用抽吸保持部保持加工前的板状工件、利用外周保持部保持加工后的板状工件这样分开使用，能够防止加工屑附着于加工前的板状工件，防止发生加工不合格。而且，通过利用外周保持部保持加工后的板状工件，机器人手臂不会接触到加工后的板状工件的面，因此不会在板状工件的面形成接触痕迹。 | ||||||
| 7 | 夹持装置及其控制方法、以及具备该夹持装置的移载装置 | CN201180066178.0 | 2011-12-29 | CN103338902A | 2013-10-02 | 松冈浩史 |
| 本发明提供一种夹持装置及其控制方法、以及具备该夹持装置的移载装置，所述夹持装置具备：夹持部，其对工件进行夹持；控制装置，其对所述夹持部的夹持动作进行控制；抵接部件，其被附设在所述夹持部的与所述工件抵接的部位处，并以与所述工件的形状相一致的方式发生变形，且能够保持该变形，所述夹持装置通过所述夹持部的夹持动作，从而使所述抵接部件按压于所述工件上而与该工件的外形形状相一致，并且对该抵接部件的形状进行保持，由此对所述工件进行夹持，所述控制装置每预定的夹持次数，对夹持所述工件时的所述抵接部件相对于所述工件的抵接位置进行变更。据此，能够稳定地夹持形状不同的多种工件，并且与现有技术相比能够延长抵接部件的寿命。在所述夹持装置的优选的一个实施方式中，由所述控制装置实施的、对夹持所述工件时的所述抵接部件相对于所述工件的抵接位置的变更通过如下方式而被实施，即，将所述抵接部件变更至在与夹持方向垂直的平面内发生了偏移的位置处。 | ||||||
| 8 | 搬运机器人、其基板搬运方法、以及基板搬运中转装置 | CN201180061020.4 | 2011-12-15 | CN103250238A | 2013-08-14 | 后藤博彦 |
| 搬运机器人（50）具备：具有分别保持基板（6）的两个刀片（55、56）的第一手部及第二手部（52、53）；和具有转动单元（57）、第一进退单元（58）、第二进退单元（59）、及升降单元（60）的移动装置，通过该移动装置可以使第一手部及第二手部（52、53）分别移动至载置有基板（6）的基板搬运中转装置（25）及四个处理腔室（23）中。 | ||||||
| 9 | 具备末端执行器的机器人及其运行方法 | CN201080011613.5 | 2010-01-29 | CN102349144A | 2012-02-08 | 桥本康彦; 吉田哲也 |
| 本发明的末端执行器构成为安装在机器人的机械臂上，其特征在于，具备：多个托板部件，构成为能够分别保持基板，并能够改变托板部件彼此的托板间隔；托板支撑部，支撑多个托板部件，与多个托板部件一体地被机器人驱动；以及托板驱动单元，使多个托板部件中的至少一个相对于其它的托板部件移动，改变托板间隔。 | ||||||
| 10 | 末端执行器 | CN201380067954.8 | 2013-12-25 | CN104854690B | 2017-03-29 | 吉田哲也; 芝田武士 |
| 根据本发明的末端执行器（1）具备：手部10）；设置于手部（10）基板保持部（11）；设置于手部的梢端部（10b）以及（10c）映射检测部（12）；设置于手部（10），产生检测光的发光部（13）；设置于手部（10），且接受检测光后将该检测光转换成电输出的受光部（14）；和以从发光部（13）发射的检测光通过其中并入射至受光部（14）的形式的光路（15）；光路（15）形成为如下结构：由映射检测部（12）检测出的卡匣（6）内的基板（W）遮挡检测光（B1），且保持于基板保持部（11）的基板W）遮挡检测光（B2）。 | ||||||
| 11 | 使容器在流体生产设备的站之间移动的移动系统 | CN201580025184.X | 2015-05-05 | CN106413872A | 2017-02-15 | 卢卡·德罗科; 马里奥·德罗科 |
| 一种用以使容器(C)在生产流体如涂料的生产设备(1)的站(S)之间移动的移动系统(2)，其包括：至少一个输入/输出站(3)，其中，容器(C)被引入移动系统(2)/从移动系统(2)移出；用以夹持布置在站中的容器(C)的至少一个夹持装置少一个第一移动装置(6)。第一夹持装置(4)包括用于与容器(C)接合的叉状件。第一移动装置(6)包括用于使所述叉状件至少沿着所述叉状件的纵向轴线移动的至少一个第一致动器。输入/输出站(3)包括用于夹持布置在站(3)自身中的容器(C)的第二夹持装置(32)和用于使第二夹持装置(32)至少沿着竖向轴线(Z)移动的第二移动装置(34)。(4)；用以使容器(C)在至少两个站之间移动的至 | ||||||
| 12 | 夹持装置及其控制方法、以及具备该夹持装置的移载装置 | CN201180066178.0 | 2011-12-29 | CN103338902B | 2016-08-10 | 松冈浩史 |
| 本发明提供一种夹持装置及其控制方法、以及具备该夹持装置的移载装置，所述夹持装置具备：夹持部，其对工件进行夹持；控制装置，其对所述夹持部的夹持动作进行控制；抵接部件，其被附设在所述夹持部的与所述工件抵接的部位处，并以与所述工件的形状相一致的方式发生变形，且能够保持该变形，所述夹持装置通过所述夹持部的夹持动作，从而使所述抵接部件按压于所述工件上而与该工件的外形形状相一致，并且对该抵接部件的形状进行保持，由此对所述工件进行夹持，所述控制装置每预定的夹持次数，对夹持所述工件时的所述抵接部件相对于所述工件的抵接位置进行变更。据此能够稳定地夹持形状不同的多种工件，与现有技术相比能够延长抵接部件的寿命。 | ||||||
| 13 | 使用机械手的集装箱搬送装置 | CN201510090086.6 | 2015-02-27 | CN104891198A | 2015-09-09 | 石川敬史; 小田胜 |
| 本发明提供一种集装箱搬送装置(10)，包括：在上下方向延伸的第一滑动基座部(11)；第一滑动部(12)；安装于第一滑动部并把持集装箱的一个侧部的上端的把持部(30)；相对于集装箱的底面平行且相对于第一滑动基座部垂直地延伸的第二滑动基座部(21)；第二滑动部(22)；以及安装于第二滑动部并接受集装箱的底面的接受部(40)。使机器人动作，将把持部定位在集装箱的一个侧部的上端并使把持部把持上端，使第一滑动部沿第一滑动基座部向上方滑动，从而使集装箱上升。使第二滑动部沿第二滑动基座部滑动，将接受部插入集装箱的底面的下方，由此将集装箱取出。 | ||||||
| 14 | 机器人系统、机器人手、机器人及机器人控制方法 | CN201310576826.8 | 2013-11-18 | CN103817702A | 2014-05-28 | 泷泽克己 |
| 本发明涉及一种机器人系统、机器人手、机器人及机器人控制方法。所述机器人系统包括：具有一个或多个驱动轴的机器人；附装至所述机器人的手，并且该手被构造成保持具有开口的容器，容纳物通过所述开口被放入所述容器中以及从所述容器取出通过所述开口将容纳物放入所述容器中并且从所述容器将所述容纳物取出；以及控制器，该控制器用于控制所述机器人和所述手的操作。所述控制器被构造成执行如下操作：使所述手运动到保持位置以保持所述容器；使所述手运动到排出位置并且使所述容器倾斜以将所述容纳物通过所述开口排出；以及使所述手运动到放置位置以释放由所述手保持的所述容器。 | ||||||
| 15 | 机器人以及机器人手 | CN201210546448.4 | 2012-12-14 | CN103158146A | 2013-06-19 | 塩见正博 |
| 本发明涉及机器人以及机器人手。把持被把持物的机器人手具备：载置被把持物的多个棒状的载置部；按压被把持物的侧面的多个按压部；以及使多个载置部、多个按压部移动来调整多个载置部的间隔的间隔调整部。 | ||||||
| 16 | 晶片支撑及校准设备 | CN201480014139.X | 2014-03-11 | CN105009271B | 2017-09-12 | 保罗·E·佩敢堵; 查理斯·T·卡尔森 |
| 本发明所公开的是晶片支撑及校准设备。晶片支撑及校准设备包括适用于固定、校准及支撑晶片的晶片支撑元件。晶片支撑元件包括至少一个平坦部分以支撑晶片、至少一个校准边缘部分从至少一个平坦部分向上突出以及由至少一个平坦部分的一部分雕刻而成的至少一个凹陷袋区。至少一个凹陷袋区适用于接收至少一个垫。可保持硅晶片的校准以及在(其)位置(上)，防止在制造程序中移动硅晶片从站至站的机械终端作用设备在线性和旋转移动时滑动。 | ||||||
| 17 | 一种升降装置以及升降系统 | CN201410488332.9 | 2014-09-23 | CN104238158B | 2017-02-08 | 王江; 林沛; 李彦泽; 柳开郎; 丁一鹏; 陈敬华 |
| 本发明实施例公开了一种升降装置以及升降系统，其中该升降装置包括一承接机构，设置有导向孔；一升降针，贯穿于导向孔内；一承接底座，与升降针的下端连接固定，使得当承接底座在外力作用下向上移动时，升降针在导向孔内向上移动；一电磁控制装置，通过电磁控制线与承接底座连接，电磁控制装置用于通过电磁控制线向承接底座发送电磁控制信号，使得升降针在电磁控制信号控制下在导向孔内向下移动。本发明通过电磁控制装置在升降针下降时进行电磁吸附，以保证升降针能下降到原点位置，减少制程不良的问题以及破片风险。 | ||||||
| 18 | 一种新型机器人抓手 | CN201610680831.7 | 2016-08-18 | CN106217400A | 2016-12-14 | 刘洋; 王宾瑞; 张磊 |
| 本发明公开了一种新型机器人抓手，包括与机器人连接的底座、水平夹持机构、垂直夹持机构、压力传感器及电气执行机构；水平夹持机构和垂直夹持机构均连接于底座；水平夹持机构包括承托叉、与承托叉固定连接的第一型材框架、与第一型材框架固定连接的直线导轨和平推气缸；承托叉通过平推气缸驱动，进行水平方向的移动；垂直夹持机构包括背板、设置在背板内侧的压板和设置在背板外侧并与压板相连接压箱气缸；压板通过压箱气缸驱动，进行垂直方向的移动；压力传感器设置在压板的下方；电气执行机构包括与平推气缸电连接第一电磁阀和与压箱气缸连接的第二电磁阀。高速运行中，实现抓手平稳运动，且不会因压力过大对被夹持的箱子或产品造成损伤。 | ||||||
| 19 | 使用机械手的集装箱搬送装置 | CN201510090086.6 | 2015-02-27 | CN104891198B | 2016-09-21 | 石川敬史; 小田胜 |
| 本发明提供一种集装箱搬送装置(10)，包括：在上下方向延伸的第一滑动基座部(11)；第一滑动部(12)；安装于第一滑动部并把持集装箱的一个侧部的上端的把持部(30)；相对于集装箱的底面平行且相对于第一滑动基座部垂直地延伸的第二滑动基座部(21)；第二滑动部(22)；以及安装于第二滑动部并接受集装箱的底面的接受部(40)。使机器人动作，将把持部定位在集装箱的一个侧部的上端并使把持部把持上端，使第一滑动部沿第一滑动基座部向上方滑动，从而使集装箱上升。使第二滑动部沿第二滑动基座部滑动，将接受部插入集装箱的底面的下方，由此将集装箱取出。 | ||||||
| 20 | 搬运机器人、其基板搬运方法、以及基板搬运中转装置 | CN201180061020.4 | 2011-12-15 | CN103250238B | 2016-08-10 | 后藤博彦 |
| 搬运机器人（50）具备：具有分别保持基板（6）的两个刀片（55、56）的第一手部及第二手部（52、53）；和具有转动单元（57）、第一进退单元（58）、第二进退单元（59）、及升降单元（60）的移动装置，通过该移动装置可以使第一手部及第二手部（52、53）分别移动至载置有基板（6）的基板搬运中转装置（25）及四个处理腔室（23）中。 | ||||||
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