| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 181 | GRIPPING DEVICE, TRANSFER DEVICE, PROCESSING DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD FOR ELECTRONIC DEVICE | US13171500 | 2011-06-29 | US20120004773A1 | 2012-01-05 | Masaaki Furuya |
| According to one embodiment, a gripping device grips a rim of a workpiece by opening and closing gripping plates. The device includes a gripping unit, a hoisting and lowering unit and a motion control unit. The gripping unit includes a first and a second gripping plate. The first gripping plate has a first gripper to contact the rim. The second gripping plate has a second gripper to contact the rim. At least one of the first and second gripping plates is moved and the first and second gripper are spaced from each other. The hoisting and lowering unit is configured to hoist and lower the gripping unit. The motion control unit is configured to control open/close operations and hoisting and lowering operations. The motion control unit mechanically controls first first hoisting and lowering operations, controls second the open/close operations, and controls third second hoisting and lowering operations. | ||||||
| 182 | Robot having end effector and method of operating the same | US12656358 | 2010-01-27 | US20100290886A1 | 2010-11-18 | Yasuhiko Hashimoto; Tetsuya Yoshida |
| The present invention relates to an end effector including: blade members for holding substrates, each configured to hold the substrate, and configured such that each interval between the blade members can be changed; a blade support unit configured to support the blade members, the blade support unit being configured to be driven integrally with the blade members by the robot; and blade drive means configured to change the interval between the blade members by moving at least one of the blade members relative to another blade member. | ||||||
| 183 | SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS WITH MULTIPLE MOVABLE ARMS UTILIZING A MECHANICAL SWITCH MECHANISM | US12117415 | 2008-05-08 | US20090087288A1 | 2009-04-02 | Christopher Hofmeister; Alexander G. Krupyshev; Krysztof A. Majczak; Martin Hosek; Jay Krishnasamy |
| A substrate transport apparatus including a frame, a drive section connected to the frame and including at least one independently controllable motor, at least two substrate transport arms connected to the frame and comprising arm links arranged for supporting and transporting substrates, and a mechanical motion switch coupled to the at least one independently controllable motor and the at least two substrate transport arms for effecting the extension and retraction of one of the at least two substrate transport arms while the other one of the at least two substrate transport arms remains in a substantially retracted configuration. | ||||||
| 184 | 基板搬送装置、基板搬送装置の制御装置、基板搬送装置における変位補償方法、当該方法を実施するプログラムおよび当該プログラムが記録された記録媒体 | JP2017063070 | 2017-03-28 | JP2018166158A | 2018-10-25 | 山▲崎▼ 岳; 大橋 弘尭 |
| 【課題】従来のめっき装置の組み立ての際には、処理槽が理想の位置に配置されるように処理槽の位置を調整していた。この調整によりめっき装置の組み立てに手間を要し、組み立てに多くのコストが必要となっている。 【解決手段】基板を保持するための基板ホルダと、基板ホルダを把持するホルダ把持機構と、基板ホルダを搬送する基板搬送部と、鉛直方向を軸としてホルダ把持機構を回転移動する回転機構と、基板搬送部による基板ホルダの搬送方向および鉛直方向によって規定される面に垂直な方向にホルダ把持機構を直動移動する直動機構と、を備える基板搬送装置を提供する。 【選択図】図1 |
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| 185 | ウェーハ‐ハンドリング・エンドエフェクタ | JP2018107770 | 2018-06-05 | JP2018157221A | 2018-10-04 | ロビー イングラム‐ゴブル; マイケル イー シモンズ; フィリップ ウォルフ; ライアン ガリソン; クリストファー ストーム |
| 【課題】撓んだウエーハを搬送するエンドエフェクタを提供する。 【解決手段】エンドエフェクタ100は、エンドエフェクタ本体110とエンドエフェクタ本体によって支持され、かつ、ウェーハ50との少なくとも部分的な対面接触を形成するように構成される複数のウェーハ接触面120とを含む。エンドエフェクタは、さらに、エンドエフェクタ本体のロボット近位端112と複数のウェーハ接触面との間に延在する真空分配マニホールド180を含む。エンドエフェクタは、複数のウェーハ接触面内に画定され、かつ、複数のウェーハ接触面と真空分配マニホールドとの間に延在する複数の真空開口部190も含む。エンドエフェクタはさらに、複数の密封構造体を含み、各密封構造体は複数のウェーハ接触面のそれぞれ1つに関連付けられている。 【選択図】図2 |
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| 186 | 搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法 | JP2018107671 | 2018-06-05 | JP2018146985A | 2018-09-20 | 原 英明 |
| 【課題】ウエハ等の板状の物体を、平坦度を高く維持した状態で、物体載置部材上に搬送することが可能な搬送システムを提供する。 【解決手段】 板状の物体(ウエハW)をウエハホルダが設けられたウエハテーブルWTBに搬送する搬送システムは、ウエハホルダにウエハWを載置する前に、ウエハWの形状を所定の形状に変える調整装置を備え、所定の形状となったウエハWをウエハホルダに載置する。 【選択図】図4 |
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| 187 | 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置 | JP2018050905 | 2018-03-19 | JP2018137453A | 2018-08-30 | ホフマイスター クリストファー; クルフィシェフ アレクサンダー; ギルクリスト ユリシーズ; ホーセック マーティン |
| 【課題】ロボットシステムの複雑さや閉じ込め領域が低減され、さらに信頼性および清潔さが向上した独立可動アームを有するロボットマニピュレータを提供する。 【解決手段】基板搬送装置は、フレームと、該フレームに接続され、かつ少なくとも1つの独立して制御可能なモータ50を含む駆動部と、該フレームに接続され、かつ、基板を支持および搬送するように構成されるアームリンクを備える少なくとも2つの基板搬送アーム41、43と、少なくとも1つの独立して制御可能なモータおよび少なくとも2つの基板搬送アームに連結され、少なくとも2つの基板搬送アームのうちの1つの伸長および収縮を生じさせる一方で少なくとも2つの基板搬送アームのうちの他方が実質的に収縮形状のままであるように構成された機械運動スイッチを有する。 【選択図】図8A |
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| 188 | EUVレチクル検査ツールにおけるレチクルの取り扱い装置及び方法 | JP2015503443 | 2013-03-25 | JP6325518B2 | 2018-05-16 | チレーゼ フランシス チャールズ; ペールマン ウルリヒ; ヴォルター デトレフ; ウォルシュ ジョセフ フレミング |
| 189 | 搬送装置 | JP2014165074 | 2014-08-14 | JP6305272B2 | 2018-04-04 | 大西 健太; 万徳 公丈; 岡田 繁史; 占部 裕之; 渡辺 勇輝 |
| 190 | ロボットシステム及び傾斜検出方法 | JP2017521467 | 2015-06-05 | JPWO2016194219A1 | 2018-03-29 | 勝田 信一; 南 孝 |
| ロボットシステム1は、複数のワークWを多段に収容したカセット30に対してワークWを出し入れするためのハンド21と、ワークWを検出するセンサ22と、複数のワークWが並ぶZ軸方向及びZ軸方向と交差するX軸方向において、センサ22とカセット30との相対的な位置を変更する移動機構15と、第一位置にセンサ22を配置し、Z軸方向においてセンサ22を走査させるように移動機構15を制御し、Z軸方向におけるワークWの配置を示す第一マッピングデータを取得する第一走査制御部51と、X軸方向において第一位置と異なる第二位置にセンサ22を配置し、Z軸方向においてセンサ22を走査させるように移動機構15を制御し、Z軸方向におけるワークWの配置を示す第二マッピングデータを取得する第二走査制御部52と、第一マッピングデータ及び第二マッピングデータに基づいてワークWの傾斜を検出する傾斜検出部55と、を備える。 | ||||||
| 191 | 多機能ウェハー及びフィルムフレームハンドリングシステム | JP2015529761 | 2013-09-02 | JP6267203B2 | 2018-01-24 | ジャン・ピン・ジン; レン・キーム・リー |
| 192 | 産業用ロボット | JP2013247028 | 2013-11-29 | JP6235881B2 | 2017-11-22 | 北原 康行; 風間 俊道; 栗林 保; 齋地 正義 |
| 193 | ロボットシステム及びエンドエフェクタの変形検出方法 | JP2016565592 | 2014-12-22 | JPWO2016103292A1 | 2017-07-06 | 敦史 中矢; 拓之 岡田; 雅也 吉田 |
| ロボットシステムは、先端部に所定方向に延びる回動軸を中心として回動自在な手首を有するロボットアームと、手首に取り付けられたエンドエフェクタと、エンドエフェクタの所定の検出部位が到達する目標部位を有するターゲットピンを用いて当該エンドエフェクタの変形を検出する変形検出装置とを備えている。目標部位は、検出部位が当該目標部位に到達したことを示すインディケイト機能を有している。変形検出装置は、検出部位をターゲットピンにタッチさせるようにロボットアームを制御して目標部位を探索し、目標部位のインディケイト機能に基づいて検出部位が目標部位に到達したことを検出する探索部と、検出部位が目標部位に到達したときの検出部位の想定位置と所定の参照位置とを比較して、エンドエフェクタの変形を検出する変形検出部とを備えている。 | ||||||
| 194 | 産業用ロボット | JP2016010905 | 2016-01-22 | JP2017035771A | 2017-02-16 | 白木 隆裕; 北原 康行; 栗林 保; 中江 孝郎; 改野 重幸 |
| 【課題】EFEM等の筐体の内部の側面にアームの基端側が隣接するように配置されても、EFEM等の筐体の内部での配管や配線の引き回しの自由度を高めることが可能な産業用ロボットを提供する。 【解決手段】産業用ロボット1は、ハンド4、5が先端側に回動可能に連結されるアーム6と、アーム6の基端側が回動可能に連結される本体部7とを備え、本体部7は、アーム6の基端側が回動可能に連結される昇降体20と、昇降体20を昇降可能に保持するとともに昇降体20が収容される筐体21とを備えている。昇降体20は、水平方向の一方側へ突出する突出部26bを上端側に備えており、アーム6の基端側は、突出部26bの上面側に配置され突出部26bに回動可能に連結されている。 【選択図】図2 |
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| 195 | 密封型ロボット駆動部 | JP2016531047 | 2014-11-13 | JP2017505091A | 2017-02-09 | ティー モウラ、ジャイロ; ギルクリスト、ユリシーズ; ティー キャベニー、ロバート |
| ハウジングと、ハウジングに取り付けられる駆動部と、駆動部に接続される少なくとも1つの搬送アームとを備える搬送装置であって、駆動部は、透磁性材料の少なくとも1つの突極を有し、隔離環境に配置される少なくとも1つのロータと、対応するコイルユニットを備えた少なくとも1つの突極を有し、隔離環境外に配置される少なくとも1つのステータと、隔離環境を隔離するように構成され、少なくとも1つのステータと一体である少なくとも1つのシール部とを含み、少なくとも1つのステータの少なくとも1つの突極、およびロータの少なくとも1つの突極が、少なくとも1つのロータと少なくとも1つのステータとの間に閉磁束回路を形成する、搬送装置。 | ||||||
| 196 | 基板処理ツール | JP2013557942 | 2012-03-12 | JP6059156B2 | 2017-01-11 | ギルクリスト、ユリシーズ; キャベニー、ロバート ティー; クリシュナサミー、ジャヤラマン; ドリュー、ミッチェル; モウラ、ジャイロ ティー |
| 197 | 搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法、並びに吸引装置 | JP2014550208 | 2013-11-27 | JPWO2014084229A1 | 2017-01-05 | 英明 原 |
| 搬送システムは、載置されたウエハ(W)を保持するとともに、XY平面に沿って移動可能なウエハステージ(WST)と、所定位置の上方にて、ウエハを上方から非接触で保持し、かつ上下動可能なチャックユニット(153)と、ウエハステージ(WST)が上記所定位置に位置したとき、チャックユニット(153)により保持されたウエハをウエハステージ(WST)上で下方から支持可能で上下動可能な複数の上下動ピン(140)と、を備えている。そして、Z位置検出系(146)により、ウエハ(W)の平坦度が測定され、その測定結果に基づいて、ウエハ(W)を保持(支持)するチャックユニット(153)と上下動ピン(140)とが独立して駆動される。 | ||||||
| 198 | 搬入出ロボット | JP2012222551 | 2012-10-04 | JP5990359B2 | 2016-09-14 | 安藤 寛晃 |
| 199 | 基板処理システム | JP2013236272 | 2013-11-14 | JP5977729B2 | 2016-08-24 | 齊藤 幸良; 多田 薫平 |
| 200 | ウエハ搬送装置 | JP2013549019 | 2011-12-15 | JP5925217B2 | 2016-05-25 | 山添 勝広; 今井 慎一; 坂田 功介; 西嶋 芳樹; 月本 浩明 |
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