| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 微开关器件及其制造方法 | CN200810001293.X | 2008-01-17 | CN101226856B | 2012-05-09 | 阮俊英; 中谷忠司; 上田知史; 米泽游; 三岛直之 |
| 一种用于传统技术中无线通讯设备的微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：固定部；可移动部；第一电极，具有第一触点和第二触点；第二电极，具有与第一触点相接触的第三触点；以及第三电极，具有与第二触点相对的第四触点。在制造微开关器件的过程中，在衬底上形成第一电极，再在衬底上形成牺牲层以覆盖第一电极。然后，在牺牲层中对应于第一电极的位置形成第一凹部和较浅的第二凹部。形成第二电极，第二电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第一凹部。形成第三电极，第三电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第二凹部。然后去除牺牲层。所述微开关器件能够抑制可移动接触电极在朝着固接接触电极的方向上的波动。 | ||||||
| 2 | 双压电晶片元件、双压电晶片开关、密勒元件及其制造方法 | CN200580029357.1 | 2005-08-31 | CN101027741B | 2010-11-17 | 高柳史一; 三瓶广和 |
| 一种双压电晶片元件，具备：氧化硅层；高膨胀率层，其形成在氧化硅层上且具有较此氧化硅层的热膨胀率还高的热膨胀率；以及变形防止层，其覆盖氧化硅层的表面，以防止氧化硅层由于经常变化所形成的变形。变形防止层相对于水份和氧的透过率亦可较氧化硅层还低，变形防止层亦可以是一种以较形成氧化硅层时还高的能量来进行成膜时所形成的氧化硅，变形防止层亦可为氮化硅层或金属层。 | ||||||
| 3 | 具有双向元件的MEMS装置 | CN200880022718.3 | 2008-06-26 | CN101689438A | 2010-03-31 | 阿尔曼·加斯帕安; 约翰·梵纳他·盖茨; 玛丽亚·埃利娜·西蒙 |
| 本发明提供了一种双向微机电元件、包括所述双向元件的微机电开关和减小所述双向元件中的机械蠕变的方法。在一个实施方式中，所述双向微机电元件包括具有自由端和第一端的冷柱，所述第一端连接到冷柱锚定件。所述冷柱锚定件连接到基板。第一柱对通过自由端拴紧件连接到冷柱并且配置成在被加热从而达到比所述冷柱的温度更高的温度时伸长。第二柱对位于所述冷柱的与第一柱对相对的一侧上并且由所述自由端拴紧件连接到所述第一柱对和所述冷柱。所述第二柱对配置成在被加热从而到达所述的更高的温度时伸长。 | ||||||
| 4 | 梁形开关结构及制造方法 | CN200510091476.1 | 2005-08-12 | CN100592444C | 2010-02-24 | K·A·格尔曼; P·M·古尔文; J·A·库比 |
| 利用可调节压缩器将处在非弯曲状态的基本为直线的梁压缩而使该梁弯曲。此可调节压缩器将力加到梁的一端或两端，并限制对梁的压缩，使梁在第一弯曲状态和第二弯曲状态之间运动。第一弯曲状态和第二弯曲状态是大小基本相等而方向相反的远离非弯曲状态的弯曲运动。 | ||||||
| 5 | 弯形开关液体腔 | CN200480009800.4 | 2004-01-30 | CN1774779A | 2006-05-17 | 马文·格伦·黄; 路易斯·R·杜吾; 朱利斯·K·伯特卡 |
| 一种具有第一和第二成对基板(102、104)的开关(100)，第一和第二成对基板在其间限定了弯形开关液体腔(816)的第一和第二交叉沟道(134、136)。开关液体(818)被装在弯形开关液体腔中，并且可以响应于施加到开关液体的力而在第一和第二开关状态之间转换。在第一开关状态中，开关液体的大部分被迫使进入第一交叉沟道，而在第二开关状态中，开关液体的大部分被迫使进入第二交叉沟道。 | ||||||
| 6 | 电子部件 | CN01140877.4 | 1997-08-26 | CN1222972C | 2005-10-12 | 坂田稔; 中岛卓哉; 积知范; 藤原照彦; 竹内司 |
| 一种电子部件，使玻璃材料制成的盖罩与硅材料制成的底座连接和集成，对与基片上的内部部件组装的电子器件芯片进行树脂模塑，从而用模塑覆盖盖罩，暴露底座底表面。借助设置在盖罩的通孔，内部部件与基片的外接线端电连接。在暴露于基片之外的底座底表面上设置散热片。这样可以获得易于辐射热量的电子部件，并且能够防止发生故障和工作特性的改变。 | ||||||
| 7 | 小型连接器阵列 | CN98801053.4 | 1998-07-22 | CN1153112C | 2004-06-09 | 罗恩·约翰 |
| 一种线路复联器由n条上行线路和m条下行线路，其中m＞n，利用例如磁性闭锁，提供一个m×n个交叉接点开关的微技术阵列而形成，其中该闭锁磁铁被加热到居里温度以改变一个开关的状态。 | ||||||
| 8 | 可变电容器及相关的制造方法 | CN00803826.0 | 2000-11-28 | CN1408120A | 2003-04-02 | 阿伦·B·考恩; 维加库玛·R·度勒; 爱德华·A·希尔; 戴维·A·科斯特; 拉玛斯瓦米·马哈德万 |
| 提供一种有低损耗和相应的高Q值的可变电容器。除了基片外，该可变电容器包括配置在该基片上的至少一个基片电极和一基片电容器板，它们由低电阻材料如HTS材料或厚金属层形成。可变电容器还包括一双晶构件，它由基片向外延伸并覆盖在至少一个基片电极之上。双晶构件包括由具有不同热膨胀系数的材料形成的第一和第二层。双晶构件的第一和第二层限定至少一个双晶电极和双晶电容器板，使得在基片电极和双晶电极间建立的电压差能使双晶构件相对于基片电极移动，从而改变极间距离和电容器板间的距离。因此，可变电容器的电容量可根据双晶构件及其下面的基片间的相对间距而控制。还提供一种方法以微细加工或者用别的方式制造一可变电容器，其电极和电容器板由低电阻材料形成，使所得的电容器有低损耗和相应的高Q值。该可变电容器因此可用于高频应用，例如某些可调谐滤波器所需要的。 | ||||||
| 9 | 双稳态微动开关及其制造方法 | CN99816529.8 | 1999-03-26 | CN1348597A | 2002-05-08 | R·舍洪·明纳斯 |
| 本发明提供一种使用一种形状记忆合金的双稳态开关、和一种用来制造它的方法。更具体地说,该双稳态开关包括:一个基片,带有至少一个电源;一个可弯曲片,带有一个固定到基片上的第一远端;一个桥触点,形成在可弯曲片的一个第二和相对远端处;及至少一个热致动元件,连接到可弯曲片的一个第一表面上并且在第二远端与电源之间。在操作期间,从电源通过热致动元件的电流间接弯曲可弯曲片,并且借助于一个可持续力短路在基片上的信号触点。 | ||||||
| 10 | 微型继电器及其制造方法 | CN97198654.1 | 1997-08-26 | CN1082237C | 2002-04-03 | 坂田稔; 中岛卓哉; 积知范; 藤原照彦; 竹内司 |
| 由单晶制成的薄片状基片21设置有压电元件24，其一个表面设置有可动触点25的可动片20的两端固定和支撑在底座11。然后，通过借助电压元件24使可动片20弯曲，可动触点25与面对可动触点的一对固定触点38和39接触和脱离接触。按此配置，可以获得超小型微型继电器，其具有的机械接触机理在接通其触点时的电阻较小，同时具有期望的抗震性、频率特性和绝缘性能。 | ||||||
| 11 | 包括交替的主动和反向段盘旋结构的执行机构及相关方法 | CN01103365.7 | 2001-02-02 | CN1319943A | 2001-10-31 | 爱德华·阿瑟·西尔; 维加亚库马尔·鲁德拉帕·德胡勒 |
| 一种微型机械系统,可以包括一个基体、一个执行机构和一个受动元件。具体说来,该执行机构可以包括一个由交替的主动段和反向段组成的盘旋结构,其第一端锚固在基体上,其中的主动段响应其上的作用而偏折,从而使盘旋结构的第二端在主动段偏折时相对于基体运动。受动元件被固定在盘旋结构的第二端,使得受动元件在主动段偏折时相对于基体而运动。相关的方法和执行机构也作了讨论。 | ||||||
| 12 | 微机电旋转结构 | CN00800391.2 | 2000-02-16 | CN1300345A | 2001-06-20 | 爱德华·A·希尔 |
| MEMS(微机电旋转系统)结构提供了用于响应热驱动或其他的旋转设计。在一个实施例中,MEMS旋转结构包括具有一个或者多个径向轮辐部件的轮毂,轮辐部件响应温度的变化,对轮毂施加旋转力。MEMS旋转结构也包括至少一部分包围轮毂的圆环,通过一个或者多个轮毂旋转部件连接到轮毂上。提供了可控制地顺时针方向、逆时针方向、或者既可以顺时针,也可以逆时针地旋转。MEMS旋转结构也可以包括热拱形梁驱动器,可操作地连接到轮辐部件上。随着温度变化,热拱形梁使得轮辐部件移动,以至于MEMS结构旋转。提供了这些旋转MEMS结构的各种应用,包括但并不局限于旋转驱动器、旋转开关和继电器、可变电容器、可变电阻、快门和阀。 | ||||||
| 13 | 微型机电定位设备 | CN98810725.2 | 1998-11-05 | CN1278326A | 2000-12-27 | 维嘉库玛·R·杜勒; 罗伯特·L·伍德 |
| 本发明可提供一种可以担负得起,可重复和可靠地制造并可在X,Y和Z每个方向上对对象进行精确微观定位的微型机电定位设备。微型机电定位设备包括一个参照面,配置于参照面上的固定位置处的支板以及靠近支板并且至少在参照面一部分的上方悬置的平台。该平台具有第一和第二主平面并确定XY平面。此平台通常是借助一个或多个在支板和平台之间延伸的弹簧悬置于参照面的上方,使第一主平面对着参照面。通常待定位或对准的对象,如光纤等等,是固定于平台的第二主平面的位置以便可通过相应的移动或定位此平台使对象得到精确的定位。 | ||||||
| 14 | 热拱形梁微型机电装置及有关的制造方法 | CN98810552.7 | 1998-08-28 | CN1277731A | 2000-12-20 | 威加亚库玛尔R·胡勒尔; 罗伯特L·伍德; 拉玛斯瓦敏·玛哈德曼 |
| 提供一种产生显著力和位移同时消耗适当量功率的MEMS致动器。该MEMS致动器包括一个微电子基片、在该基片上隔开的支撑及一根在隔开支撑之间延伸的拱形梁。MEMS致动器还包括一个用来加热拱形梁以使梁进一步拱起的加热器。为了高效地把热量从加热器传递到金属拱形梁,金属拱形梁在上方延伸,并且轻微地与加热器隔开。像这样,MEMS致动器把由加热器产生的热量高效地转换成金属拱形梁的机械运动。也提供一族包括一个或多个MEMS致动器的其他MEMS装置,如继电器、切换阵列及阀,以便具有其高效操作特性的优点。另外,进一步提供一种制造MEMS致动器的方法。 | ||||||
| 15 | 微机电器件及其驱动方法 | CN200780029558.0 | 2007-07-24 | CN101501805B | 2012-07-04 | A·希尔格斯 |
| 提出的本发明申请描述了基于微机电系统MEMS技术的新颖结构的极小自锁定开关部件。常规的MEMS开关需要连续的控制信号，以便获得期望的活动状态。所提出的发明仅需要短的控制信号，例如脉冲，以便将该部件开启和/或关断。根据所提出的MEMS器件的扩展，可以忽略去控制信号上的RF噪声或反弹效应。这使得电子电路的设计更容易且特别是更鲁棒，并且增强了功能。 | ||||||
| 16 | 微致动器和锁定开关 | CN200780033389.8 | 2007-09-07 | CN101512702A | 2009-08-19 | F·帕多 |
| 一种微机电致动器(100)采用金属以用于热臂(101)，并采用硅以用于冷臂(105)的至少柔性部分。由硅制成的冷臂(105)联接至随其移动且当至少两个这样的致动器形成开关时用于携带有待切换的信号的金属线路(107)。第一芯片上的这种开关的阵列可以与以倒装芯片的方式结合到该第一芯片上的第二芯片协调地设置，该第二芯片在其上具有将电气控制流传送到各热臂上以便对其加热且传送有待由该各开关进行切换的信号的线路。 | ||||||
| 17 | 自锁定微机电器件 | CN200780029558.0 | 2007-07-24 | CN101501805A | 2009-08-05 | A·希尔格斯 |
| 提出的本发明申请描述了基于微机电系统(MEMS)技术的新颖结构的极小自锁定开关部件。常规的MEMS开关需要连续的控制信号，以便获得期望的活动(开关)状态。所提出的发明仅需要短的控制信号(非锁定键)，例如脉冲，以便将该部件开启和/或关断。根据所提出的MEMS器件的扩展，可以忽略去控制信号上的RF噪声(纹波)或反弹效应。这使得电子电路的设计更容易且特别是更鲁棒，并且增强了功能。 | ||||||
| 18 | 半导体器件及其制造方法 | CN200810185754.3 | 2008-12-10 | CN101459157A | 2009-06-17 | 郑恩洙 |
| 本发明实施例涉及一种半导体器件及其制造方法。根据本发明实施例，半导体器件可以包括与半导体衬底相隔预定间隔的金属膜，在该金属膜中形成有多个刻蚀孔。可以提供底部金属图样和顶部金属图样，其中底部金属图样布置在半导体衬底和金属膜之间的间隔上和/或上方，而顶部金属图样形成在底部金属图样上和/或上方。可以在半导体衬底上和/或上方形成支柱，该支柱可以支撑底部金属图样的下部表面的一侧。可以在半导体衬底上和/或上方形成衬垫，并且可以在底部金属图样和衬垫之间插入与底部金属图样相对应的空气层。根据本发明实施例，可以提供热释电开关晶体管，该热释电开关晶体管使用了具有不同热膨胀系数的双金属。 | ||||||
| 19 | 基于流体的开关 | CN200480009208.4 | 2004-01-30 | CN1768406A | 2006-05-03 | 马文·格伦·黄 |
| 本发明公开了一种基于流体的开关。在一个实施例中，开关(400)包括：搭配在一起的第一(100)衬底和第二(402)衬底，这两个衬底在其间限定了多个空腔中的至少一部分，第一衬底限定了在多个空腔中的第一空腔(406)内限定的多个缺口(102、104、106)；多个电接触(112、114、116)，每个电接触被沉积在多个缺口中的一个缺口内；开关流体(418)，其被容纳在第一空腔内，并且响应于施加到开关流体的力而断开和闭合多个电接触中的至少一对电接触；以及致动流体(410)，其被容纳在多个空腔中的一个或多个空腔内，并向开关流体施加力。 | ||||||
| 20 | 梁形开关结构及制造方法 | CN200510091476.1 | 2005-08-12 | CN1733591A | 2006-02-15 | K·A·格尔曼; P·M·古尔文; J·A·库比 |
| 利用可调节压缩器将处在非弯曲状态的基本为直线的梁压缩而使该梁弯曲。此可调节压缩器将力加到梁的一端或两端，并限制对梁的压缩，使梁在第一弯曲状态和第二弯曲状态之间运动。第一弯曲状态和第二弯曲状态是大小基本相等而方向相反的远离非弯曲状态的弯曲运动。 | ||||||
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