热处理炉
阅读：5发布：2021-07-28
专利汇可以提供热处理炉专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且提供一种 热处理 炉，无需复杂的构成且不会导致设备的大型化或成本的增大，而能够例如在陶瓷 电子 零部件的制造工艺中 焙烧 陶瓷成形体时连续进行脱 粘合剂 和其后的焙烧。该热处理炉在包围 炉壳 (3)的内部的热处理区(1)而设置的 隔热 材料(2)与炉壳(3)的内壁之间，配置反射从热处理区(1)经隔热材料(2)传递的热的 反射器 (4)；在隔热材料(2)内部使用埋设了热源(7)的模 块 式加热器(8)；采用具有配置了多片薄板(5)的结构的反射器作为反射器(4)，各薄板5的主要面之间置以规定的间隔。，下面是热处理炉专利的具体信息内容。
1.一种热处理炉，其特征在于具备：炉壳、在炉壳内收容被热处理物的热处理区、用来把所述热处理区加热到规定的温度的加热器、包围住所述热处理区而设置的隔热材料、被配置在所述隔热材料与所述炉壳的内壁之间用来反射从所述热处理区经所述隔热材料传递的热的反射器。
2.根据权利要求1所述的热处理炉，其特征在于，所述加热器的主要部分被配置在所述隔热材料的内部。
3.根据权利要求1或2所述的热处理炉，其特征在于，所述反射器具有并排配置了多片由具备耐热性的金属材料制成的薄板的结构，各薄板(5)的主要面间置以规定的间隔。
4.根据权利要求3所述的热处理炉，其特征在于，在构成所述反射器的所述多片薄板之间，配置有用来抑制该薄板间的气体对流的间隔用隔热材料。
5.根据权利要求1～2任一项所述的热处理炉，其特征在于，所述反射器覆盖所述隔热材料的大体整个外周面。
6.根据权利要求3所述的热处理炉，其特征在于，所述反射器覆盖所述隔热材料的大体整个外周面。
7.根据权利要求4所述的热处理炉，其特征在于，所述反射器覆盖所述隔热材料的大体整个外周面。
热处理炉
技术领域
背景技术
[0002] 图6是现有的热处理炉之一例的示图。以往，在陶瓷电子零部件的制造工艺中，作为用来焙烧陶瓷成形体(未焙烧陶瓷坯件)等的被焙烧物的焙烧炉，如图6所示，所广泛采用的焙烧炉是在炉壳61内部的热处理区65的周围配置将热源63设置在陶瓷棉材料之类的隔热材料62中形成的所谓模块式加热器64。
[0003] 但是，这样的焙烧炉是用于焙烧脱粘合剂工序结束之后的陶瓷成形体的情况下的焙烧炉，通常，很难用来进行脱粘合剂。
[0004] 使用具备图6所示的那种模块式加热器64的热处理炉，把陶瓷成形体(未焙烧陶瓷坯件)等的被焙烧物66装到热处理区65内进行脱粘合剂的情况下，粘合剂蒸气会浸透到构成模块式加热器64的由陶瓷纤维等构成的隔热材料62中，并凝聚固化在隔热材料62中，与未发生粘合剂蒸气浸透的部分之间会产生大的热膨胀率之差，有可能发生隔热材料62的剥离或破坏等。
[0005] 因此，以往，在连续进行脱粘合剂和其后的焙烧的情况下，为了避免在脱粘合剂工序中产生的粘合剂蒸气浸透由陶瓷纤维等材料构成的隔热材料，而采用具备内胆(内炉套)的热处理炉。
[0008] 该热处理炉是一种用来制造陶瓷或金属之类的烧结体的热处理炉，其目的在于在例如对陶瓷材料进行热处理的情况下，不会把粘合剂的分解气体或燃烧气体等不纯物排放到大气中，同时容易维修保养。
[0009] 如图7所示，该热处理炉在由炉体71的内部设置的石墨板等构成的内胆72内对被处理物73进行加热处理，同时把从被处理物73中产生的粘合剂蒸气等气体状的不纯物从内胆72内排放到炉体71的外部，在炉体71的外部设置有上部带导入口74的不纯物捕集器75，用来把在内胆72内产生的不纯物通过导出管76导入到不纯物捕集器75中收集起来。
[0010] 如果采用这种热处理炉，能够有效地除掉不纯物而不会排放到大气中，同时由于结构简单而容易维修保养，所以能够减少运营费、维修保养费。
[0011] 但是，在这种热处理炉中，不仅必须把内胆配置在炉体内，而且必须要有导出管76及不纯物捕集器75，所以结构复杂，会导致设备的大型化或成本的增加。
[0012] 另外一种用金属套覆盖炉壳的内壁的热处理炉也已经公知，但是用金属套覆盖热处理炉的内壁存在如下问题：
[0013] (1)最高使用温度取决于构成金属套的金属的耐热温度，炉的操作条件就受到制约；
[0014] (2)必须对构成金属套的金属的潜移变形采取对策，从而炉内尺寸受到制约；
[0015] (3)为了把炉内划分为用金属套间隔开的热处理区与其他区域，相对于必要有效炉内尺寸，就要增大热处理炉的尺寸，从而使设备大型化；
[0016] (4)炉内构成为双重结构，组装、制作就很花功夫，导致成本的增加。
[0017] 还有一种用陶瓷板构成炉壳内壁的热处理炉，但是在脱脂过程中产生的粘合剂蒸气会通过陶瓷板而到达炉壳的内壁，通常，就在温度低于粘合剂蒸气的冷凝温度的炉壳的内壁(即隔热材料的背面)上凝聚下来。凝聚下来的粘合剂浸透并固化到隔热材料内，不仅提高了隔热材料的导热率，而且浸透的部分与非浸透部分之间会产生热膨胀率差，有可能导致隔热材料的剥离或破坏。特别是，在使用了把金属热源埋入隔热材料中的模块式加热器的情况下，被埋入在隔热材料中的金属热源的绝缘性会短期间下降。
[0018] 【专利文献1】特公平7-21389号公报
发明内容
[0019] 为解决上述课题，本发明的目的在于提供一种热处理炉，无需复杂的构成且不会导致设备的大型化或成本的增大，而在例如陶瓷电子零部件的制造过程中焙烧未经焙烧过的陶瓷坯件等的情况下，能够连续进行脱粘合剂和其后的焙烧。
[0020] 为解决上述课题，本发明(权利要求1)的该热处理炉的特征在于具备：炉壳、在炉壳内收容被热处理物的热处理区、用来把所述热处理区加热到规定的温度的加热器、包围住所述热处理区而设置的隔热材料、被配置在所述隔热材料与所述炉壳的内壁之间用来反射从所述热处理区经所述隔热材料传递的热的反射器。
[0021] 权利要求2的热处理炉的特征在于，在权利要求1的发明的构成中，所述加热器的主要部分被配置在所述隔热材料的内部。
[0022] 权利要求3的热处理炉的特征在于，在权利要求1或2的发明的构成中，所述反射器具有并排配置了多片由具备耐热性的金属材料制成的薄板的结构，各薄板的主要面之间置以规定的间隔。
[0023] 权利要求4的热处理炉的特征在于，在权利要求3的发明的构成中，在构成所述反射器的所述多片薄板之间配置有用来抑制该薄板间的气体对流的间隔用隔热材料。
[0024] 权利要求5的热处理炉的特征在于，在权利要求1～4任一项的发明的构成中，所述反射器被配置得覆盖所述隔热材料的大体整个外周面。
[0025] 发明的有益效果
[0026] 由于本发明(权利要求1)的热处理炉具备：炉壳、在炉壳内收容被热处理物的热处理区、用来把热处理区加热到规定的温度的加热器、包围住热处理区而设置的隔热材料以及被配置在隔热材料与炉壳的内壁之间用来反射从热处理区经隔热材料传递的热的反射器，所以辐射热能够把隔热材料的背面的温度提高到粘合剂蒸气凝结的温度以上，从而可以防止粘合剂成分凝聚固化在隔热材料中。
[0027] 结果，无需内胆或热处理区的金属内衬等，就能够构成热处理炉；简化了结构而不导致设备的大型化或成本的提高，能够提供在陶瓷电子零部件的制造工艺中焙烧陶瓷成形体时能连续进行脱粘合剂及其后的焙烧的热处理炉。
[0028] 如权利要求2的热处理炉，在权利要求1的发明的构成中，在加热器的主要部分被配置在隔热材料的内部的情况下，也就是在把加热器做成为被配置在隔热材料的内部的所谓模块式加热器的情况下，能够简化热处理炉的结构，并可以减少炉内尺寸的制约，扩大且有效地利用热处理区。
[0029] 即，在现有的热处理炉中，模块式加热器是焙烧用的加热器，不能直接在脱脂时使用，如果也要在脱脂时使用，就必须要有内胆，但是把反射器设置在模块式加热器的背面，就能够防止粘合剂成分凝结固化在隔热材料中；而且无需内胆，就能够提供用模块式加热器连续进行脱脂及其后的焙烧的热处理炉。
[0030] 例如，在1000℃以下的较低温的焙烧炉中，使用将热源埋设在隔热材料内的模块式加热器，就能够简化热处理炉的结构，能够降低成本。
[0031] 因此，用于采用把热源设置在隔热材料的内部的所谓模块式加热器的热处理炉的情况下，本发明特别有意义。
[0032] 如权利要求3的热处理炉，在权利要求1或2的发明的构成中，当采用具有配置了多片由具备耐热性的金属材料制成的薄板的结构作为反射器，各薄板的主要面之间置以规定的间隔的情况下，例如在焙烧含有粘合剂的陶瓷成形体时，能够更确实地防止脱粘合剂工序中产生的粘合剂蒸气凝结固化在隔热材料中而使隔热材料劣化，并能够更确实地防止引起剥离、破坏，能使本发明更具实效。
[0033] 调节由构成反射器的具备耐热性的金属材料构成的薄板的片数，就能够控制隔热材料的背面温度(隔热材料的外周侧的面对反射器的面的温度)，从而能够进行最适宜于热处理炉的操作条件的设计。
[0034] 针对炉内温度，适当设定隔热材料的厚度、构成反射器的薄板的片数，就能够任意设定反射器的表面温度。结果，即使在炉内气氛是氧化气氛的情况下，也不需要采用昂贵的材料作为反射器的构成材料，从而可以经济地得到所期望的隔热效果。
[0035] 如权利要求4的热处理炉，在权利要求3所述的热处理炉中，在构成反射器的多片薄板之间配置有用来抑制该薄板间的气体对流的间隔用隔热材料的情况下，间隔用隔热材料阻碍存在于薄板间的气体的对流，而变成被间隔用隔热材料隔开的规定的区域内的对流，所以能够提高反射器的隔热效率。
[0036] 例如，在垂直配置使用的反射器中，在配置了构成反射器的薄板的上边处大体平行的间隔用隔热材料和下边处大体平行的间隔用隔热材料的情况下，上下的间隔用隔热材料的距离越小，产生对流的区域就越小，能够抑制对流引起的传热，从而能够提高隔热效率。
[0037] 如权利要求5的热处理炉，在权利要求1～4的任一项发明的构成中，在将所述反射器配置得覆盖隔热材料的大体整个外周面的情况下，例如，在焙烧含有粘合剂的陶瓷成形体时能够更加确实地防止脱粘合剂工序中产生的粘合剂蒸气凝聚并固化在隔热材料中而使隔热材料劣化，并能够更加确实地防止产生剥离、损坏，能使本发明更具实效。附图说明
[0038] 图1是本发明的热处理炉所具备的隔热材料和反射器的作用的说明图。
[0039] 图2是本发明的一个实施例(实施例1)的热处理炉的主要构成的示意图。
[0040] 图3是本发明的一个实施例(实施例1)的热处理炉的结构正面断面示意图。
[0041] 图4是本发明的一个实施例(实施例1)的热处理炉的结构平面断面示意图。
[0042] 图5是本发明的其他实施例(实施例2)的热处理炉的结构示意立体图。
[0043] 图6是陶瓷电子零部件的制造工艺中对陶瓷材料进行热处理时所用的现有的热处理炉的结构断面示意图。
[0044] 图7是具有把内胆设置在炉体的内部的结构的现有的热处理炉的示例图。
[0045] 符号的说明
[0046] 1 热处理区
[0047] 2 隔热材料
[0048] 2a 隔热材料的外侧表面
[0049] 3 炉壳
[0050] 4 反射器
[0051] 5、5a、5b 薄板
[0052] 6 空气层
[0053] 7 热源
[0054] 8 模块式加热器
[0055] 9 炉门
[0056] 10 热处理炉
[0057] 12a、12b 间隔用隔热材料
[0058] 15 上边
[0059] 16 下边
[0060] 20 被间隔用隔热材料隔开的区域
[0061] 21 螺栓
[0062] D 间隔用隔热材料的距离
[0063] L 隔热材料的背面与反射器的距离
[0064] T 模块式加热器的厚度
具体实施方式
[0065] 本发明的热处理炉中，具备炉壳、在炉壳内收容被热处理物的热处理区、用来加热热处理区的加热器和包围住热处理区而设置的隔热材料，其中，反射从热处理区经隔热材料传递的热的反射器被配置在隔热材料与炉壳的内壁之间即隔热材料的外侧(背面)。
[0067] 热传递的方式虽然分为热传导、对流传热和辐射(放射)传热等三种方式，但是反射器所起的主要作用是抑制其中的热辐射(放射)引起的辐射(放射)传热。
[0068] 以下，参照图1来说明具备反射器的本发明的热处理炉的热传递机构。图1示出炉壳3的内部，所表示的是热处理炉10的主要部分，热处理炉10具备包围住收容被热处理物的热处理区1而设置的隔热材料2、配置在隔热材料2的外侧(背面)即隔热材料2与炉壳3的内壁之间的由多片薄板5形成的反射器4。
[0069] 在图1所示的热处理炉10中，在热处理区1达到规定的热处理温度(T0℃)的情况下，热就经隔热材料2通过热传导从热处理区1传递到隔热材料2的外侧。然后，隔热材料2的外侧表面2a的温度(边界温度)因隔热材料2的传导热阻而在T1℃达到平衡。
[0070] 传递至隔热材料2的外侧表面2a的热一到达反射器4，就会因辐射、对流以及构成反射器4的多片薄板5和多片薄板5间的空气层6中的热传导而被传递到炉壳3上。
[0071] 在反射器4之间的热传递主要是辐射，虽然对流传热的影响不如辐射大，但是为了进一步提高精度，最好还是将其考虑在内。
[0072] 在构成反射器的多片薄板5之间，热线的吸收和反射反复进行，最终在T2～Tn℃温度下达到平衡，Tn℃为炉壳3的温度。
[0073] 在炉壳3的外表面上，向外界大气的对流和辐射将热传递到外面的大气中。然后，由于各区域(即，构成反射器4的多片薄板5间的各空气层6)所传递的热量基本相等，所以在构成反射器4的多片薄板5的各薄板上，热平衡时的温度是一定的。
[0074] 因此，调整(增减)构成反射器4的薄板5的片数就能够任意控制使用同样条件(导热率、隔热材料厚度)的隔热材料2的情况下的隔热材料2的背面温度。也就是说，增加构成反射器4的薄板5的片数就能够增大反射器4的热阻，而使隔热材料2的背面温度升高。
[0075] 结果，针对选定的隔热材料2，适当设定构成反射器4的薄板5的片数就能够确实地将隔热材料2的背面温度保持在例如粘合剂蒸气的凝结温度以上的温度，这样就能够防止在隔热材料2中凝缩固化粘合剂成分。
[0077] 在具有这样的隔热结构的热处理炉中，原理上讲，隔热材料中不会积累粘合剂，即使在大量产生粘合剂蒸气的脱脂工序中，也可以不使用内炉套等来进行热处理。由于无需使用内炉套等，所以可以实现设备的小型化或设备成本的大幅度下降。
[0078] 为了不使用隔热材料2，在用反射器4构成本应使用隔热材料2的全部区域和应使用反射器4的区域的全部区域的情况下，通常，如果用假定放射率ε为0.2～0.4(即反射率为0.8～0.6)的反射器4，则在高温(600℃以上的温度区)下，隔热效果差，构成反射器4的薄板5的必要的片数过多，可行性低。在把反射器4用于本应使用隔热材料2的区域的情况下，构成反射器4的薄板5的构成材料即金属的氧化可能会短时间增大反射器4的放射率ε，所以很难在氧化氛围中使用，因此把反射器4用于本应使用隔热材料2的区域并不好。
[0079] 即，如本发明的热处理炉，把隔热材料2与反射器4组合起来就能够得到即便在氧化氛围中也能长时间稳定使用的热处理炉，所以，作为隔热结构，最好采用将隔热材料2与反射器4组合起来使用的结构。
[0080] 以下示出本发明的实施例来详细说明本发明的特征。
[0081] 【实施例1】
[0082] 图2～图4是本发明的一个实施例(实施例1)的热处理炉的结构图，图2是本发明的主要部分结构的断面图，图3是本发明的热处理炉的结构正面断面示意图，图4是本发明的热处理炉的结构平面断面示意图。
[0083] 该热处理炉10是一种用低温烧结性的陶瓷坯片的连续进行陶瓷多层基板用的陶瓷层叠体的脱脂工序和烧结工序的热处理炉。用该热处理炉进行热处理的被热处理物，是将薄的陶瓷坯片层叠起来而形成的陶瓷层叠体，含有大约20重量％的粘合剂。
[0084] 如图2示意表示的那样，该实施例1所用的热处理炉设置有：具备在内部收容被热处理物的热处理区1而前面为装入取出被热处理物的炉门9(图4)的炉壳3、用来将热处理区1加热到规定温度的热源7、包围炉壳3的内部的热处理区1而设置的例如由陶瓷纤维等构成的隔热材料2、和配置在隔热材料2与炉壳3之间用来反射从热处理区1经隔热材料2传递的热的反射器4。
[0085] 采用康塔尔铁铬铝电阻丝作为热源7，由康塔尔铁铬铝电阻丝制成的热源7被埋设在隔热材料2的内部，在该实施例1的热处理炉中，隔热材料2和埋设在隔热材料2内的热源7构成所谓模块式加热器8。模块式加热器8(隔热材料2)的厚度T是100mm，导热率为0.12W/mK。
[0086] 反射器4由被配置在靠近隔热材料2的位置的SUS316制的3片薄板5(5a)和被配置在该3片薄板5a的外侧的SUS304制的3片薄板5(5b)共6片薄板5构成。各薄板5经螺栓21安装在隔热材料2和炉壳3上。该实施例1的反射器的放射率ε为0.4(反射率为0.6)。
[0087] 另外，隔热材料2的背面(外侧表面2a)与反射器4的距离L为10mm，构成反射器4的多片薄板5a的间隔、薄板5b的间隔以及薄板5a与薄板5b的间隔分别为10mm。
[0088] 如上所述，在具有组合了隔热材料2和反射器4的隔热结构的该实施例1的热处理炉中，热处理区1的温度为粘合剂蒸气的产生量最多的300℃时，能够把隔热材料2的背面温度保持在230℃。
[0089] 在热处理区1的温度为最高温度即900℃时，能够把隔热材料2的背面温度保持在603℃。
[0090] 结果，能够确实地防止在隔热材料的背面凝结固化粘合剂，从而能够进行稳定的热处理。
[0091] 也就是说，由于该实施例1的热处理炉设置有被配置在隔热材料2与炉壳3之间用来反射从热处理区1经隔热材料2传递的热的反射器4，所以辐射热可以使隔热材料的背面温度升高到粘合剂蒸气凝聚的温度以上，从而能够防止粘合剂成分凝聚固化在隔热材料中。
[0092] 结果，无需热处理区的金属内衬或内胆，就能够构成热处理炉，使结构简化，不会导致设备的大型化或成本的增加，例如，在陶瓷电子零部件的制工艺中焙烧陶瓷成形体的情况下，能够连续进行脱粘合剂及其后的焙烧。
[0093] 在该实施例1的热处理炉中，由于使用将热源7配置在隔热材料2的内部的模块式加热器8，所以能够提供结构简单小型而经济的热处理炉。如果采用上述那种现有的热处理炉的结构，在使用模块式加热器作为加热器的情况下，在隔热材料中会产生粘合剂蒸气的凝缩，而导致隔热材料的剥离或损坏，但是，如上所述，本发明的热处理炉由于具备反射器4，所以热辐射能够使隔热材料的背面温度升高到粘合剂蒸气凝聚的温度以上，能够防止因粘合剂蒸气凝聚在隔热材料中而产生隔热材料的剥离或损坏。因此，在适用于用模块式加热器作为加热器而构成的热处理炉的情况下，本发明特别有意义。
[0094] 在实施例1的热处理炉中，使用反射器4，该反射器4的结构是将多片不锈钢制的薄板5并排配置，各薄板5的主要面之间置以规定的间隔，由于将反射器4配置得覆盖隔热材料2的大体整个外周面，所以能够更确实地防止脱粘合剂工序中产生的粘合剂蒸气凝缩固化在隔热材料中，能够更确实地防止隔热材料的劣化而引起剥离、损坏。另外，调节构成反射器4的薄板5的片数就能控制隔热材料2的背面温度，从而能够进行最适宜于热处理炉的运行条件的设计。所谓隔热材料的大体整个外周面是指除了穿过布线的孔等无可避免地形成设计上的间隙的部分或者反射器的接口部分以外的整个外周面。
[0095] 适当设定隔热材料2的厚度T和构成反射器4的薄板5的片数就能够针对炉内温度任意设定反射器4的表面温度，即便在炉内气氛是氧化气氛的情况下，也不需用昂贵的材料作为反射器4的构成材料就可以得到所期望的隔热效果。
[0096] 【实施例2】
[0097] 图5是本发明的其他实施例(实施例2)的热处理炉的主要部分的示图。
[0098] 在该实施例2的热处理炉中，在构成反射器4的薄板5之间的上下两侧配置有抑制薄板5间的气体通过的间隔用隔热材料12a、12b，大体平行于薄板5的上边15和下边16。其他各构成与上述实施例1的热处理炉的情况一样。
[0099] 图5中，标注了与图1～4相同符号的部分代表相同或相当的部分。
[0100] 如该实施例2的热处理炉的情况那样，在构成反射器4的薄板5之间的上下两侧，大体平行于薄板5的上边15和下边16地配置有间隔用隔热材料12a、12b，用以抑制薄板5间的气体通过，这种情况下，存在于薄板5之间的气体的对流，就变成被间隔用隔热材料
12a、12b分割开的区域20内的对流，这就能够提高反射器4的隔热效率。
12a、12b分割开的区域20内的对流，这就能够提高反射器4的隔热效率。
[0101] 大体平行于上边15的间隔用隔热材料12a和大体平行于下边16的间隔用隔热材料12b的距离D越小，就越能够抑制对流传热而提高隔热效率。
[0102] 在压紧焙烧被热处理物的热压炉中，具有压杆的插入口，用金属套可能很难完全覆盖炉内，隔热不充分，与通常的热处理炉相比炉壳容易达到高温，有可能出现焊接裂缝或降低炉壳的耐用性，但是，如果采用具备反射器的本发明(权利要求1～5)的热处理炉，就能够充分降低炉壳的温度，能够避免焊接裂缝的问题或炉壳的耐用性差的问题。
[0103] 上述实施例1、2中，以采用不锈钢(SUS316、SUS304)制的共计6片薄板5来构成的反射器4的情况为例进行了说明，但是，对于构成反射器4的薄板5的材料或薄板5的片数、构成反射器4的多片薄板5的间隔，都没有特别限制，可以根据热处理炉的使用条件等附加种种应用、变形。
[0104] 上述实施例1、2中，以对陶瓷多层基板用的陶瓷层叠体进行脱脂、烧结时所用的热处理炉为例进行了说明，但是，在本发明中，被热处理物不限于此，例如，在叠层陶瓷电容器的制造工艺中，能够广泛地适用于对把包含粘合剂的陶瓷坯片层叠起来而形成的陶瓷叠层体等各种形式的陶瓷材料(被热处理物)进行脱粘合剂和烧结等热处理的热处理炉。
[0106] 上述的实施例中，以由陶瓷纤维构成的隔热材料作为隔热材料为例进行了说明，但是，隔热材料的种类并不限于此，可以使用公知的各种隔热材料。
[0107] 另外，上述的实施例中，采用将热源7埋入隔热材料2内的所谓模块式加热器8作为加热器，但是本发明并不限于使用模块式加热器的热处理炉，本发明也可以适用于隔热材料与加热器分体的热处理炉。
[0108] 对于本发明的其他方面，也不限于上述实施例，在发明的范围内可以附加各种应用、变形。
[0109] 如上所述，本发明的热处理炉将反射从热处理区经隔热材料传来的热的反射器配置在隔热材料与炉壳的内壁之间，所以辐射热能够使隔热材料的背面温度升高到粘合剂蒸气凝结温度以上，从而能够防止粘合剂成分凝缩固化在隔热材料中。结果，例如即使在对陶瓷电子零部件的制造工艺中所用的陶瓷材料之类的在热处理工序中产生粘合剂蒸气的那种被热处理物进行热处理的情况下，也无需内胆或热处理区的金属内衬，就能够提供小型而经济且可进行稳定的热处理的热处理炉。
[0110] 因此，本发明可以广泛地适用于制造陶瓷多层基板或叠层陶瓷电容器之类的经脱粘合剂工序和其后的焙烧工序而制成的种种陶瓷电子零部件。
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