サファイア基板の製造方法及びサファイア基板
阅读：459发布：2024-01-19
专利汇可以提供サファイア基板の製造方法及びサファイア基板专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且反射防止機能を持つサファイア 基板 を低コストで生産性よく製造することができるサファイア基板の製造方法を提供する。 サファイア基板Ｓｗの外表面側に、当該サファイア基板より屈折率の低い低屈折率領域を有して可視光に対する反射防止機能を持つ本発明のサファイア基板の製造方法は、サファイア基板の外表面に臨むプラズマ発生室１１ａに窒素含有ガスを導入し、プラズマＰを発生させ、プラズマ中で電離した窒素イオンを 加速 してサファイア基板の外表面側から注入し、当該サファイア基板の外表面から所定厚さに亘る低屈折率領域Ｓｗｅを形成する工程を含む。，下面是サファイア基板の製造方法及びサファイア基板专利的具体信息内容。
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