专利汇可以提供掩模式只读存储器的制造方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种掩模式只读 存储器 的制造方法。首先,形成一第一绝缘层于一具有多平行位线的基底。接着,形成多平行沟槽于上述第一绝缘层中,用以定义多字元线。依序形成一栅极 氧 化层、一多晶 硅 层于上述多平行沟槽底部,用以形成多平行字符线。然后,全面性形成一第二绝缘层。接着,利用一多条状光致抗蚀剂,蚀刻上述第二绝缘层,以形成多 沟道 区于上述字符线上的相邻两位线之间。最后,利用一孔洞图案光掩模在选择的沟道区进行编码。,下面是掩模式只读存储器的制造方法专利的具体信息内容。
1.一种掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,包括:提供一具有多平行位线的基底;形成一第一绝缘层于上述基底表面;图案化上述第一绝缘层,以形成多平行沟槽于上述第一绝缘层中,用以定义多字元线,其中上述多字元线大体上垂直于上述多平行位线;依序形成一栅极氧化层、一栅极层于上述多平行沟槽底部,用以形成多平行字符线,其中上述字符线的表面高度低于上述第一绝缘层的表面高度;全面性形成一第二绝缘层;以光致抗蚀剂图案化上述第二绝缘层,直到露出部分上述栅极层表面,以形成多沟道区于上述字符线上的相邻两位线之间;以及选择至少一上述沟道区实施一离子布植程序,以完成编码。
2.如权利要求1所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述第一绝缘层的材质为氧化物。
3.如权利要求1所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,形成上述第一绝缘层后,更包括:形成一掩模层于上述第一绝缘层表面。
4.如权利要求3所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述掩模层系做为蚀刻上述第二绝缘层时的蚀刻终止层。
5.如权利要求1所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述栅极氧化层系利用热氧化法形成。
6.如权利要求1所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述栅极层包括一多晶硅层与一导电层。
7.如权利要求1所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述多晶硅层利用化学气相沉积法形成,再利用化学机械研磨法或回蚀法进行平坦化处理。
8.如权利要求6所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述导电层的材质为硅化金属层。
9.如权利要求8所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述导电层系利用快速热处理过程形成。
10.如权利要求1所述的掩模式只读储存器的制造方法,其特征在于,上述第二绝缘层为氧化物。
11.如权利要求1所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述离子布值程序使用一孔洞状光致抗蚀剂为掩模。
12.一种掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,包括:提供一具有多平行位线的基底;形成一第一绝缘层于上述基底表面;形成一掩模层于上述第一绝缘层表面;图案化上述第一绝缘层、上述掩模层,以形成多平行沟槽于上述第一绝缘层中,用以定义多字元线,其中上述多字元线大体上垂直于上述多平行位线;依序形成一栅极氧化层、一栅极层于上述多平行沟槽底部,用以形成多平行字符线,其中上述字符线的表面高度低于上述第一绝缘层的表面高度;全面性形成一第二绝缘层;图案化上述第二绝缘层,直到露出部分上述栅极层表面,以形成多沟道区于上述字符线上的相邻两位线之间;以及选择至少一上述沟道区实施一离子布植程序,以完成编码。
13如权利要求12所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述第一绝缘层的材质为氧化物。
14.如权利要求12所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述掩模层系做为蚀刻上述第二绝缘层时的蚀刻终止层。
15.如权利要求12所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述栅极氧化层是利用热氧化法形成。
16.如权利要求12所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述栅极层包括一多晶硅层与一导电层。
17.如权利要求16所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述导电层的材质为硅化金属层。
18.如权利要求17所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述导电层利用快速热处理过程形成。
19.如权利要求12所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述第二绝缘层为氧化物。
20.如权利要求12所述的掩模式只读存储器的制造方法,其特征在于,上述离子布植程序使用一孔洞状光致抗蚀剂为掩模。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
半导体装置的形成方法 | 2020-05-21 | 2 |
有机发光显示装置及其制造方法 | 2020-06-22 | 2 |
蚀刻方法及蚀刻处理装置 | 2021-02-13 | 1 |
METHOD FOR MANUFACTURING A CONTACT STRUCTURE USED TO ELECTRICALLY CONNECT A SEMICONDUCTOR DEVICE | 2020-07-14 | 0 |
Liquid crystal display device and method of manufacturing the same | 2022-01-28 | 2 |
Method of manufacturing thin-film transistor substrate | 2022-05-02 | 2 |
A method of forming a contact hole | 2023-08-07 | 1 |
다계조 포토마스크 | 2020-06-11 | 1 |
반도체 장치의 제조방법 | 2021-06-04 | 1 |
노광 마스크 패턴의 결함을 수리하는 방법 | 2022-06-19 | 2 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。