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金属覆盖不锈材料的制造方法

阅读:226发布:2024-02-23

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1.一种金属覆盖不锈材料的制造方法,其具有:
酸处理工序,对于不锈钢钢材用酸性溶液进行处理;
蚀刻工序,对于所述酸处理工序后的不锈钢钢材利用蚀刻处理剂进行处理;和改质工序,将所述不锈钢钢材的表面改质为适于镀金属处理的状态。
2.根据权利要求1所述的镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法,其中,所述酸处理工序中,通过对于所述不锈钢钢材用所述酸性溶液进行处理,由此在不锈钢钢材的表面形成与从用所述酸性溶液进行处理之前存在的钝化膜相比密度低的化膜。
3.根据权利要求2所述的镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法,其中,所述酸处理工序中,通过对于所述不锈钢钢材用所述酸性溶液进行处理,由此与所述酸处理工序之前相比将所述不锈钢钢材的表面的包含所述钝化膜的氧化膜增膜。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法,其中,作为所述酸性溶液,使用含有盐酸氟化氢铵、硫酸硝酸中的任意一种或它们的混合物的溶液。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法,其中,作为所述蚀刻处理剂,使用硝酸和硫酸中的任意一种或它们的混合物。
6.一种镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法,其具有:
减膜工序,利用蚀刻剂将生成于不锈钢钢材的表面的氧化膜减膜;
增膜工序,利用氧化处理剂将所述进行了减膜的氧化膜增膜;和
改质工序,将所述不锈钢钢材的表面改质为适于镀金属处理的状态。
7.根据权利要求6所述的镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法,其中,作为所述蚀刻剂,使用氟化氢铵、硫酸、硝酸和盐酸中的任意一种或它们的混合物。
8.根据权利要求6或7所述的镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法,其中,作为所述氧化处理剂,使用硝酸和硫酸中的任意一种或它们的混合物。
9.根据权利要求1~8中任一项所述的镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法,其中,所述改质工序中,进行使所述不锈钢钢材在50~70℃的温度下浸渍于硫酸浓度为20~25体积%的硫酸溶液5~600秒的处理。
10.根据权利要求1~9中任一项所述的镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法,其在所述改质工序之后,还具有对于所述不锈钢钢材实施镀金属处理的镀金属工序。

说明书全文

金属覆盖不锈材料的制造方法

技术领域

[0001] 本发明涉及镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法。

背景技术

[0002] 以往,作为连接器(connector)、开关或印刷布线基板等中使用的电触点材料,使用在不锈钢钢材的表面覆盖镀金层等镀金属层而成的镀金属覆盖不锈钢材料、进行了表面处理的不锈钢钢材。
[0003] 对于在表面形成有镀金属层的不锈钢钢材(以下也称为镀金属覆盖不锈钢材料)而言,为了提高表面的镀金属层的密合性,在形成镀金属层之前,在不锈钢钢材上实施基底镀镍而形成基底镀镍层,除此之外例如如专利文献1中记载那样,也已知不实施基底镀镍、在不锈钢钢材上直接形成镀金属层的技术。另外,作为进行了表面处理的不锈钢钢材,例如如专利文献2那样已知在表面形成有规定的化膜的不锈钢钢材。
[0004] 现有技术文献
[0005] 专利文献
[0006] 专利文献1:日本特开2008-4498号公报
[0007] 专利文献2:日本特开2007-280664号公报

发明内容

[0008] 发明要解决的问题
[0009] 镀金属覆盖不锈钢材料中,若表面的镀金属层的厚度过薄则镀金属层的覆盖率显著降低,由此得不到镀金属层所要求的特性的同时,不锈钢钢材露出而耐蚀性降低,另一方面,若表面的镀金属层的厚度过厚则在成本上不利。因此,镀金属覆盖不锈钢材料中,为了解决这些问题,对于形成于表面的镀金属层,要求厚度薄且均匀。
[0010] 但是,上述专利文献1中公开的技术中存在下述问题:形成于不锈钢钢材上的镀金属层的厚度不均匀、镀金属层的密合性和耐蚀性降低。即,不锈钢钢材的表面由于暴露于空气气氛而生成自然氧化膜,但是该氧化膜对于各不锈钢钢材的个体而言厚度不同,进而即使在一不锈钢钢材的同一面内,也存在厚度的偏差。上述专利文献1的技术中,没有考虑在用作基板的不锈钢钢材的表面生成的氧化膜的偏差,因此形成于不锈钢钢材上的镀金属层,对应于氧化膜的厚度的偏差而厚度不均匀,产生不会析出镀层的部位或者产生镀金属层的剥离。由此,存在镀金属层的覆盖率降低而耐蚀性、导电性和平滑性等镀金属层所要求的特性降低的问题。
[0011] 另外,上述专利文献2中公开的技术中,作为对不锈钢钢材的表面处理,对于不锈钢钢材实施阴极电解处理,由此在不锈钢钢材上形成规定的氧化膜,提高不锈钢钢材的防蚀性等,但是使用形状复杂且不能均匀地通电的不锈钢钢材、基材的电阻高而难以通电的不锈钢钢材的情况下,存在对不锈钢钢材的通电不均匀、所形成的氧化膜的厚度不均匀等问题。
[0012] 本发明的目的在于,提供无论生成于不锈钢钢材的表面的氧化膜的厚度的个体差异、偏差如何,对于形成于不锈钢钢材上的镀金属层,都为密合性优异、厚度薄且均匀的镀金属层,都可以提高镀金属覆盖不锈钢材料的耐蚀性、导电性和平滑性等的镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法。
[0013] 用于解决问题的方案
[0014] 本发明人等发现,对于不锈钢钢材进行规定的前处理,然后实施改质表面的处理,由此可以达成上述目的,从而完成了本发明。
[0015] 即,根据本发明的第一观点的覆盖不锈钢材料的制造方法,提供一种镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法,其具有作为对于不锈钢钢材的前处理的对于不锈钢钢材用酸性溶液进行处理的酸处理工序、和对于前述酸处理工序后的不锈钢钢材利用蚀刻处理剂进行处理的蚀刻工序,还具有将该前处理后的前述不锈钢钢材的表面改质为适于镀金属处理的状态的改质工序。
[0016] 本发明的制造方法中,优选通过对于前述不锈钢钢材用前述酸性溶液进行处理,由此形成生成于不锈钢钢材的表面的、与用前述酸性溶液处理前的钝化膜相比密度低的氧化膜。
[0017] 本发明的制造方法中,优选通过对于前述不锈钢钢材用前述酸性溶液进行处理,由此与前述酸处理工序之前相比将前述不锈钢钢材的表面的包含前述钝化膜的氧化膜增膜。
[0018] 本发明的制造方法中,作为前述酸性溶液,优选使用含有盐酸氟化氢铵、硫酸硝酸中的任意一种或它们的混合物的溶液。
[0019] 本发明的制造方法中,作为前述蚀刻处理剂,优选使用硝酸和硫酸中的任意一种或它们的混合物。
[0020] 本发明的制造方法的前述改质工序中,优选进行使前述不锈钢钢材在50~70℃的温度下浸渍于硫酸浓度为20~25体积%的硫酸溶液5~600秒的处理。
[0021] 本发明的制造方法中,优选在前述改质工序之后,还具有对于前述不锈钢钢材实施镀金属处理的镀金属工序。
[0022] 另外,根据本发明的第二观点的覆盖不锈钢材料的制造方法,提供一种镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法,其具有作为对于不锈钢钢材的前处理的利用蚀刻剂将生成于不锈钢钢材的表面的氧化膜减膜的减膜工序、和利用氧化处理剂将前述进行了减膜的氧化膜增膜的增膜工序,还具有将该前处理后的前述不锈钢钢材的表面改质为适于镀金属处理的状态的改质工序。
[0023] 本发明的制造方法中,作为前述蚀刻剂,优选使用氟化氢铵、硫酸、硝酸和盐酸中的任意一种或它们的混合物。
[0024] 本发明的制造方法中,作为前述氧化处理剂,优选使用硝酸和硫酸中的任意一种或它们的混合物。
[0025] 本发明的制造方法的前述改质工序中,优选进行使前述不锈钢钢材在50~70℃的温度下浸渍于硫酸浓度为20~25体积%的硫酸水溶液5~600秒的处理。
[0026] 本发明的制造方法中,优选在前述改质工序之后,还具有对于前述不锈钢钢材实施镀金属处理的镀金属工序。
[0027] 发明的效果
[0028] 根据本发明,对于不锈钢钢材,利用酸性溶液进行处理后,使用蚀刻处理剂有意地进行蚀刻,然后实施改质表面的处理,因此结果所使用的不锈钢钢材的表面的氧化膜的厚度均匀化、可以使形成于不锈钢钢材上的镀金属层密合性优异、厚度薄且均匀。由此,可以提供耐蚀性、导电性和平滑性等镀金属层所要求的特性优异的镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法。
[0029] 或者,根据本发明,利用蚀刻剂有意地将生成于不锈钢钢材的表面的氧化膜减膜后,利用氧化处理剂有意地将该减膜了的氧化膜增膜,因此无论生成于不锈钢钢材的表面的氧化膜的厚度偏差如何,对于所形成的镀金属层,结果都可以形成密合性优异、厚度薄且均匀的镀金属层。由此,可以提供耐蚀性、导电性和平滑性等镀金属层所要求的特性优异的镀金属覆盖不锈钢材料的制造方法。附图说明
[0030] 图1为本发明的第一实施方式及第二实施方式的镀金属覆盖不锈钢材料的截面图。
[0031] 图2为用于说明本发明的第一实施方式中的用于制造镀金属覆盖不锈钢材料的各工序的图。
[0032] 图3为用于说明本发明的第二实施方式中的用于制造镀金属覆盖不锈钢材料的各工序的图。
[0033] 图4为用于说明测定实施例及比较例中得到的镀金属覆盖不锈钢材料1的接触电阻的方法的图。

具体实施方式

[0034] 以下对于本实施方式的镀金属覆盖不锈钢材料1的制造方法进行说明。
[0035] 《第一实施方式》
[0036] 第一实施方式的镀金属覆盖不锈钢材料1通过对于不锈钢钢材,首先作为前处理,进行用酸性溶液进行处理的酸处理工序、和对于前述酸处理工序后的不锈钢钢材利用蚀刻处理剂进行处理的蚀刻工序,然后,进行将不锈钢钢材的表面改质为适于镀金属处理的状态的改质工序、和在不锈钢钢材上形成镀金属层的镀金属工序,由此形成,如图1所示,在覆盖不锈钢钢材10的氧化膜11上形成镀金属层20。
[0037] <酸处理工序>
[0038] 首先,第一实施方式中,准备成为镀金属覆盖不锈钢材料1的基板的不锈钢钢材10。作为基板,没有特别限定,可列举出SUS316L、SUS316、SUS304等不锈钢钢材。另外,不锈钢钢材可列举出氏体系、素体系、奥氏体系等,但是特别优选为奥氏体系不锈钢钢材。
作为不锈钢钢材10的形状,没有特别限定,可以根据使用用途适当选择,例如可以根据被加工为线形状、板形状的导电性的金属元件,将板加工为凹凸形状而成的导电性构件,被加工为弹簧形状、筒形状的电子仪器的元件等用途使用加工为必要形状的不锈钢钢材。另外,对于不锈钢钢材10的长度(宽度)、粗细(直径)、厚度(板厚)没有特别限定,可以根据使用用途适当选择。
[0039] 第一实施方式中,对于如此准备的不锈钢钢材10,在规定的条件下进行管理来进行用酸性溶液进行处理的酸处理工序。第一实施方式中,通过进行酸处理工序,可以使在不锈钢钢材10的表面从用前述酸性溶液进行处理之前存在的包含钝化膜的氧化膜11的密度更低。作为形成这种低密度的氧化膜11的方法,可列举出通过对于不锈钢钢材10用酸性溶液进行处理,由在不锈钢钢材10的表面从用前述酸性溶液进行处理之前存在的钝化膜去除特定的成分,形成上述氧化膜11的方法。需要说明的是,作为特定的成分,没有特别限定,可列举出钝化膜中的氧化铁(FeO、Fe2O3)等。或者作为形成上述低密度的氧化膜11的方法,可列举出通过对于不锈钢钢材10用酸性溶液进行处理,将在不锈钢钢材10的表面从用前述酸性溶液进行处理之前存在的钝化膜的至少一部分去除,在不锈钢钢材10的表面形成上述氧化膜11作为新的氧化膜的方法。
[0040] 第一实施方式中,通过形成这种氧化膜11,如图2所示,与从用酸性溶液进行处理之前存在的包含钝化膜的氧化膜11相比,有可能形成厚度厚的氧化膜11,这种情况下,结果不锈钢钢材10的表面的氧化膜的大部分增膜。图2表示未处理的不锈钢钢材10经过用酸性溶液进行处理的酸处理工序、蚀刻工序、改质为适于镀金属处理的状态的改质工序和镀金属工序,形成镀金属覆盖不锈钢材料1的样子的一例的图。需要说明的是,图2中,表示对于经过了用酸性溶液进行处理的酸处理工序的不锈钢钢材10、经过了蚀刻工序的不锈钢钢材10、和经过了改质为适于镀金属处理的状态的改质工序的不锈钢钢材10,分别利用扫描型俄歇电子能谱分析装置(AES)进行测定,示出了氧(O)和铁(Fe)的原子浓度(at%)的推移的图。图2中,纵轴表示氧(O)或铁(Fe)的原子浓度、横轴表示由不锈钢钢材10的表面利用扫描型俄歇电子能谱分析装置(AES)测定得到的深度。
[0041] 第一实施方式中,对于所准备的不锈钢钢材10(图2中记载为“未处理”),如此进行与酸性溶液接触的处理,由此如图2所示可以在表面形成氧化膜11。即,图2的例子中,参照利用扫描型俄歇电子能谱分析装置(AES)测定得到的图时,将自不锈钢钢材10的表面至氧(O)的原子浓度比铁(Fe)的原子浓度小的深度作为氧化膜11的厚度的情况下,对于氧化膜11的厚度,在未处理的状态下为4.6nm,而通过经过用酸性溶液进行处理的工序增膜到
19nm。
[0042] 另外,第一实施方式中,如上所述,通过使用酸性溶液形成氧化膜11,可以使氧化膜11的厚度均匀化。即,未处理的不锈钢钢材10如图2所示,包含钝化膜的氧化膜11的厚度不均匀,因此该钝化膜的薄的部分形成容易进一步氧化的状态,钝化膜的厚的部分形成难以氧化的状态。与此相对,通过使用酸性溶液有意地使不锈钢钢材10的表面氧化从而形成上述的氧化膜11时,不锈钢钢材10中、形成于容易氧化的部分(钝化膜薄的部分)的氧化膜11进行增膜,另一方面,形成于难以氧化的部分(钝化膜厚的部分)的氧化膜11的增膜得到抑制。其结果认为,不锈钢钢材10的表面整体被氧化为相同程度,不锈钢钢材10上的氧化膜
11的厚度均匀化。
[0043] 第一实施方式中,通过用酸性溶液进行处理的酸处理工序形成的氧化膜11,具有利用后述的蚀刻工序中的蚀刻剂而可以比较容易地去除的特性。认为这是由于,通过用酸性溶液进行处理的酸处理工序形成的氧化膜11,密度低至能够用透明胶带剥离的程度。第一实施方式中,通过进行这种用酸性溶液进行处理的酸处理工序和蚀刻工序,可以有意地使不锈钢钢材10的表面的氧化膜11的厚度均匀。由此,根据第一实施方式,在所得到的覆盖不锈钢材料1上可以形成良好的镀金属层20,能够制造镀金属层20所要求的耐蚀性、导电性和平滑性等优异的镀金属覆盖不锈钢材料1。
[0044] 作为用酸性溶液进行处理的酸处理工序中使用的酸性溶液,没有特别限定,若为可以使氧化膜11密度降低至能够用透明胶带剥离的程度的酸性溶液即可,但是优选使用盐酸、氟化氢铵、硫酸和硝酸中的任意一种或它们的混合物,特别优选为盐酸。
[0045] 用酸性溶液进行处理的酸处理工序中,通过使上述酸性溶液的水溶液与不锈钢钢材10接触,可以使不锈钢钢材10的表面氧化,水溶液中的酸性溶液的浓度优选为1~99wt%,根据酸性溶液的种类调整为适于使用的浓度即可。特别是用盐酸溶液进行处理时的浓度优选为10~35wt%、更优选为15~25wt%。通过酸性溶液的浓度处于上述范围内,可以使不锈钢钢材10的表面适当氧化。
[0046] 作为使不锈钢钢材10与酸性溶液接触的方法,若为可以尽可能以均匀的厚度适当形成氧化膜11的方法即可,可以使用使不锈钢钢材10浸渍于酸性溶液的水溶液的方法、对于不锈钢钢材10喷雾酸性溶液的水溶液的方法等。
[0047] 使不锈钢钢材10浸渍于酸性溶液的水溶液的情况下,水溶液的温度优选为40~80℃、更优选为50~65℃。进而,使不锈钢钢材10浸渍于酸性溶液的水溶液的时间优选为5~120秒、更优选为10~60秒。
[0048] <蚀刻工序>
[0049] 接着,使通过酸处理工序形成有氧化膜11的不锈钢钢材10与蚀刻剂接触,由此如图2所示进行将氧化膜11减膜的蚀刻工序的处理。
[0050] 第一实施方式中,对于经过了酸处理工序的不锈钢钢材10,在规定的条件下进行管理来进行如此与蚀刻剂接触的处理,由此如图2所示可以将表面的氧化膜11均匀地减膜。即,图2所示的例子中,参照利用扫描型俄歇电子能谱分析装置(AES)测定得到的图时,将自不锈钢钢材10的表面至氧(O)的原子浓度比铁(Fe)的原子浓度小的深度作为氧化膜11的厚度的情况下,对于氧化膜11的厚度,在经过了酸处理工序的状态下为19nm,而通过经过蚀刻工序减膜至9.2nm。
[0051] 作为蚀刻工序中使用的蚀刻剂,没有特别限定,但是优选使用硝酸和硫酸中的任意一种或它们的混合物,特别优选为硝酸。
[0052] 蚀刻工序中,通过使上述蚀刻剂的水溶液与不锈钢钢材10接触,可以将不锈钢钢材10表面的氧化膜11的一部分去除,作为水溶液中的蚀刻剂的浓度,优选为5~30wt%、更优选10~25wt%。通过蚀刻剂的浓度处于上述范围内,将不锈钢钢材10的氧化膜11适当地减膜,可以使残留于不锈钢钢材10上的氧化膜11的厚度均匀。
[0053] 作为使不锈钢钢材10与蚀刻剂接触的方法,若为可以尽可能以均匀的厚度适当地将氧化膜11减膜的方法即可,可以使用使不锈钢钢材10浸渍于蚀刻剂的水溶液的方法、对于不锈钢钢材10喷雾蚀刻剂的水溶液的方法等。
[0054] 使不锈钢钢材10浸渍于蚀刻剂的水溶液的情况下,水溶液的温度优选为20~60℃、更优选25~40℃。进而,使不锈钢钢材10浸渍于蚀刻剂的水溶液的时间优选为1~30秒、更优选2~15秒。
[0055] 对于第一实施方式而言,在蚀刻工序中,将氧化膜11的一部分去除时,优选不锈钢钢材10的基体钢(不锈钢钢材10中、不被氧化、没有形成氧化膜11的基体部分)不会露出。即,若不锈钢钢材10的基体钢露出则所露出的部分与空气中的氧、水中的氧接触,自然生成新的氧化膜11。如此自然生成的氧化膜11的厚度容易变得不均匀,因此对于第一实施方式而言,在蚀刻工序中,通过将氧化膜11减膜到不锈钢钢材10的基体钢不会露出的程度,可防止在不锈钢钢材10自然生成新的氧化膜11,可以使氧化膜11的厚度均匀。
[0056] <改质工序>
[0057] 接着,对于通过蚀刻工序进行了氧化膜11的减膜的不锈钢钢材10,进行将表面的氧化膜11改质为适于镀金属处理的状态的改质工序的处理。第一实施方式中,通过进行该改质工序的处理,如图1、2所示,可得到被氧化膜11覆盖的不锈钢钢材10。
[0058] 作为适于镀金属处理的状态,可列举出氧化膜11的表面中的利用俄歇电子能谱分析得到的Cr/O值(Cr/O的摩尔比)和Cr/Fe值(Cr/Fe的摩尔比)调整到下述范围内的状态。即,Cr/O值优选处于0.05~0.2、更优选处于0.05~0.15的范围内。另外,Cr/Fe值优选处于
0.5~0.8、更优选处于0.5~0.7的范围内。
[0059] 第一实施方式中,通过将不锈钢钢材10的氧化膜11的表面的利用俄歇电子能谱分析得到的Cr/O值和Cr/Fe值控制于上述范围内,形成于氧化膜11上的镀金属层20的覆盖率(即,氧化膜11上的形成有镀金属层20的表面中被镀金属层20覆盖的面积的比率)提高,密合性和耐蚀性优异。
[0060] 需要说明的是,第一实施方式中,利用俄歇电子能谱分析得到的Cr/O值和Cr/Fe值例如可以通过以下的方法测定。即,首先对于氧化膜11的表面,使用扫描型俄歇电子能谱分析装置(AES)进行测定,算出氧化膜11的表面的Cr、O和Fe的原子%。接着,对于氧化膜11的表面中5个部位,利用扫描型俄歇电子能谱分析装置进行测定,将所得到的结果平均,由此可以算出Cr/O值(Cr的原子%/O的原子%)和Cr/Fe值(Cr的原子%/Fe的原子%)。需要说明的是,第一实施方式中,通过使用扫描型俄歇电子能谱分析装置进行测定得到的峰中,510~535eV的峰作为Cr的峰、485~520eV的峰作为O的峰、570~600eV的峰作为Fe的峰、将这些Cr、O、Fe的总计设为100原子%,测定Cr、O和Fe的原子%。
[0061] 第一实施方式的改质为适于镀金属处理的状态的改质工序中,作为使不锈钢钢材10的氧化膜11中、利用俄歇电子能谱分析得到的Cr/O值和Cr/Fe值处于上述范围内的方法,可列举出例如使经过了蚀刻工序的不锈钢钢材10浸渍于硫酸水溶液的方法。
[0062] 改质为适于镀金属处理的状态的改质工序中,使不锈钢钢材10浸渍于硫酸水溶液的情况下,硫酸水溶液的硫酸浓度优选为20~25体积%。另外,浸渍不锈钢钢材10时的温度优选为50~70℃、更优选60~70℃。进而,使不锈钢钢材10浸渍于硫酸水溶液的时间优选为3~600秒、更优选5~300秒。
[0063] 根据第一实施方式,改质为适于镀金属处理的状态的改质工序中,使用使不锈钢钢材10浸渍于硫酸水溶液的方法的情况下,通过使硫酸浓度、温度和浸渍时间的条件处于上述范围内,将不锈钢钢材10的表面的氧化膜11的一部分去除的同时,在不锈钢钢材10上可以得到表面的利用俄歇电子能谱分析得到的Cr/O值和Cr/Fe值被控制于上述范围内的不锈钢钢材表面。
[0064] 需要说明的是,第一实施方式中,通过蚀刻工序将氧化膜11减膜了的不锈钢钢材10,通过经过上述的改质为适于镀金属处理的状态的改质工序,通常将氧化膜11进一步减膜。例如图2所示的例子中,参照利用扫描型俄歇电子能谱分析装置(AES)测定得到的图时,将自不锈钢钢材10的表面至氧(O)的原子浓度比铁(Fe)的原子浓度小的深度作为氧化膜11的厚度的情况下,对于氧化膜11的厚度,在经过了蚀刻工序的状态下为9.2nm,而通过经过改质为适于镀金属处理的状态的改质工序,减膜至6.7nm。
[0065] <镀金属工序>
[0066] 接着,对于通过改质为适于镀金属处理的状态的改质工序进行了改质的不锈钢钢材10,实施镀金属,进行在表面形成镀金属层20的镀金属工序的处理。
[0067] 需要说明的是,作为构成镀金属层20的金属,不限于以下,可列举出金(Au)、(Ag)、钯(Pd)、铂(Pt)、铑(Rh)、钌(Ru)、(Cu)、(Sn)、铬(Cr)、镍(Ni)、钴(Co)、铁(Fe)、磷(P)、(B)中的任意一种金属,或包含它们之中至少两种以上金属的合金,它们之中,特别优选为Au、Ag、Pd或Pt。另外,对于形成镀金属层20的镀覆方法没有特别限定,优选使用含有Au、Ag、Pd、Pt、Rh、Ru、Cu、Sn、Cr、Ni、Co、Fe、P、B等的盐的镀覆浴,通过化学镀覆形成。
[0068] 在此列举出的Au、Ag、Pd、Pt、Rh、Ru、Cu、Sn、Cr、Ni都为标准电极电位大的贵金属,并且具有接触电阻低等共通的性质。因此,作为构成镀金属层20的金属,即使使用上述中的任意一种金属的情况下,对于所得到的镀金属覆盖不锈钢材料1而言,镀金属层20的镀覆性、密合性、耐蚀性和导电性等也优异。
[0069] 需要说明的是,作为镀金属层20的覆盖率、即氧化膜11上的形成有镀金属层20的表面中被镀金属层20覆盖的面积的比率,优选为95%以上。通过使镀金属层20的覆盖率为95%以上,可以降低镀金属层20的针孔,由此可以防止以针孔为开端的镀金属层20的剥离的同时,对于所得到的镀金属覆盖不锈钢材料1,可以进一步提高耐蚀性和导电性。
[0070] 在使用金作为构成镀金属层20的主要金属的情况下,所形成的镀金属层20的厚度优选为2~20nm、更优选2~10nm。若主要包含金的镀金属层20的厚度过薄,则在不锈钢钢材10的氧化膜11上不会形成均匀的镀金属层20,镀金属覆盖不锈钢材料1的耐蚀性和导电性有可能降低。另一方面,若主要包含金的镀金属层20的厚度过厚,则在成本上不利。
[0071] 另外,在使用银作为构成镀金属层20的主要金属的情况下,所形成的镀金属层20的厚度优选为10~200nm、更优选20~100nm。若主要包含银的镀金属层20的厚度过薄,则在不锈钢钢材10的氧化膜11上不会形成均匀的镀金属层20,镀金属覆盖不锈钢材料1的耐蚀性和导电性有可能降低。另一方面,若主要包含银的镀金属层20的厚度过厚,则在成本上不利。
[0072] 或者,在使用金和银以外的金属作为构成镀金属层20的主要金属的情况下,所形成的镀金属层20的厚度优选为2~20nm、更优选2~10nm。若包含这种金属的镀金属层20的厚度过薄,则在不锈钢钢材10的氧化膜11上不会形成均匀的镀金属层20,镀金属覆盖不锈钢材料1的耐蚀性和导电性有可能降低。另一方面,若包含这种金属的镀金属层20的厚度过厚,则在成本上不利。
[0073] 如以上那样,通过镀金属工序对于不锈钢钢材10实施镀金属处理,在氧化膜11上形成镀金属层20,由此可以得到镀金属覆盖不锈钢材料1。
[0074] 根据第一实施方式,对于作为基材而准备的不锈钢钢材10,无论自然生成于表面的氧化膜11的厚度的偏差(即,基于不锈钢钢材的个体差异的氧化膜11的厚度偏差、一不锈钢钢材的同一面内的氧化膜11的厚度偏差)如何,通过上述的用酸性溶液进行处理的酸处理工序和蚀刻工序,都可以使氧化膜11的厚度均匀。具体而言,对于未处理状态的不锈钢钢材10,即使氧化膜11的厚度有偏差,不锈钢钢材10的氧化膜11通过用酸性溶液进行处理的酸处理工序形成后,通过蚀刻工序减膜,由此无论生成于不锈钢钢材10的表面的氧化膜11的厚度的个体差异、偏差如何,也被调整为均匀的厚度。
[0075] 接着第一实施方式中,对于如此厚度均匀化了的氧化膜11,进行上述的改质为适于镀金属处理的状态的改质工序,由此可以使氧化膜11形成适于镀金属处理的状态,通过此后的镀金属工序,可以形成厚度薄且均匀的镀金属层20。
[0076] 由此,第一实施方式中,无论生成于不锈钢钢材10的表面的氧化膜11的偏差如何,都形成厚度均匀且适于镀金属处理的氧化膜11,在这种氧化膜11上都形成厚度薄且均匀的镀金属层20。其结果,根据第一实施方式,可以制造镀金属层20的密合性和耐蚀性优异的镀金属覆盖不锈钢材料1。
[0077] 另外,第一实施方式的镀金属覆盖不锈钢材料1,如上所述可以用作连接器(connector)、开关、或印刷布线基板等中使用的电触点材料,也可以用作燃料电池用分隔件。燃料电池用分隔件作为构成燃料电池堆的燃料电池单元的构件使用,具有通过气体流路对电极供给燃料气体、空气的功能,和将通过电极产生的电子集电的功能。将镀金属覆盖不锈钢材料1用作燃料电池用分隔件时,对于不锈钢钢材10而言,优选准备预先在其表面形成有作为燃料气体、空气的流路发挥功能的凹凸(气体流路)的不锈钢钢材,对于该不锈钢钢材10,实施上述的用酸性溶液进行处理的酸处理工序、蚀刻工序、改质为适于镀金属处理的状态的改质工序和镀金属工序的各处理。作为形成气体流路的方法,没有特别限定,可列举出例如通过加压加工来形成的方法。
[0078] 需要说明的是,通常将表面形成有镀金属层的不锈钢钢材用作燃料电池用分隔件的情况下,燃料电池用分隔件暴露于燃料电池内的高温且酸性气氛的环境,因此表面的镀金属层的覆盖率低时,成为基材的不锈钢钢材的腐蚀提前进行,由此,由于生成于不锈钢钢材表面的腐蚀生成物而电阻值增加,存在作为将通过电极产生的电子集电的燃料电池用分隔件的功能降低的问题。
[0079] 对于此,根据第一实施方式的镀金属覆盖不锈钢材料1,如上所述,形成覆盖率和密合性优异的镀金属层20,因此也可以合适地用作这种燃料电池用分隔件。
[0080] 《第二实施方式》
[0081] 第二实施方式的镀金属覆盖不锈钢材料1,通过对于不锈钢钢材10,首先作为前处理,进行通过用蚀刻处理剂进行处理而将包含钝化膜的氧化膜11减膜的减膜工序、和通过利用氧化处理剂进行处理而将氧化膜11增膜的增膜工序,然后,进行将氧化膜11改质的改质工序、和在不锈钢钢材上形成镀金属层的镀金属工序,由此形成,如图1所示,在覆盖不锈钢钢材10的氧化膜11上形成镀金属层20。
[0082] <减膜工序>
[0083] 首先在第二实施方式中,准备成为镀金属覆盖不锈钢材料1的基板的不锈钢钢材10。作为基板,可以使用与上述的第一实施方式相同的基板。
[0084] 第二实施方式中,对于所准备的不锈钢钢材10,在规定条件下进行管理来进行利用蚀刻剂将自然生成于表面的包含钝化膜的氧化膜11减膜的减膜工序的处理。具体而言,通过使不锈钢钢材10与蚀刻剂接触,将不锈钢钢材10的表面的氧化膜11的一部分去除,如图3所示,将氧化膜11减膜。图3为表示未处理的不锈钢钢材10经过减膜工序、增膜工序、改质工序和镀金属工序形成镀金属覆盖不锈钢材料1的样子的一例的图。需要说明的是,图3中表示对于经过了减膜工序的不锈钢钢材10、经过了增膜工序的不锈钢钢材10、和经过了改质工序的不锈钢钢材10,分别利用扫描型俄歇电子能谱分析装置(AES)进行测定,示出氧(O)和铁(Fe)的原子浓度(at%)的推移的图。图3中,纵轴表示氧(O)或铁(Fe)的原子浓度、横轴表示由不锈钢钢材10的表面利用扫描型俄歇电子能谱分析装置(AES)测定得到的深度。
[0085] 第二实施方式中,对于所准备的不锈钢钢材10(图3中记载为“未处理”),如此进行与蚀刻剂接触的处理,由此如图3所示,可以将表面的氧化膜11减膜。即,图3的例子中,参照利用扫描型俄歇电子能谱分析装置(AES)测定得到的图时,将自不锈钢钢材10的表面至氧(O)的原子浓度比铁(Fe)的原子浓度小的深度作为氧化膜11的厚度的情况下,对于氧化膜11的厚度,在未处理的状态下为4.6nm,而通过经过减膜工序减膜至4.0nm。第二实施方式中,通过减膜工序减膜了的氧化膜11如图3所示,整体上厚度减少。
[0086] 作为减膜工序中使用的蚀刻剂,若为可以将氧化膜11减膜的蚀刻剂即可,没有特别限定,但是优选使用氟化氢铵、硫酸、硝酸和盐酸中的任意一种或它们的混合物,特别优选为氟化氢铵或盐酸和硝酸混合而成的盐酸和硝酸的混合酸。
[0087] 减膜工序中,通过使上述蚀刻剂的水溶液与不锈钢钢材10接触,可以将不锈钢钢材10表面的氧化膜11的一部分去除,作为水溶液中的蚀刻剂的浓度,优选为1~99wt%,根据酸性溶液的种类调整为适于使用的浓度即可。特别是用氟化氢铵溶液进行处理时的浓度优选为1~15wt%、更优选3~5wt%。通过蚀刻剂的浓度处于上述范围内,可以将不锈钢钢材10的氧化膜11合适地减膜。
[0088] 作为使不锈钢钢材10与蚀刻剂接触的方法,若为可以尽可能以均匀的厚度将氧化膜11合适地减膜的方法即可,可以使用使不锈钢钢材10浸渍于蚀刻剂的水溶液的方法、对于不锈钢钢材10喷雾蚀刻剂的水溶液的方法等。
[0089] 使不锈钢钢材10浸渍于蚀刻剂的水溶液的情况下,水溶液的温度优选为20~60℃、更优选25~50℃。进而,使不锈钢钢材10浸渍于蚀刻剂的水溶液的时间优选为5~600秒、更优选10~120秒。
[0090] 对于第二实施方式而言,在减膜工序中将氧化膜11的一部分去除时,优选不锈钢钢材10的基体钢(不锈钢钢材10中、不被氧化、没有形成氧化膜11的基体部分)不会露出。即,若不锈钢钢材10的基体钢露出则所露出的部分与空气中的氧、水中的氧接触,自然生成新的氧化膜11。如此自然生成的氧化膜11厚度容易变得不均匀,因此对于第二实施方式而言,在减膜工序中,通过将氧化膜11减膜到不锈钢钢材10的基体钢不会露出的程度,可防止在不锈钢钢材10自然生成新的氧化膜11。
[0091] <增膜工序>
[0092] 接着,使通过减膜工序进行了氧化膜11的减膜的不锈钢钢材10与氧化处理剂接触,由此如图3所示进行将氧化膜11增膜的增膜工序的处理。
[0093] 第二实施方式中,对于经过了减膜工序的不锈钢钢材10,在规定条件下进行管理来进行如此与氧化处理剂接触的处理,由此如图3所示,可以将氧化膜11增膜。即,图3所示的例子中,参照利用扫描型俄歇电子能谱分析装置(AES)测定得到的图时,将自不锈钢钢材10的表面至氧(O)的原子浓度比铁(Fe)的原子浓度小的深度作为氧化膜11的厚度的情况下,对于氧化膜11的厚度,在经过了减膜工序的状态下为4.0nm,而通过经过增膜工序增膜到6.2nm。
[0094] 第二实施方式中,如上所述,通过使用氧化处理剂将氧化膜11增膜,可以将氧化膜11增膜的同时,使氧化膜11的厚度均匀化。即,对于未处理的不锈钢钢材10,如图3所示,未处理的不锈钢钢材10的氧化膜11整体减膜而成的不锈钢钢材10(减膜工序后的不锈钢钢材
10)而言,氧化膜11的厚度变得不均匀,因此氧化膜11的薄的部分形成容易进一步氧化的状态,氧化膜11的厚的部分形成难以氧化的状态。与此相对,通过使用氧化处理剂有意地使不锈钢钢材10的表面氧化,不锈钢钢材10中、容易氧化的部分(氧化膜11的薄的部分)的氧化膜11的增膜进行,另一方面,难以氧化的部分(氧化膜11的厚的部分)增膜得到抑制。其结果,不锈钢钢材10的表面整体被氧化为相同程度,不锈钢钢材10上的氧化膜11的厚度均匀化。
[0095] 第二实施方式中,通过进行上述的减膜工序和增膜工序,可以有意地使不锈钢钢材10的表面的氧化膜11的厚度均匀。由此,根据第二实施方式,在所得到的覆盖不锈钢材料1上可以形成良好的镀金属层20,能够制造镀金属层20的密合性和耐蚀性优异的镀金属覆盖不锈钢材料1。
[0096] 作为增膜工序中使用的氧化处理剂,若为可以将氧化膜11合适地增膜的氧化处理剂则没有特别限定,但是优选使用硝酸和硫酸中的任意一种或它们的混合物,特别优选为硝酸。
[0097] 增膜工序中,通过使上述氧化处理剂的水溶液与不锈钢钢材10接触,可以使不锈钢钢材10的表面氧化,水溶液中的氧化处理剂的浓度优选为5~25wt%、更优选15~20wt%。通过氧化处理剂的浓度处于上述范围内,可以使不锈钢钢材10的表面合适地氧化。
[0098] 作为使不锈钢钢材10与氧化处理剂接触的方法,若为可以使氧化膜11的厚度尽可能均匀来将氧化膜11增膜的方法即可,可以使用使不锈钢钢材10浸渍于氧化处理剂的水溶液的方法、对于不锈钢钢材10喷雾氧化处理剂的水溶液的方法等。
[0099] 使不锈钢钢材10浸渍于氧化处理剂的水溶液的情况下,水溶液的温度优选为20~60℃、更优选25~40℃。进而,使不锈钢钢材10浸渍于氧化处理剂的水溶液的时间优选为1~30秒、更优选2~15秒。
[0100] <改质工序>
[0101] 接着,对于通过增膜工序进行了氧化膜11的增膜的不锈钢钢材10,与上述第一实施方式同样地,进行将表面的氧化膜11改质为适于镀金属处理的状态的改质工序的处理。第二实施方式中,通过进行改质工序的处理,如图1、3所示得到被氧化膜11覆盖的不锈钢钢材10。
[0102] 作为适于镀金属处理的状态,可列举出氧化膜11的表面的利用俄歇电子能谱分析得到的Cr/O值(Cr/O的摩尔比)和Cr/Fe值(Cr/Fe的摩尔比)调整到下述范围内的状态。即,Cr/O值优选处于0.05~0.2、更优选处于0.05~0.15的范围内。另外,Cr/Fe值优选处于0.5~0.8、更优选处于0.5~0.7的范围内。
[0103] 第二实施方式中,通过将不锈钢钢材10的氧化膜11的表面的利用俄歇电子能谱分析得到的Cr/O值和Cr/Fe值控制于上述范围内,形成于氧化膜11上的镀金属层20的覆盖率(即,氧化膜11上的形成有镀金属层20的表面中被镀金属层20覆盖的面积的比率)提高,密合性和耐蚀性优异。
[0104] 需要说明的是,第二实施方式中,利用俄歇电子能谱分析得到的Cr/O值和Cr/Fe值例如可以通过以下的方法测定。即,首先对于氧化膜11的表面,使用扫描型俄歇电子能谱分析装置(AES)进行测定,算出氧化膜11的表面的Cr、O和Fe的原子%。接着,对于氧化膜11的表面中5个部位,利用扫描型俄歇电子能谱分析装置进行测定,将所得到的结果平均,由此可以算出Cr/O值(Cr的原子%/O的原子%)和Cr/Fe值(Cr的原子%/Fe的原子%)。需要说明的是,第二实施方式中,通过使用扫描型俄歇电子能谱分析装置进行测定得到的峰中,510~535eV的峰作为Cr的峰、485~520eV的峰作为O的峰、570~600eV的峰作为Fe的峰、将这些Cr、O、Fe的总计设为100原子%,测定Cr、O和Fe的原子%。
[0105] 第二实施方式的改质工序中,作为使不锈钢钢材10的氧化膜11中、利用俄歇电子能谱分析得到的Cr/O值和Cr/Fe值处于上述范围内的方法,可列举出例如使经过了造膜工序的不锈钢钢材10浸渍于硫酸水溶液的方法。
[0106] 改质工序中,使不锈钢钢材10浸渍于硫酸水溶液的情况下,硫酸水溶液的硫酸浓度优选为20~25体积%。另外,浸渍不锈钢钢材10时的温度优选为50~70℃、更优选60~70℃。进而,使不锈钢钢材10浸渍于硫酸水溶液的时间优选为3~600秒、更优选5~300秒。
[0107] 根据第二实施方式,改质工序中,使用使不锈钢钢材10浸渍于硫酸水溶液的方法的情况下,通过使硫酸浓度、温度和浸渍时间的条件处于上述范围内,将不锈钢钢材10的表面的氧化膜11的一部分去除的同时,在不锈钢钢材10上可以得到表面的利用俄歇电子能谱分析得到的Cr/O值和Cr/Fe值被控制于上述范围内的不锈钢钢材表面。
[0108] 需要说明的是,第二实施方式中,通过增膜工序而将氧化膜11增膜了的不锈钢钢材10,通过经过上述的改质工序,通常将氧化膜11减膜。例如图3所示的例子中,参照利用扫描型俄歇电子能谱分析装置(AES)测定得到的图时,将自不锈钢钢材10的表面至氧(O)的原子浓度比铁(Fe)的原子浓度小的深度作为氧化膜11的厚度的情况下,对于氧化膜11的厚度,在经过了增膜工序的状态下为6.2nm,而通过经过改质工序,减膜至2.7nm。
[0109] <镀金属工序>
[0110] 接着,对于通过改质工序进行了改质的不锈钢钢材10,与上述的第一实施方式同样地实施镀金属,进行在表面形成镀金属层20的镀金属工序的处理。通过镀金属工序对于不锈钢钢材10实施镀金属处理,在氧化膜11上形成镀金属层20,由此可以得到镀金属覆盖不锈钢材料1。
[0111] 根据第二实施方式,对于作为基材而准备的不锈钢钢材10,无论自然生成于表面的氧化膜11的厚度的偏差(即,基于不锈钢钢材的个体差异的氧化膜11的厚度偏差、一不锈钢钢材的同一面内的氧化膜11的厚度偏差)如何,通过减膜工序和增膜工序,都可以使氧化膜11的厚度均匀。具体而言,对于未处理状态的不锈钢钢材10,即使氧化膜11的厚度有偏差,不锈钢钢材10的氧化膜11通过减膜工序减膜后、通过增膜工序增膜,由此无论生成于不锈钢钢材10的表面的氧化膜11的厚度的个体差异、偏差如何,也被调整为均匀的厚度。
[0112] 接着第二实施方式中,对于如此厚度均匀化了的氧化膜11,进行上述的改质工序,由此可以使氧化膜11形成适于镀金属处理的状态,通过此后的镀金属工序,可以形成厚度薄且均匀的镀金属层20。
[0113] 由此,第二实施方式中,无论生成于不锈钢钢材10的表面的氧化膜11的偏差如何,都形成厚度均匀且适于镀金属处理的氧化膜11,在这种氧化膜11上都形成厚度薄且均匀的镀金属层20。其结果,根据第二实施方式,可以制造镀金属层20的密合性和耐蚀性优异的镀金属覆盖不锈钢材料1。
[0114] 另外,第二实施方式的镀金属覆盖不锈钢材料1与上述第一实施方式同样地可以用作连接器(connector)、开关、或印刷布线基板等中使用的电触点材料,除此之外也可以用作燃料电池用分隔件。根据第二实施方式的镀金属覆盖不锈钢材料1,如上所述,形成覆盖率和密合性优异的镀金属层20,因此也可以合适地用作燃料电池用分隔件。
[0115] 实施例
[0116] 以下列举出实施例对于本发明进行更具体说明,但是本发明不被这些实施例所限定。
[0117] 需要说明的是,实施例和比较例中得到的镀金属覆盖不锈钢材料1的评价方法如下所述。
[0118] <接触电阻值的测定>
[0119] 对于镀金属覆盖不锈钢材料1,使用图4所示的测定系统,进行接触电阻值的测定。需要说明的是,图4所示的测定系统由两镀金属覆盖不锈钢材料1、经镀金覆盖的铜电极
2、电压计3和电流计4构成。对于接触电阻值的测定,具体而言,首先将镀金属覆盖不锈钢材料1加工为宽度20mm、长度20mm、厚度0.1mm的尺寸,如图4所示,两块镀金属覆盖不锈钢材料
1重叠而成的重叠物被经镀金覆盖的铜电极2从两侧夹着而固定,由此形成图4所示的测定系统。接着,对经镀金覆盖的铜电极2施加一定负荷的同时,使用电阻计(日置电机公司制、毫欧高速测定仪(Milliohm HiTESTER)3540),测定试验片的接触电阻值。
[0120] 《实施例1》
[0121] 首先,作为不锈钢钢材10,准备SUS316L的板。接着对于所准备的不锈钢钢材10进行水洗以及脱脂后,进行在温度:60℃、浸渍时间:60秒的条件下浸渍于盐酸浓度:20wt%的盐酸水溶液的处理(用酸性溶液进行处理的酸处理工序的处理),由此在不锈钢钢材10的表面形成氧化膜11。
[0122] 接着将形成有氧化膜11的不锈钢钢材10水洗后,进行在温度:30℃、浸渍时间:3秒的条件下浸渍于硝酸浓度:20wt%的硝酸水溶液的处理(蚀刻工序的处理),由此将不锈钢钢材10的表面的氧化膜11减膜。
[0123] 然后,将氧化膜11减膜了的不锈钢钢材10水洗后,进行在温度:70℃、浸渍时间:5秒的条件下浸渍于硫酸浓度:25体积%的硫酸水溶液的处理(改质为适于镀金属处理的状态的改质工序的处理),由此将不锈钢钢材10的表面的氧化膜11改质。
[0124] 接着,将氧化膜11改质了的不锈钢钢材10水洗后,使用化学镀钯合金浴,在38℃、pH 5.5、4分钟的条件下进行化学镀覆的处理(镀金属工序的处理),由此在氧化膜11上形成厚度约为40nm的镀金属层20,得到镀金属覆盖不锈钢材料1。
[0125] 接着,对于所得到的镀金属覆盖不锈钢材料1,根据上述的方法进行接触电阻的测定。进而,对于镀金属覆盖不锈钢材料1实施在温度250℃的环境中保管1小时的热处理,再次进行接触电阻的测定。结果如表1所示。
[0126] 《实施例2》
[0127] 首先,作为不锈钢钢材10,准备SUS316L。接着对于所准备的不锈钢钢材10进行水洗以及脱脂后,进行在温度:30℃、浸渍时间:60秒的条件下浸渍于氟化氢铵浓度:3wt%的氟化氢铵水溶液的处理(减膜工序的处理),由此将不锈钢钢材10的表面的氧化膜11减膜。
[0128] 接着将氧化膜11减膜了的不锈钢钢材10水洗后,进行在温度:30℃、浸渍时间:3秒的条件下浸渍于硝酸浓度:20wt%的硝酸水溶液的处理(增膜工序的处理),由此将不锈钢钢材10的表面的氧化膜11增膜。
[0129] 然后,将氧化膜11增膜了的不锈钢钢材10水洗后,进行在温度:70℃、浸渍时间:5秒的条件下浸渍于硫酸浓度:25体积%的硫酸水溶液的处理(改质工序的处理),由此将不锈钢钢材10的表面的氧化膜11改质。
[0130] 接着,将氧化膜11改质了的不锈钢钢材10水洗后,使用化学镀钯合金浴,在pH 5.5、38℃、4分钟的条件下进行化学镀覆的处理(镀金属工序的处理),由此在氧化膜11上形成厚度约为40nm的镀金属层20,得到镀金属覆盖不锈钢材料1。
[0131] 接着,对于所得到的镀金属覆盖不锈钢材料1,根据上述的方法进行接触电阻的测定。进而,对于镀金属覆盖不锈钢材料1实施在温度250℃的环境中保管1小时的热处理,再次进行接触电阻的测定。结果如表1所示。
[0132] 《实施例3》
[0133] 首先,作为不锈钢钢材10,准备SUS316L。接着对于所准备的不锈钢钢材10进行水洗以及脱脂后,进行在温度:40℃、浸渍时间:15秒的条件下浸渍于盐酸浓度:18wt%和硝酸浓度:1wt%的盐酸和硝酸混合而成的水溶液的处理(减膜工序的处理),由此将不锈钢钢材10的表面的氧化膜11减膜。
[0134] 接着将氧化膜11减膜了的不锈钢钢材10水洗后,进行在温度:30℃、浸渍时间:3秒的条件下浸渍于硝酸浓度:20wt%的硝酸水溶液的处理(增膜工序的处理),由此将不锈钢钢材10的表面的氧化膜11增膜。
[0135] 然后,将氧化膜11增膜了的不锈钢钢材10水洗后,进行在温度:70℃、浸渍时间:5秒的条件下浸渍于硫酸浓度:25体积%的硫酸水溶液的处理(改质工序的处理),由此将不锈钢钢材10的表面的氧化膜11改质。
[0136] 接着,将氧化膜11改质了的不锈钢钢材10水洗后,使用化学镀钯合金浴,在pH 5.5、38℃、4分钟的条件下进行化学镀覆的处理(镀金属工序的处理),由此在氧化膜11上形成厚度约为40nm的镀金属层20,得到镀金属覆盖不锈钢材料1。
[0137] 接着,对于所得到的镀金属覆盖不锈钢材料1,实施在温度250℃的环境中保管1小时的热处理,根据上述方法进行接触电阻的测定。结果如表1所示。
[0138] 《比较例1》
[0139] 不进行使不锈钢钢材10浸渍于盐酸水溶液的处理(用酸性溶液进行处理的酸处理工序的处理),除此之外与实施例1同样地制作镀金属覆盖不锈钢材料,同样地进行接触电阻的测定。结果如表1所示。
[0140] [表1]
[0141] 表1
[0142]  热处理前接触电阻(mΩ) 热处理后接触电阻(mΩ)
实施例1 4.1 4.1
实施例2 5.4 6.1
实施例3 - 4.0
比较例1 5.8 60.1
[0143] 由表1的结果确认了,经过上述的用酸性溶液进行处理的酸处理工序、蚀刻工序和改质为适于镀金属处理的状态的改质工序制作镀金属覆盖不锈钢材料1的实施例1中,热处理前的接触电阻值和热处理后的接触电阻值都为4.1mΩ,即使施加热处理、接触电阻值也不会变化。另外,由表1的结果确认了,经过上述的减膜工序、增膜工序和改质工序制作镀金属覆盖不锈钢材料1的实施例2中,相对于热处理前的接触电阻值为5.4mΩ、热处理后的接触电阻值为6.1mΩ,即使施加热处理、接触电阻值也几乎不变化。同样地,由表1的结果确认了,经过上述的减膜工序、增膜工序和改质工序制作镀金属覆盖不锈钢材料1的实施例3中,热处理后的接触电阻值为4.0mΩ,即使施加热处理、接触电阻值也低。需要说明的是,镀金属覆盖不锈钢材料1中,镀金属层20的形成不充分、不锈钢钢材10的一部分露出的情况下,由于热处理而在不锈钢钢材10的露出部分形成氧化铬、氧化铁,镀金属覆盖不锈钢材料1的接触电阻值升高。与此相对,实施例1、2的镀金属覆盖不锈钢材料1即使施加热处理的情况下、接触电阻值也不会升高,因此确认了良好地形成镀金属层20而不锈钢钢材10不会露出。另外,对于实施例3的镀金属覆盖不锈钢材料1,即使施加热处理的情况下,也可以维持低的接触电阻值,因此确认了良好地形成镀金属层20而不锈钢钢材10不会露出。
[0144] 另一方面,由表1的结果确认了,不经过用酸性溶液进行处理的酸处理工序来制作镀金属覆盖不锈钢材料的比较例1中,相对于热处理前的接触电阻值为5.8mΩ、热处理后的接触电阻值为60.1mΩ,由于热处理而接触电阻值增加。由此,对于不经过用酸性溶液进行处理的工序来制作的镀金属覆盖不锈钢材料1,由于发现起因于不锈钢钢材10的露出所导致的接触电阻值的升高,因此确认了镀金属层20的形成不充分。
[0145] 附图标记说明
[0146] 1…镀金属覆盖不锈钢材料
[0147] 10…不锈钢钢材
[0148] 11…氧化膜
[0149] 20…镀金属层
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