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微机电系统
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标题 发布/更新时间 阅读量
一种全金属低温MEMS真空封装技术 2023-05-13 47
Post-process depositing shielding for microelectromechanical systems 2023-05-15 816
Convertible loop/inverted-f antennas and wireless communicators incorporating the same 2023-05-14 23
Polycrystalline silicon germanium films for forming micro-electromechanical systems 2023-05-18 290
Reconfigurable microstrip antenna array geometry which utilizes micro-electro-mechanical system (MEMS) switches 2023-05-17 919
Micromachined electrostatic actuator with air gap 2023-05-18 521
Low cost beam steering planar array antenna 2023-05-16 115
Verkehrsdatenerfassung durch mikro-elektro-mechanische Systeme (MEMS) 2023-05-14 90
Hermatic firewall for mems packaging in flip-chip bonded geometry 2023-05-13 847
Mems variable optical attenuator 2023-05-19 979
METHOD OF FABRICATING DEVICES INCORPORATING MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS USING AT LEAST ONE UV CURABLE TAPE 2023-05-14 292
ETCHING SOLUTION AND METHOD 2023-05-15 405
PROTECTION FOR MEMS CROSS-BAR SWITCH 2023-05-16 381
ARC RESISTANT HIGH VOLTAGE MICROMACHINED ELECTROSTATIC SWITCH 2023-05-19 161
POLYCRYSTALLINE SILICON GERMANIUM FILMS FOR FORMING MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS 2023-05-15 577
MEMS DIGITAL-TO-ACOUSTIC TRANSDUCER WITH ERROR CANCELLATION 2023-05-16 671
OPTO-MECHANICAL VALVE AND VALVE ARRAY FOR FIBER-OPTIC COMMUNICATION 2023-05-18 314
반도체 소자의 제조방법 2023-05-17 316
具有複數動態切換以隔離熱傳輸機制之熱電冷卻 2023-05-17 743
具有動態切換以隔離熱傳輸機構之熱電冷卻 2023-05-19 769
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