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微机电系统
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标题 发布/更新时间 阅读量
微型射流陀螺 2023-05-03 532
Micro-electro mechanical system 2023-05-01 421
Protective fullerene (C60) packaging system for microelectromechanical systems applications 2023-05-01 16
Thermally activated microelectromechanical systems actuator 2023-05-02 351
Thermally actuated microelectromechanical systems including thermal isolation structures 2023-05-05 740
Base-3 switched-line phase shifter using micro electro mechanical (MEMS) technology 2023-04-30 560
Isolation in micromachined single crystal silicon using deep trench insulation 2023-05-02 435
Micro cooling engine array system 2023-05-04 354
Protection for MEMS cross-bar switch 2023-05-04 993
Control arrangement for microelectromechanical devices and systems 2023-05-03 785
Encapsulated MEMS brand-pass filter for integrated circuits 2023-05-06 364
Micro electromechanical system optical device 2023-05-05 401
Guidance system for horizontal drilling 2023-05-01 908
POLYCRYSTALLINE SILICON GERMANIUM FILMS FOR FORMING MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS 2023-04-30 96
GUIDANCE SYSTEM FOR HORIZONTAL DRILLING 2023-05-02 974
MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM DEVICE 2023-05-06 51
플레이트에 오목한 공간 또는 애퍼처 패턴을 얻는 방법, 브리틀-형 물질, 및 PDP, 및 마이크로-전기 기계 시스템, 및 플라즈마-주소지정 액정 디스플레이 2023-04-30 779
A MICRO RELAY 2023-05-04 396
MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) MIRROR DEVICE AND METHODS FOR FABRICATING THE SAME 2023-05-05 566
接觸式微壓阻剪應力感測器 2023-05-03 711
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