专利汇可以提供一种纳米结构套刻的模板设计和实现方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种纳米结构套刻的模极设计和实现方法,属于微纳 电子 领域。其特征在于将不同层结构定义在同一 块 模板上,通过特定的改变模板与基底相对 位置 ,重复使用来实现多层纳米结构的套刻。这种方法不需要配置精密对准系统就可实现 纳米级 套刻。传统的套刻技术采用精密对准和多块模板,面对纳米级线宽加工需求, 定位 对准系统和 光刻 模板的成本越来越高。即使对于纳米压印这些新型的微纳加工技术,由于技术本身尚处研发,设备本身匮乏定位能 力 ,对准和模板同样是研发的 瓶颈 问题。本发明提出的方法,不仅可以节约多层纳米结构加工研发成本,提高研发效率,而且可以有效解决纳米级结构套刻难题,具有研发实用价值。,下面是一种纳米结构套刻的模板设计和实现方法专利的具体信息内容。
1.一种纳米结构套刻的模板设计和实现方法,其特征在于:
(1)对称性模板版图设计;
(2)调整模板与基底相对位置;
(3)对准套刻;
(4)加工下一层结构。
2.按权利要求1所述的纳米结构套刻的模板设计和实现方法,其特征在于所述对称性模板版图设计:
(1)不同层的结构全部设计在一块模板版图上,模板表面图形单元(一个(或一组)圆、或直线、 或曲线或折线或上述圆、线的任意组合)几何中心(或图形单元上某一点、或图形单元周围某一点)处于 XY直角坐标系中的坐标轴上,每个中心点(或图形单元上某一点、或图形单元周围某一点)在另一个坐 标轴上都至少有一个与它等截距的中心点(或图形单元上某一点、或图形单元周围某一点)对应,互为镜 像点;或模板表面图形单元几何中心(或图形单元上某一点、或图形单元周围某一点)处于XY直角坐标 系中的任意一个象限内,每个几何中心(或图形单元上某一点、或图形单元周围某一点)在其他象限中至 少有一个中心点(或图形单元上某一点、或图形单元周围某一点)和它沿相应坐标轴对称分布,互为镜像 点。模板表面图形单元(一个(或一组)圆、或直线、或曲线或折线或上述圆、线的任意组合)中线条宽 度、间距的特征尺寸在1nm~500μm之间。线条深度或高度为5nm~50μm。
(2)不同层的对准标记全部设计在同一模板表面,对准标记的分布遵循上述(1)规则,即上述 图形单元中至少有一组镜像点对应的图案是作为对准标记的,对准标记外形是规则的几何形状,每组对准 标记中的标记外形可以相同也可以不相同,但一定要有对应的一组(两条或两条以上)或两组及两组以上 线段作为识别区域。作为识别区域的线段长度在10μm~500μm之间,对准后识别区域相邻两条线段间距 为0~5μm之间。对准标记图形线宽、间距的特征尺寸在1nm~500μm之间,线条深度或高度为20nm~50 μm。
3.按权利要求1所述的纳米结构套刻的模板设计和实现方法,其特征在于所述调整模板与基底相对位置, 以基底和模板上一次光刻相对位置为基准,通过重置或旋转模板、或基底、或同时旋转模板和基底一定角 度,使模板和基底相对位置与上一次光刻相对位置相比产生特定的水平方向的角位移。
4.按权利要求1所述的纳米结构套刻的模板设计和实现方法,其特征在于所述对准套刻,根据需要寻找 在基底上上一次光刻留下的对准标记和该标记在模板上的镜像点对准标记,微动调节模板和基底相对位 置,直到对准标记上识别区域对应的线段组相对位置到达设定位置,满足套刻精度要求后曝光套刻。
5.按权利要求1所述的纳米结构套刻的模板设计和实现方法,其特征在于利用同一块模板加工下一层结 构,根据需要,一块模板可以重复使用,通过多次套刻加工不同的结构层。
本发明涉及一种纳米结构套刻的模板设计和实现方法,属于微电子学领域。
技术背景
随着集成电路制造业的迅猛发展,光刻技术不断提高,芯片的特征尺寸也越来越小,集成电路的多层 结构加工,都采用套刻技术,传统的套刻技术是通过采用多块不同的模板来实现多层结构器件加工。微电 子技术的制造工艺已经到了90nm,在器件加工工艺中需要多次套刻曝光来实现多层图形结构,多次套刻 需要多块模板,而纳米级模板的加工技术要求很高,而且制备周期很长,导致纳米级模板成本很高,价格 昂贵,模板费用已经成为传统光刻加工的一项主要的生产成本;面对特征线宽越来越小的微纳结构加工需 求,套刻需要的精密定位对准系统成本越来越高,大部分科研机构根本无力承受。特别是对于像纳米压印 技术这些新型的微纳加工技术来说,由于技术本身尚处于实验室研发阶段,设备本身就匮乏精密的对准性 能。不论是工艺研究还是器件开发都既需要大量的精密模板,又迫切需要解决纳米级结构加工的套刻问题, 在紫外纳米压印工艺中,一块300nm特征尺寸,1cm2图形区域的石英模板加工费用要超过50万元人民币, 加工周期要2个月以上。因此,特征线宽越来越小的微纳结构加工,不仅对光刻模板要求越来越高,使得 高精密光刻模板的成本越来越高;而且对套刻需要的高精密定位对准系统性能要求也越来越高,导致研发 成本剧增。纳米级模板加工制造和纳米级结构套刻是开展实验研究和产业化开发面临的瓶颈问题。本发明 提出的方法,不仅可以节约多层纳米结构加工研发成本,提高研发效率,而且可以有效解决纳米级结构对 准难题,具有研发实用价值。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
基于纳米压印光刻的金属图案转移方法以及系统 | 2020-05-18 | 744 |
在纳米压印光刻中除去基材预处理组合物 | 2020-05-14 | 255 |
在纳米压印光刻中的固化基材预处理组合物 | 2020-05-15 | 289 |
一种纳米压印光刻胶表面改性剂 | 2020-05-12 | 983 |
使用压印光刻的纳米结构布置的方法和系统 | 2020-05-15 | 208 |
纳米压印光刻中精密表面改性方法和设备 | 2020-05-17 | 857 |
一种纳米压印光刻机 | 2020-05-11 | 838 |
用于缩短纳米压印光刻的填充时间的压印抗蚀剂和基材预处理 | 2020-05-14 | 927 |
一种整片晶圆纳米压印光刻机 | 2020-05-13 | 547 |
用于纳米压印光刻的基板预处理组合物 | 2020-05-14 | 60 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。