一种钒铝硅三元合金靶材及其制备方法
专利汇可以提供一种钒铝硅三元合金靶材及其制备方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种 钒 铝 硅 三元 合金 靶材及其制备方法，该钒铝硅 三元合金 靶材由钒、铝、硅三种元素构成，其 原子 百分含量分别为：钒20％～70％，硅1％～10％，余量为铝。本发明还包括钒铝硅三元合金靶材的一种制备方法。该方法是将符合特定计量比的钒粉、铝粉和硅粉三种粉末充分混合均匀后 冷压 预制成坯，然后经 真空 脱气处理，最后在真空气氛下于一定的 温度 和压 力 下 热压 成钒铝硅三元合金靶材。本发明采用的真空热压制备钒铝硅三元合金靶材方法，制备工艺简单，生产周期短，获得的靶材纯度高(纯度大于99.5％)，组织均匀，致 密度 高(相对密度＞99.4％)，所构筑的VAlSiN涂层的硬度介于30-45GPa，适合各种工模具表面的防护涂层。，下面是一种钒铝硅三元合金靶材及其制备方法专利的具体信息内容。
1.一种钒铝硅三元合金靶材，其特征在于所述的原子百分比含量为：钒20％～70％，硅1％～10％，余量为铝。
2.按权利要求1所述的靶材，其特征在于所选用的三种金属粉末——钒粉、铝粉和硅粉的纯度均在99.5％以上，其中，钒粉的粒径为10～200μm，铝粉的粒径为10～200μm，硅粉的粒径为10～200μm。
3.按权利要求1或2所述的靶材，其特征在于具体组成为：
a)50％V、49％Al和1％Si；
b)50％V、45％Al和5％Si；
c)27％V、64％Al和9％Si；
d)65％V、30％Al和5％Si；
以上均为原子百分比。
4.制备按权利要求1或2所述的靶材的方法，其特征在于采用真空热压方法制备的步骤为：
(1)按照一定的成分比例配制铝粉、钒粉和硅粉，放入混料罐中充分混合均匀，混料时间为1-6小时；
(2)粉末混合均匀后放置入真空热压设备的模具中，然后对设备进行抽真空，当真空度-2
达到1×10 Pa对混合粉末进行预压以获得具有一定致密度的生坯，预压压力在5-30MPa；
(3)然后对模具进行卸载，并开始升温，温度升高到350-550℃时保温1-5小时，去除混合粉末表面吸附的气体；然后继续升温，到900-1200℃时，同时升高热压机的压力到
30-100MPa，保温1-6小时，然后停止加热，降低压力至5-10MPa；
(4)冷却到室温完全卸载设备压力，随后对制品进行脱模，对获得的钒铝硅三元合金靶坯料进行机加工处理，加工完毕后进行清洗、烘干、包装工序，得到尺寸、质量符合设计要求的钒铝硅三元合金靶材成品。
5.按权利要求3所述的方法，其特征在于：
-1
a)步骤(1)所述的粉末混合是在10 Pa以下真空或高纯氩保护下进行；
b)所述的混料罐为V型混料机。
6.由权利要求4或5方法所制备的靶材作为原材料，通过氮气反应制备的VAlSiN涂层的硬度介于30-45GPa之间。
一种钒铝硅三元合金靶材及其制备方法
技术领域
发明内容
具体实施方式
10MPa，然后真空系统开始抽真空，当真空达到1×10 Pa后，升温至450℃并保温3小时，以便排除粉末间的气体，然后升温至1000℃，同时压力增加至80MPa，保温1小时，然后降温，同时压力减至5MPa，直至随炉冷却到室温后完全卸除压力。然后除真空，再经脱模、机加工后得到钒铝硅三元合金靶材。
50μm，所用铝粉的纯度为99.9％，钒粉和硅粉的纯度均为99.5％。将上述三种规格的粉末按比例称量后装入氩气保护的V型混料机中进行混料，混料时间为3个小时。将混合均匀的粉末装入真空热压机的模具中，在室温下首先对装入模具的粉末进行预压，压力为20MPa，-2
然后真空系统开始抽真空，当真空达到1×10 Pa后，升温至500℃并保温3小时，以便排除粉末间的气体，然后升温至1100℃，同时压力增加至50MPa，保温2小时，然后降温，同时压力减至5MPa，直至随炉冷却到室温后完全卸除压力。然后去真空，脱模，获得烧结成型的钒铝硅三元合金靶材坯料，然后通过机加工后得到钒铝硅合金靶材。
50μm，所用铝粉的纯度为99.9％，钒粉和硅粉的纯度均为 99.5％。将上述三种规格的粉末按比例称量后装入氩气保护的V型混料机中进行混料，混料时间为3个小时。将混合均匀的粉末装入真空热压机的模具中，在室温下首先对装入模具的粉末进行预压，压力为30MPa，-2
然后真空系统开始抽真空，当真空达到1×10 Pa后，升温至500℃并保温3小时，以便排除粉末间的气体，然后升温至1100℃，同时压力增加至50MPa，保温1.5小时，然后降温，同时压力减至5MPa，直至随炉冷却到室温后完全卸除压力。然后去真空，脱模，获得烧结成型的钒铝硅三元合金靶材坯料，然后通过机加工后得到钒铝硅合金靶材。
50μm，所用铝粉的纯度为99.9％，钒粉和硅粉的纯度均为99.5％。将上述三种规格的粉末按比例称量后装入氩气保护的V型混料机中进行混料，混料时间为3个小时。将混合均匀的粉末装入真空热压机的模具中，在室温下首先对装入模具的粉末进行预压，压力为30MPa，-2
然后真空系统开始抽真空，当真空达到1×10 Pa后，升温至500℃并保温3小时，以便排除粉末间的气体，然后升温至1100℃，同时压力增加至50MPa，保温1.5小时，然后降温，同时压力减至5MPa，直至随炉冷却到室温后完全卸除压力。然后去真空，脱模，获得烧结成型的钒铝硅三元合金靶材坯料，然后通过机加工后得到钒铝硅合金靶材。
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 利用电镀的锡铋铅三元合金焊料组合物 | 2020-05-17 | 467 |
| 一种生长单相外延m面ZnOS三元合金薄膜的方法 | 2020-05-17 | 473 |
| 一种钯铜锡三元合金纳米催化剂的制备方法 | 2020-05-18 | 515 |
| Ag-Au-Pd三元合金接合线 | 2020-05-11 | 662 |
| 一种三元合金电镀液 | 2020-05-11 | 327 |
| 一种三元合金封接材料的制备方法 | 2020-05-12 | 801 |
| 一种三元合金封接材料及其制备方法 | 2020-05-12 | 544 |
| 一种Al1-xInxN三元合金纳米晶薄膜及其制备方法 | 2020-05-15 | 283 |
| 一种无电解沉积三元合金镀液 | 2020-05-12 | 96 |
| 一种铝铌钽三元合金以及制备方法 | 2020-05-15 | 869 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
