专利汇可以提供分离栅极快闪存储器单元及其制作方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供一种分离栅极快闪 存储器 单元及其制作方法。该分离栅极快闪存储器单元的特征为具有一圆弧形状的浮置栅极及一 侧壁 子结构的控制栅极。该圆弧形状的浮置栅极于快闪存储器单元进行一数据抹除时可提供稳定的抹除 电压 ,以提高快闪存储器元件可靠度。,下面是分离栅极快闪存储器单元及其制作方法专利的具体信息内容。
1.一种具有圆弧形状浮置栅极的分离栅极快闪存储器单元,包含有:
一半导体衬底,该半导体衬底中包含有二掺杂区,作为该快闪存储器 单元的源极与漏极;
一隧穿氧化层,位于该半导体衬底之上;
一浮置栅极,位于该隧穿氧化层之上,该浮置栅极的二侧具有圆弧形 状的轮廓;
一介电层,覆盖于该浮置栅极表面,用来隔绝该浮置栅极与其他导电 层;以及
一控制栅极,该控制栅极是一位于该浮置栅极的一侧的侧壁子结构。
2.如权利要求1所述的快闪存储器单元,其中该半导体衬底是一P型 硅衬底。
3.如权利要求1所述的快闪存储器单元,其中该些掺杂区是n型掺杂 区。
4.如权利要求1所述的快闪存储器单元,其中该介电层包含一由原生 氧化层/氮化层/硅氧层共同组成的ONO层设于该浮置栅极与该控制栅极之 间。
5.如权利要求1所述的快闪存储器单元,其中该介电层包含一氧化层 覆盖于该浮置栅极上方,且该侧壁子结构的高度约略切齐于该氧化层的高 度。
6.一种制作圆弧形状浮置栅极的分离栅极快闪存储器单元的方法,该 方法包含有下列步骤:
提供一半导体衬底;
于该半导体衬底上依序形成一第一介电层与一第二介电层;
去除部分该第一介电层与该第二介电层,以于该半导体衬底上定义出 一存储器单元区域;
进行一蚀刻工艺去除该存储器单元区域二侧的部分该第一介电层,以 使剩余的该第一介电层具有圆弧形状侧壁轮廓;
于该存储器单元区域的该半导体衬底上形成一隧穿氧化层;
于该隧穿氧化层上沉积一第一多晶硅层;
进行一回蚀刻工艺去除部分该第一多晶硅层,以于该存储器单元区域 中形成一圆弧形状浮置栅极;
于该浮置栅极上形成一氧化层;
依序去除该存储器单元区域二侧的该第二介电层与该第一介电层;
依序沉积一第三介电层与一第二多晶硅层;以及
去除部分的该第二多晶硅以于该存储器单元区域一侧定义出一侧壁子 结构的控制栅极。
7.如权利要求6所述的方法,其中该半导体衬底是一P型硅衬底。
8.如权利要求6所述的方法,其中该第一介电层是二氧化硅(SiO2)。
9.如权利要求6所述的方法,其中该第二介电层是氮化硅(SiN)。
10.如权利要求6所述的方法,其中该蚀刻工艺是一各向同性湿蚀刻工 艺。
11.如权利要求10所述的方法,其中该方法于该湿蚀刻工艺之后另包 含有进行一紫外光照射以去除该半导体衬底上残余的水份或蚀刻液。
12.如权利要求6所述的方法,其中该隧穿氧化层利用一热氧化工艺完 成。
13.如权利要求6所述的方法,其中该方法另包含有利用一离子注入工 艺与一快速热处理(RTP)于该半导体衬底上形成二n型掺杂区,作为该快闪 存储器单元的源极与漏极。
14.如权利要求6所述的方法,其中该氧化层利用一高密度等离子体化 学气相沉积(HDPCVD)工艺形成。
15.如权利要求6所述的方法,其中该侧壁子结构的高度约略切齐于氧 化层的高度。
16.如权利要求14所述的方法,其中该方法于该高密度等离子体化学 气相沉积工艺后,另包含利用一化学机械抛光(CMP)工艺去除部分该氧化 层。
17.如权利要求6所述的方法,其中该方法利用一两阶段蚀刻工艺去除 该存储器单元区域二侧的该第一介电层,该两阶段蚀刻工艺包含一干蚀刻 工艺与一湿蚀刻工艺。
本发明涉及一种分离栅极快闪存储器单元及其制作方法,尤其涉及一 种具有圆弧形状浮置栅极的分离栅极快闪存储器单元及其制作方法。
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